Глава 5: Статистика электронов и дырок в полупроводниках 2 задачи (1) Нахождение числа возможных квантовых состояний электронов (дырок) (2) Нахождение распределения электронов по этим квантовым состояниям в условиях термодинамического равновесия 5.1. Плотность состояний в зонах Состояние электронов (дырок) в зонах характеризуется 1) квазиимпульсом p k 2) номером зоны l ( 2 ) 3 , где V – объем кристалла Объем в зоне на каждое значение p V Отсюда число состояний в элементе объема dp 1 2dp 2 (2) 3 / V V (2) 3 2 - Вырождение по спину Перейдем к энергиям от E до E+dE Если известно E ( p ) нет проблем Вблизи края зоны p2 или p 2m( E Ec ) E Ec 2me dp 1 2me dE 2 E Объем в p -пространстве N (E) 1 2 2 3 dp на единицу объема кристалла Число состояний N(E)dE E Ec E dp p 2dp4 ( 2mc ) 3 / 2 E 1 / 2 Аналогично для дырок: N (E) 1 2 2 3 ( 2mh ) 3 / 2 E 1 / 2 5.2. Распределение Ферми-Дирака для электронов для дырок 1 EF 1 exp( ) kT 1 fp 1 f FE 1 exp( ) kT f (E, T ) F>0 электронный газ вырожден - Функция распределения Ферми-Дирака Если F<0 и f C exp( EF 1 kT Распределение Больцмана E ) kT (Максвелла-Больцмана) Электронный газ не вырожден 5. 3. Концентрация электронов и дырок в зонах n N c ( E Ec ) / kT x ( E ) f ( E , T )dE Ec F Ec F - химический потенциал электронов F * F / kT ( 2 m ) 3 / 2 ( E E c )1 / 2 1 dE (2mkT ) 3 / 2 2 x1/ 2 dx 1/ 2 n ( kT ) kT 2 N cФ1/ 2 ( F * ) 2 3 1/ 2 3 x F E 2 ( kT ) (2) 1 exp( x F ) 0 1 exp( ) kT kT эффективная интеграл плотность состояний N c Ферми-Дирака Аналогично для дырок подсчитываем пустые места в валентной зоне p N p Ф1/ 2 ( Fp ) * где Fp * Ev F kT Невырожденные полупроводники. F* 0 Ф1/ 2 ( F *) 2 e N c (E), Случай сильного вырождения Eg kT ) ni 2 f(E.T) и dn/dE F* 0 exp n Nc 2 N c (E), f(E.T) и dn/dE Ec F 1 kT xm x 0 F Схематический вид функций x dx exp( F *) 0 np N c N v exp( Схематический вид функций x 1/ 2 dx 4 3 N c xm (3 2 ) 2 / 3 2 n 2 / 3 2 mn 3/ 2 F E Nc 3 kT 4 3/ 2 5. 4. Эффективная масса плотности состояний Если закон дисперсии отличен от изотропного?! 2 2 2 py px pz E ( p) Ec 2m x 2m y 2m z dp x dp y dp z 2 ( 2kT ) 3 / 2 n 2 ( m x m y m z )1 / 2 exp( F *) 3 3 (2) 1 exp( E F ) (2) kT (2kT ) 3 / 2 (mx m y mz )1/ 2 exp( F *) Если имеется долин. n 2 3 (2) Для невырожденного газа E n N c ( E ) exp( )dE kT 0 2mds kT N c 2 2 (2) 3/ 2 т.е. эффективная масса плотности состояний mds 2 / 3 (mxmy mz )1/ 3 В общем случае масса плотности состояний не равна массе электропроводности Так в Ge me,ds 0.57m0 me , 0.12m0 Si me ,ds 1.08m0 me , 0.26m0 5.6 Плотность состояний в квантующем магнитном поле. По правилам статистики число электронов N в объеме V N f ( E , T ) - совокупность квантовых чисел, от которых зависит энергия электрона E, - кратность вырождения. 2 и проекция спина на ось 0z (+,-) В магнитном поле n, k z n z L L2 mc 2 Кратность вырождения была найдена нами ранее т.е. L2 m c N 2 где E Ec L f (E , T ) 2 nz f (E , T ) n ,n z 2 kz 2 2m gB c ( n 1 / 2) L f ( E , T ) k z f ( E , T )dk z 2 nz E – четная функция mc N L 2 dk z f ( E , T ) (2 ) 2 0 n 3 n N c, 1 / 2 0 gB ( E ) f ( E , T )dE , где плотность состояний N c, 2eB m ( 2) 2 c (E E n 0 c c ( n 1 / 2) gB ) 1 / 2 осциллирует – Осцилляции Шубникова – де Гааза (магнитосопротивления ) - де Газа- Ван Альфена (Магнитной восприимчивости) 5.7 Электроны и дырки на локальных уровнях 5.7.1 Однозарядные центры _____________________ Ec Невырожденные состояния примеси Ed либо заполнен одним электроном либо пустой -------------------------------- Ed заполнено пустые N f N f FD ( E F ) N empty N (1 f FD ) Nf N empty f E Ed exp F 1 f kT Если состояние вырождено: то нужно ввести кратность вырождения g 1 - заполненных; Nf N empty E Ed g1 exp F g0 kT g 0 - пустых (на центре только 1 электрон !!! всегда) N f N empty N Отсюда находим Nf N f1 (1 g0 E E F 1 exp d ) g1 kT Если полупроводник не вырожден, то концентрация электронов в зоне и N1 n N n g 0 N exp( Ec Ed ) c g1 kT где E c E d энергия связи электрона на примеси n N c exp E F Ec kT ----Учет возбужденных состояний ____________________ Ec ------------------------------ Ek -----------------------------____________________ Ed вероятность того, что электрон находится на уровне k - кратность вырождения k k- уровня f k1 f k1 f empty k E Ek exp F g0 kT Полная вероятность, что электрон находится на одном из уровней f1 f k 1... 1 k Отношение концентрации центров с электроном к концентрации пустых центров равно отсюда N1 f1 1 ( 0) 0 N f g0 g1 1 k 2, 3... k exp E F Ek g1 E Ed exp F kT g0 kT k exp( Ek Ed ) kT 5.7.2 Многозарядные центры а) Пустой уровень E1 б) Уровень E1 - заполнен Появляется уровень E2 в) Уровень E2 заполнен Появляется E 3 E F E1 E 2 E F E1 E 3 E F E1 и т. д. Подчеркнем отличие от нескольких однородных центров, когда. все уровни существуют всегда !!! Распределение Ферми в простом виде к многозарядным центрам неприменимо – нужен более общий подход Распределение Гиббса для системы с переменным числом частиц Внутри среды с объемом V0, полным числом частиц N0 и энергией E0=const выделим тело с объемом V, находящееся в термодинамическом равновесии и с возможностью перехода частиц из V0 в среду V и обратно Допустим, что в тело V перешло j частиц Новое число частиц в V – N+j ( j) Частицы заняли энергии E m т.е. новая энергия тела стала E E Em( j ) Вероятность перехода j частиц в состояние m ( j) S , (5.1) f m( j ) A exp m k где А – нормировочный множитель - изменение энтропии среды При этом изменение свободной энергии в условиях термодинамического равновесия (Т=const) S m( j ) Fm( j ) E m( j ) TS m( j ) F При V=const производная т.е. S ( j) m j E m( j ) T j V ,T свободная энергия на одну частицу j E m( j ) A exp kT f и из (5.1) распределение Гиббса для системы с переменным числом частиц Применим эту формулу к многозарядному центру M M Условие нормировки j Em( j ) ( j) ( j) m f j 0 m m 1 exp j 0 m где M максимальное число электронов kT Если не важно, в каком основном или возбужденном состоянии находится электрон, то j E ( j ) f j exp kT M j E ( j ) f j exp kT j 0 f ( j ) f m( j ) m fj j где m 1, 2... jm exp E ( j ) Em( j ) kT E(j) энергия центра с j электронами в основном состоянии jm кратность вырождения соответствующих уровней называется химическим потенциалом. часто отсчитывается от края зоны проводимости Если есть электрическое поле, то электрохимический потенциал e дополнительная потенциальная энергия электрона в поле. Очевидно, что Формула Гиббса применима к обычному однородному примесному центру j либо 0 либо 1. E ( j) Ed g 0 g1 1 ( E d ) 1 kT f Ed E 1 exp 1 exp d kT kT exp т.е. EF 5.8 Определение положения уровня Ферми Если известна концентрация, то все просто E F E c kT ln Nc N EV kT ln V n n Если известна концентрация ND и NA Из классической электродинамики известно, что заряд рассасывается за (максвелловское время релаксации) время 4 В полупроводниках с характерными величинами =10; ~ 1 oм-1см-1 10 12 сек т.е. можно считать полупроводник электронейтральным и уровень Ферми нужно находить из условия n h N D (1 f ) (n e N A (1 f )) 0 В собственном полупроводнике ND N A 0 E Ec E EF N c exp F N V exp V kT kT или E EV 1 N E EV 3 m EF c kT ln c c kT ln c 2 2 NV 2 4 mh т.е. В легированном полупроводнике n-типа NA=0 nh<<ne ND E Ec N cФ 1 F EF Ec g1 2 kT 1 exp g0 kT Невырожденный полупроводник exp (5.2) E F Ec kT g E Ec n2 0 N c exp D n1* N D n g1 kT g E Ec n ( 0 N D N c )1 / 2 exp D g1 kT Для невырожденных полупроводников из (5.2) следует, что где n 1 4N D EF Ec kT ln 1 1 2 n 2 N c n g0 E Ed N c exp( c ) g1 kT При низких температурах эта формула сводится к g N 1 1 EF Ec ( Ec ED ) kT ln 0 D 2 2 g1 N c При T~0 уровень Ферми располагается посередине между Ec и ED С ростом температуры он уходит на середину запрещенной зоны EF Гл. 6 Явления в контактах (Монополярная проводимость) 6.1 Потенциальные барьеры Разные химпотенциалы в разных веществах - потенциальные барьеры Вблизи контакта электронейтральность нарушается – искривление зон В случае металлов толщина барьеров меньше длины волны де-Бройля благодаря большой концентрации электронов Поэтому электроны свободно проходят через барьер в результате туннельного эффекта В полупроводниках картина противоположная и роль контатных эффектов необычайно велика 6.2 Плотность тока; Соотношение Эйнштейна n=n(x); ток состоит из дрейфа электронов в электрическом поле + диффузия ( n ). je jдр jдиф en e E eDe n (6.1) Для дырок: jh enh h E eDh nh В изотропной среде или в кубических кристаллах в отсутствие магнитного поля D D e Для невырожденного полупроводника n n 0 exp kT en en n E (6.2) kT kT Чтобы понятие диффузии имело смысл, изменение n на длине свободного пробега должно быть мало eEl n l n ; 1 kT E Uk L экр Uk Lэкр - радиус экранирования заряда - контактная разница потенциалов eU k l 1 Lэкр kT n и D n зависят друг от друга так как они определяются одной величиной en если j n 0 ; то из 6.1 и 6.2 следует, что en e E eDe ( E ) 0 kT Для невырожденного полупроводника e De В общем случае: e kT e, (6.3) e d ln n( kT ) De, kT d ( E F e ) (6.4) 6.3 Условие равновесия контактирующих тел электрохимический потенциал = const dn 1 dn * введем e E * n F * * kT kT kT e De d (ln n ) j e n( e ) kT e d * d kT d Рассмотрим общий случай, т.е. используем формулу (6.4)) для De Находим je ee nn ( e ) 0 электрохимический потенциал e const * Контакт металл n велико, ( e ) мал Металл-полупров. барьер 0 полупров.n мало, ( e ) велик вся в полупроводнике. EF Высота барьера, равная eU k E F полупров металл 6.4 Граница полупроводник-вакуум; Равновесие: Электроны «испаряются» из полупроводника в вакуум n электронов/сек; столько же должно возвращаться Электронный газ в вакууме не вырожден: скорость по Максвеллу js 1 n вакуум v T e , где v 8kT T 4 m0 nвакуум N c ,вакуум exp( Ф 2m0 kT 3 2 2( ) (2) 2 или kT Ф j s AT exp( ) kT 2 ) где 4m 0 ek 2 A ( 2) 3 для всех веществ !!! Ф называется термоэлектронной работой выхода из полупроводника или металла В металлах Ф работа по удалению электрона с поверхности Ферми. В полупроводниках: На уровне EF нет электронов Удаление электронов перераспределение электронов зонах по энергиям В металлах Ф=const В полупроводниках (1) Ф зависит от легирующей примеси !!! (2) От примесей на поверхности, которые ведут к искривлению зон т.е. определение Ф для полупроводника - деликатная задача !!! 6.5 Контактная разность потенциалов Измерение работы выхода – - нагрев до высокой температуры - что проблематично для многих кристаллов - измерение контактной разности потенциалов – между несоприкасающимися кристаллами в электронном равновесии (равновесие с помощью соединения металлическим проводником) Контакт металл- металл 1) нет контакта между незаряженными металлами – поле между ними Е=0. электрический потенциал const термоэлектронная работа выхода равна F1=E0-F1, F2=E0-F2 2) соединяем - F1=F2 поле Е не равно нулю – появятся заряды на поверхности. электрический потенциал const по определению – контактная разность потенциалов – разность потенциалов между точками 1 и 2 вне металлов, но находящимися в непосредственной близости от их поверхностей. euk=e(12)=F2-F1=F1F2 Контакт металл-полупроводник до контакта после соединения Электрическое поле частично проникает в полупроводник Полная разность потенциалов u k (Ф1 Ф2 ) / e распределяется между зазором и слоем объемного заряда в полупроводнике 6.6 Распределение электронов и потенциала в слое объемного заряда Одномерный случай вдоль x Невырожденный полупроводник n-типа для определенности 3 уравнения: (1) j en e E e kT dn соотношение Эйнштейна использовано dE 4 (2) dx (3) j t x e( N D N A n) d Стационарное решение: уравнение Пуассона уравнение непрерывности N i , n f ( x, t ) т.е. j const Пусть E D E F N D N D и E A E F kT N A N A В этом случае d dn j en e e kT dx dx d 2 4e (n n 0 ) dx 2 (6.5) (6.6) n0 - равновесная концентрация в глубине полупроводника Положим, что контакт при x=0 и (x=0)=0 n(x=0)=nk При x -- =uk+u n=n0 Здесь u внешняя разность потенциалов eu k ) В отсутствие тока nk связано с n0 соотношением n k n 0 exp( kT Если j 0 то плотность тока через контакт можно выразить через nk и n(x=0) тепловой поток электронов из полупроводника в металл ~n(x=0) обратно ~nk (так же, как и в отсутствие тока) 1 j evT [n(0) nk ] т.е. 4 1 и можно считать, что n(0) n k j evT nk Даже для относительно больших токов 4 Можно оценить границы применимости: для nk=1013 cм-3 и vT=102 см/с ¼ evTnk~10 A / см 2 e n ( x ) n exp( ) При j=0 из (6.5 ) имеем k kT Подставляем в (6.6) и получаем уравнение e a e( k ) d 2 4e e 4e n (exp exp ) n (exp 1) k 0 2 kT kT kT dx Из которого можно найти распределение потенциала в полупроводнике (x) (6.7) 6.7 Длина экранирования Если искривление зон мало, т.е. e k kT , разлагаем exp в ряд находим из (6.7) d 2 u k 2 dx L2D где L2D kT - длина экранирования Дебая 4e 2 n 0 (6.8) x )] LD LD~1/n для n=1015 cм-3 при комнатной температуре LD=10-5 см Уменьшаем n - величина LD – растет, пока не станет существенным вклад от зарядов на остаточных примесях Решение u k [1 exp( 6.8 Обогащенный контактный слой euk<0; | euk >>kT|; Рассмотрим отдельно области вблизи контакта (1) и в объеме полупроводника, где зоны уже не искривлены (2) eu k e ) exp kT kT d 2 4e e И из уравнения (6.7) n exp k dx 2 kT область (1) В силу условия euk<<e exp( Умножаем обе части уравнения на d/dx и интегрируем по 8kT e ( d / dx ) 2 nk exp C kT Постоянная интегрирования из граничных условий = uk ; d/dx=0 8n k kT eu т.е. C exp k kT величиной с можно пренебречь, т.е d 8n k kT dx 1/ 2 exp e 2kT (6.8) т.к. обогащенный слой,. который мы рассматриваем – - электронный <0 и || растет с x. т.е. решение со знаком . Интегрируя (6.8) от 0 до получаем 1/ 2 x где e 2kTkn(1 ) , a т.е. a 2 LD , где в LD стоит nk ekT a 2 2n k e Потенциал изменяется по логарифмическому закону Область (2) вдали от контакта = uk n n k exp e a n n k exp nk kT a x eu k n 0 kT 2 Таким образом, электропроводность слоистых структур металл-диэлектрик-металл может быть велика, даже если электропроводность диэлектрика мала. 6.9 Истощенный контактный слой Предельный случай сильного обеднения – запорный контакт Контакт металл-полупроводник К контакту приложено внешнее напряжение u, создающее обедненный слой. В первом приближении считаем, что в слое толщиной d зарядов свободных нет, только заряженные центры т.е. euk >0 (запорный слой) exp e eu k 1 kT и уравнение (6.7) имеет вид 4en 0 d 2 const 2 dx Принимая во внимание граничные условия x=0: =0 x=d: =u+ euk d/dx=0 интегрируем d2/dx2=0 два раза и получаем 4en 0 d (d x ) dx 2en 0 uk u (d x ) 2 где (u k u ) d 2 en 0 1/ 2 - толщина запорного слоя Контакт двух полупроводников (p) и (n) типа- p-n переход Толщины слоев dn и dp зависят от концентрации доноров и акцепторов Резкий p-n переход n0 N D N A x dn x d p p 0 N A* N D* Объемный заряд равен p - область n-область Положим, что =0 на границе x=-dp: =up, d/dx=0 x=dn: =un, d/dx=0 P uP 2ep 0 (x d p )2 2en 0 n un (x dn )2 2e un u p u uk ( n 0 d n2 p o d p2 ) u- внешнее напряжение источника ep 0 ........( d p x 0) 0.................... x d p en 0 ........(0 x d n ) 0.................... x d n 6.10 Токи, ограниченные пространственным зарядом Токи через границу металл-полупроводник во внешнем электрическом поле Картина различна для контактов с обогащенным и обедненным слоями в полупроводниках (1) случай обогащенного слоя Край Ec - без тока -e увеличивается по логарифмическому закону в области объемного заряда и равен const вне этой области ток диффузии = току дрейфа Если прикладывается + к полупроводнику Энергия электронов в объеме понижается. В точках максимума ( x’) напряженность электрического поля =0 т.е. ток дрейфа равен нулю и весь ток определяется диффузией в точке x’э поле растет, точка x’ приближается к контакту – в область с большей концентрацией электронов – растет ток Очень большое напряжение везде есть дрейф. Такой контакт называется антизапорным или омическим. Металлический контакт – выступает в качестве катода – т.е. в роли эмиттера электронов (2) блокирующий контакт; Выпрямление в контакте Влияние барьера зависит от соотношения между шириной барьера LD и длиной волны электрона : LD << туннелирование LD > только через барьер n0=1015 cм-3; 300 K LD~10-5 см - классический барьер ( (300K) ~10-6 см). n0=1018 -1019 cм-3 нужно учитывать туннельный ток Классический слабо легированный барьер j1 ток электронов из полупроводника в металл j2 ток электронов из металла в полупроводник Расчет тока (1) длина свободного пробега l >>LD (2) длина свободного пробега l <<LD 2 случая: Ge 300 K; l~10-5 см ~LD при n~ 1015 cм-3; n> 1015 cм-3 диодная теория 15 -3 n <10 cм диффузионная теория Диодная теория ( число соударений в запорном слое мало, l >>LD) В полупроводнике преодолеть барьер могут электроны с энергией 1 mv x2 e(u k u ) из больцмановского хвоста 2 Ранее мы нашли, что плотность тока термоэмиссионной эмиссии из металла равна Ф j s AT 2 exp( ) kT В нашем случае работа выхода Ф e(u k u ) E c E F 2 Т.е. j1 4emk3 T 2 exp( Ф ) электроны из полупроводника kT ( 2) nn 2mkT n 0 2 2 ( 2 ) Концентрация электронов в глубине Средняя тепловая скорость Отсюда j1 vT ( 3/ 2 exp( EF Ec ) kT 8kT 1 / 2 ) m 1 e( u k u ) en 0 v T exp 4 kT j 2 j1 (u 0) 1 eu en 0 v T exp k 4 kT j1 j2 js [exp( u) 1], где 1 j s en 0 v T exp( u k ), 4 =e/kT В реальности есть сопротивление объема, т.е. u=v-ir диффузионная теория ( число соударений в запорном слое велико, l <<LD) В диффузионной теории нужно исходить из уравнений: d dn j en kT dx d d 2 4e (n n 0 ) 2 kT dx При этом после вычислений опять же получаются формула j js [exp( u) 1] Только j s en 0 ddx x 0 exp( u k ) В диффузионной теории ток меньше, чем в диодной! Глава 7. Неравновесные электроны и дырки 7.1 Неравновесные носители тока В условиях термодинамического равновесия V12=v21 для всех переходов ( Принцип детального равновесия ) Это означает, что частоты переходов из зоны проводимости в валентную зону и обратно равны. Внешнее дополнительное воздействие нарушает термодинамическое равновесие 21 и 12 12 ; 21 12 21 В равновесии: ne nh 0 0 При внешнем воздействии появляются nl , n h nе ne0 nel n h n h0 n h 7.2 Время жизни неравновесных носителей dn e g e Re dt dn h g h Rh dt (7.1) ge,h генерация за счет внешнего воздействия (кроме тепла!) Ri=ri-gi,T - темп рекомбинации свободных электронов (i=e) и дырок (h) где ri - полный темп ухода из зоны i, gi,T генерация за счет тепла Можно ввести среднее время жизни одного избыточного носителя Ri=ni/i; и (7.1) записать в виде dni/i =gi-ni/i В стационаре ni/i=0 В случае отсутствия тока находим установившееся стационарное значение ni=gii В общем случае i зависит от n, T и т.д. Если i не зависит от концентрации ni=gii - Cexp (-t/ i ) Если при t=0 было термодинамическое равновесие, т.е. ni(0)=0, то ni=gii (1- exp (-t/ i ) ) (7.2) Если при t=0 выключена генерация, т.е. ni(0)=(ni)1 ni(0)=(ni) exp (-t/ i ) т.е. 1/ i - вероятность рекомбинации (7.3) 7.3 Уравнение непрерывности Включим в рассмотрение электрический ток В объеме V: jey j ez dn e 1 j 1 divj e ex dt e x y z e nh 1 div jh t e где je,h токи электронов и дырок je e E eDe ne jh h E eDh n h (7.4) где i en i Полные темпы изменения концентраций электронов и дырок ne 1 n g e divje e t e e nh 1 nh g h divjh t e h (7.5) (7.5) – это уравнения непрерывности для электронов и дырок При нарушении термодинамического равновесия изменяются и концентрации связанных электронов и дырок Возникает объемный заряд e( n h n e N D N D ) 4 Электрическое поле в (7.4) определяется уравнением Пуассона divE и граничными условиями. Заметим, что с учетом очевидного тождества уравнения (7.5) дают обычное выражение для заряда 1 div j e n n ( g h h ) ( g e e ) ( N D N A ) h e t t В общем случае нужно решать всю задачу. Однако в целом ряде случаев использование уравнения Пуассона может оказаться излишним Возникновение заряда приводит к появлению токов диффузии и дрейфа, которые стремятся уничтожить изменение объемного заряда Если диффузионно-дрейфовое равновесие устанавливается быстрее, чем термодинамическое - объемный заряд успевает обратиться в нуль за время M (максвелловское время релаксации), которое много меньше e,h. В этом случае можно положить на частотах <<1/ M ~0; При этом divj 0 Из уравнения Пуассона подставив имеем: E div ( j )0 4 t Второе слагаемое – ток смещения Максвелла т.е. линии полного тока – конвекционного j и тока смещения Максвелла - непрерывны Таким образом, рассматриваемый случай div j=0 означает, что токи смещения малы. Из написанных уравнений два важных следствия (1) Если N D , N A n i , то из условия ~0 ne = nh (2) Если генерация только зона-зона, тогда n h n e n n h e 0 t t h e h e И следовательно 7.5 Фотопроводимость Фотовозбуждение неравновесных электронов и дырок Собственная генерация пар E g примесная генерация пар E g I(x) световой поток на единицу поверхности g коэффициент поглощения dI=I(x)gdx число поглощенных фотонов в слое dx I(x)g число поглощенных фотонов в единице объема g ( )g ( ) I ( x ) где () - квантовый выход электрон (дырка) имеют энергию при t=0 E0 время релаксации по энергии E<<e - время жизни e( e n e h n h ) При однородной генерации divj=0 (собственная фотопроводимость) d e( e h ) g dt фп Стационарный случай ( ) s e( e h ) фп Если фп=const После выключения при t T ( ) s exp t фп 7.6 Квазиуровни Ферми В равновесии EF EF EF e h Фотовозбуждение n e n 0 n N e exp t ] фп ( ) s [1 exp E Fe E e EkT V E Fh n h n h0 n h N V exp kT E Fe E Fh 2 n e n h n i exp kT Ток при неоднородном возбуждении : j nEF je n e e E Fe jh n h h E Fhe Глава 8. Проблемы обоснования зонной теории 8.1 Вопросы зонной теории Мы рассматриваем одноэлектронное приближение Электрон в периодическом поле 2 2 U E 2m 0 где U ( r ) U ( r a n ) Но ядра тоже движутся. Движение ядер и фононы. (1) Можно ли движение электронов рассматривать отдельно от движения ядер? (2) Можно ли пренебречь взаимодействием электронов с фононами рассматривая задачу об энергетическом спектре электронов (3) Электронов много когда можно пренебречь их взаимодействием? 8.2 Адиабатическое приближение Оправдывает раздельное рассмотрение движения электронов и тяжелых частиц (ядер) Физическая причина: различие масс. Электроны движутся быстро и характер их движения определяется мгновенным расположением ядер. Ядра движутся медленно и поэтому «замечают» лишь среднее расположение электронов. Квантовомеханическое оформление этих соображений: Электроны i,j… их радиус-вектор ri, масса m0 Ядра…a,b…………их радиус-вектор Ra, ….масса Ma r={r1….) R={R1…} Энергия взаимодействия Уравнение Шредингера ( r, R ) U 1 U 1 ( ri r j ) U 2 U 2 ( ri Ra ) U 3 U 3 ( Ra Rb ) H W 2 1 1 2 H i 2a U 1 ( ri r j ) U 2 ( ri Ra ) U 3 ( Ra Rb ) 2 i j 2 a b i 2m 0 a 2M a i ,a 2 Ищем волновую функцию в виде ( r, R) ( r, R) ( R) Желательно, чтобы в (r,R) переменные R можно было считать параметрами, т.е. чтобы по R не было дифференцирования 2 1 2 H U ( r r ) U ( r i i 2 1 i j 2 i Ra ) 2 m i j i ,a 0 2 1 2 1 U 3 ( Ra Rb ) a 2 a b 2m0 a M a 8.1 i 2 2 , i a M a a a W 2 M a a В третьей строке производные от по координатам ядер они существенно меньше, чем в первой строке, т.е. в первом приближении можно положить, что 2 2m0 и a i2 i 1 U ( r r ) U ( r 1 i j 2 i Ra ) E ( R ) 2 i j i ,a 2 1 2 U 3 ( Ra Rb ) E ( R ) W 2M a 2 a b 8.2 8.3 (8.2) уравнение Шредингера для системы электронов, взаимодействующих друг с другом и с ядрами «прибитыми»в данный момент времени. Умножим (8.2) на * и проинтегрируем по всем ri и учтем, что * dr1 ...dri 1 Получаем 2 E ( R ) 2m0 * i 2 i 1 U ( r r ) U 2 i j 1 i j i ,c 2 ( ri Rc ) dr 8.4 E(R) есть квантовомеханическое среднее значение полной энергии электронов при заданной конфигурации ядер. Далее уравнение (8.3) это уравнение Шредингера для ядер с потенциальной энергией V ( R) 1 U 3 ( R a Rb ) E ( R ) 2 a b т.е. разделили ядра и электроны. Такое разделение и есть Адиабатическое приближение ( r, R ) - описывает поведение системы электронов при бесконечно медленном изменении координат ядер R. Оператор неадиабатичности (третья строка в уравнении (8.1)) 2 2 a M a, 2M 2 a a Поправку к адиабатическому приближению через теорию возмущения (Если возбужденное состояние имеет большую энергию по отношению к основному). Расчет показывает, что поправки пропорциональны (m0/M)1/4. 8.3 Приближение малых колебаний (амплитуда колебаний мала по сравнению с постоянной решетки) Потенциальная энергия ядер зависит от состояния электронов, Следовательно, и положение ядер и их колебания относительно равновесных положений зависят от состояния электронов (r) Этот эффект при рассмотрении рассеяния электронов в теории подвижности электронов невелик: испускание или поглощение нескольких фононов слабо влияет на интегральный эффект При захвате или испускании электрона одним центром – ситуация может отличаться кардинально – D-центры в III-V полупроводниках и т.д. Влияние неидеальности решетки из-за колебаний решетки Взаимодействие с акустическими и оптическим колебаниями в неполярных кристаллах в приближении малых колебаний поправки обычно невелики. Исключение составляют полярные кристаллы. Колебания атомов ионов изменение дипольных моментов поляризационные колебания Дипольные моменты – поле спадает медленно – - ячеек, с которыми взаимодействует электрон - много Поэтому представление о движении электронов в идеальной решетке становится неоправданным. В этом случае движение электронов – вызывает поляризацию ионов в среде которая, в свою очередь, взаимодействует с электронами и понижает энергию электронов автолокализация электронов Электрон движется вместе с созданной им поляризацией “полярон”. Если поляризация среды мала, то этим эффектом можно пренебречь. Si, Ge ….ковалентные полупроводники В III-V – поправки малы В II-VI и особенно I-VII – поправки весьма существенны. 8.4 Сведение многоэлектронной задачи к одноэлектронной. Метод самосогласованного поля 2 2 1 H e i U 0 ( ri ) U 1 ( ri r j ) i 2m 0 2 i j U 0 U 2 ( ri R a ) a U Нужно i j 1 ( ri r j ) заменить эффективным полем, так чтобы 2 2 H e H i i U 0 (ri ) U (ri ) 2m0 i i тогда H ( r ) E ( R) i i i N ( r1 ...rN ) ( r j ) j 1 N H ( r ) ( r ) ( r ) E i i i j (rj ) (ri ) N j i i j i Решение H i ( ri ) ( ri ) Ei ( ri ) где Ei E (8.5) Уравнение (8.5) это уже одноэлектронное уравнение Шредингера Теперь нужно определить U 0 ( ri ) и U ( ri ) 1 U ( r ) 2 U i i i j 1 ( ri r j ) такое равенство невозможно !!! Можно попробовать, чтобы это равенство удовлетворялось в среднем. ( r ) 2 j U ( ri ) e 2 dr ri r j j i При этом U’ не задано априори !!! Последовательные приближения U ( ) , U U и т.д. Снова из U (, ) Такое поле называют самосогласованным. (r ) функции Блоха Если взять в качестве ( r 1 ...rN ) То получим U’ периодичную функцию !!! N i i i i j ( r1 ...rN ) dr1 ...drN ( ri ) dri 2 2 i 1 i т.е. в приближении самосогласованного поля попадание электрона в элементы dr1 ...drN независимые события Причина - не учтена корреляция электронов из-за а) Принцип Паули б) Отталкивание электронов ( N ! ) Det ( ( r j )) i Соответственно, изменения в формуле (8.5) для U’ Отталкивание поправки В целом, e2 e 2 13 1 E кул rij n Кинетическая энергия Вырожденный газ - из-за принципа Паули 2 E kin 2 2 2 k n 3 2m 2m U кул E kin 1 1 n 3 Таким образом, парадоксальный результат ---- чем больше плотность, тем идеальнее газ электронов! Невырожденный газ E kin kT ; U кул E kin Чем меньше плотность, тем идеальнее газ 1 n 3 kT 8.4 Электроны и дырки как элементарные возбуждения многоэлектронной системы в полупроводниках Сильно взаимодействующая система Слабо возбужденные состояния такой системы можно представить как идеальный или слабо неидеальный газ квазичастиц – элементарных возбуждений (1) Эти квазичастицы будут либо Бозе либо Ферми (2) будут иметь импульс (квазиимпульс) (3) могут иметь заряд, спин, и т.д. Заряженные частицы должны возникать парами (закон сохранения заряда) Электроны и дырки в полупроводнике суть элементарные возбуждения квазичастицы. Пока не рассматривается взаимодействие между квазичастицами зонная теория и многоэлектронная теория неразличимы (кроме слов). Одноэлектронная теория Элементарные возбуждения Зона проводимости пуста валентная зона заполнена нет электронов нет дырок основное состояние Энергетический зазор между зоной проводимости и валентной зоной минимальная энергия создания 1 электрона и 1 дырки ширина запрещенной зоны Зона проводимости частично заполнена Валентная зона частично пуста возбуждено какое-то количество eиh возбужденное состояние полупроводника Переход электрона из валентной зоны в зону проводимости генерация e-h пары Поглощение света 8.5. Выход за пределы одноэлектронного приближения 8.5.1 Экситон Эксперимент свет поглощается - фототока нет Связанное состояние электрона и дырки p e2 Ee Eg ; 2m e p h2 Eh 2m h Пусть электрон и дырка движутся на расстоянии друг от друга r>> a a - параметра решетки т.е. метод эффективной массы можно использовать 2 2 e2 2 2 (8.6) E E 2m e re 2m h re rh rh g выход за пределы одноэлектронного приближения где ( re , rh ) ( ) E E В уравнении при g Уравнение (8.6) аналогично уравнению для атома водорода r re rh ; R me re mh rh me mh 2 2 2 2 e2 R r ( E E g ) 2m 2 r ipR ( r ) ( r , R) exp 2 2 m me mh ; me mh m e2 p2 (E Eg ) r 2m для уравнение 2 1) 0 непрерывный спектр аналог зонного решения 2) <0 e 4 , где n=1, 2, … 2 2 2 2 n e2 0 2a B const exp r a B где a B 2 e 2 боровский радиус экситона наиболее вероятное расстояние между e и h. GaAs aB~100 A Экситоны Ванье-Мотта Si aB~30 A Возможны экситоны Френкеля, когда aexc~ amol Экситоны Френкеля - в молекулярных кристаллах и в кристаллах инертных газов с малой диэлектрической постоянной и большой эффективной массой Использовать приближение эффективной массы и диэлектрическую постоянную кристалла в расчетах в этом случае нельзя 8.5.2 Границы применимости экситонного приближения До тех пор, пока концентрация экситонов мала газ экситонов можно считать невзаимодействующим Что же возможно при повышении концентрации?: 1) Очевидное развал экситонов на электроны и дырки e-h плазма с постоянной плотностью. 2) Электронно-дырочная жидкость с плотностью n1, окруженная экситонами с плотностью n2 3) Экситонные молекулы 4) Бозе-конденсат экситонов Глава 9. ОПТИЧЕСКИЕ ПЕРЕХОДЫ В ПОЛУПРОВОДНИКАХ 9.1 Межзонное поглощение света Ec E Законы сохранения Ee Eh переходы pПрямые e ph k 0 Ev k A (r , t) Электромагнитное поле может быть описано векторным потенциалом H rotA + Условие Лоренца divA 0 Гамильтониан электрона с зарядом e в периодическом поле кристалла V +электромагнитное поле H 1 e 2 ( p A( r , t )) V ( r ) 2m c e 2 2 e e2 2 [ p A] p 2 Ap 2 A c c c мало ( pA Ap idivA) 0 e ie Т.е. возмущение света H Ap A mc mc где A( r , t ) Ae exp i ( k r t ) 1 A E c t E 1 A 2 A0 sin( k r t ) c t c Матричный элемент энергии возмущения H связанный с поглощением фотона для перехода из валентной зоны в зону проводимости c, k 2 H v, k1 d 3 r ck H vk где 2 i 1 i ,k exp( i ( k )t ) exp( ik r ) u ik ( r ) i ( c ( k 2 ) v ( k 1 ) )t ie 1 e * Pvc A0 d 3ruck ( r )e uvk ( r ) A0 ( e pcv ) mc V V mc Pvc exp Коэффициент поглощения 2 e2 3 d k ( e p ) ( ( k ) ( k ) ) cv c v m 2 cnv e p cv (k ) e p cv (k 0 ) e p cv (k ) k k (k k 0 ) 0 k 0 разрешенные _ переходы e pcv (k0 )} 0 запрещенные _ переходы 1 разрешенные переходы запрещенные переходы ~ ( g ) ~ ( p ) 3 1 Eg 2 2 Eg 9.2 ЭКСИТОННЫЙ ВКЛАД В ПОГЛОЩЕНИЕ 9.2.1 Одноэлектронное приближение ПРЯМЫЕ ПЕРЕХОДЫ E Eg E E=hck Eex Eex K=ke+kh Для экситонов Eg E поглощение совпадает с энергией Eex при k~0 НЕПРЯМЫЕ ПЕРЕХОДЫ Переход из состояния i в состояние j 1 + 2 либо 3 + 4 фотон фонон фонон фотон q k 2 k1 k 0 2 W ~ if m фот M фон M mi fm 2 ( ь i ) 2 ( f i q ) - т.е. второе приближение теории квантовых переходов Законы сохранения энергии и импульса выполняются только для начального и конечного состояния M фот mi ~ e p cv (k ) 2 M фон ~ Cq ( N q 1 1 ) fm 2 2 Nq число фононов, + испускание; - поглощение ~ e p cv 2 3 d kd k где i 1 3 d Вблизи края Eg 3 ( m i ) 2 k~ ( f i q ) v d v d 3 k ~ c d c j ~ ( E g )2 ( N q 1 2 1 2) Eg -h Эксперимент 9.2.2 Экситонное поглощение РАЗРЕШЕННЫЕ ПЕРЕХОДЫ p cv const E=hck E Eex ~ d 3k ( exc ) d ~ exc K=ke+kh 9.2.3 Экситонная рекомбинация РАЗРЕШЕННЫЕ ПЕРЕХОДЫ I ( ) ~ () f ( exc ) E=hck E Eex экситоны – бозоны, но при малых плотностях статистика Больцмана ( exc ) kT ( ) ~ exc f ~ exp K=ke+kh I exp(-E/kT) E1/2 Eexc-h E Низкие температуры только испускание фононов Узкая линия с шириной 1,8 kТ 9.3 ЭКСИТОННЫЕ МОЛЕКУЛЫ 9.3.1 Излучение ЭМ По аналогии с H2 экситоны должны образовывать экситонные молекулы Основное состояние спиновый синглет для 2-х электронов и спиновой синглет для 2-х дырок в экситоне E M 2E ex M где M - энергия связи молекулы Оптический переход EM (2k0 ) M Eex (k0 k ) (k0 k ) Eex (k0 ) ex (k0 ) M ex m 2 ( k ) 2 / 2 M ex Излучение экситонов и биэкситонов в одноосно сжатом Si вдоль оси [100] Линия излучения должна лежать со стороны меньших энергий от экситона В условиях равновесия M =2ex nM 4 2 n M ex kT 2 ex 3 2 M exp M , ex kT где nM,ex концентрации молекул и экситонов; M,ex их кратности вырождения M энергия связи молекулы т.е. с увеличением плотности nM ~nex2 9.3.2 Разрушение молекул магнитным полем: Молекулы в основном состоянии находятся в состоянии спинового синглета В магнитном поле энергия спинового синглета в первом приближении (без учета диамагнетизма) не зависит от поля Экситон включает электрон и дырку с неспаренными спина E ex E ex ( B 0) (s z g e B B ) ( j z g h B B ) B4>B3>B2>B1=0 В Si, Ge спин электрона sz=1/2 спин дырки jz=3/2 при ( ge 3 gh )B B M происходит развал молекулы на экситоны 2Eex EM Bcr B 9.4 Электронно-дырочные капли Исследования излучения недеформированных Si и Ge показали, что поведение их спектров излучения с ростом накачки не соответствует описанному для экситонных молекул В спектре вместо излучения молекул – широкая линия, отстоящая от линии излучения экситона на ~10 мэВ, что сравнимо с энергией связи экситона и полностью отсутствует излучение молекул. В чем же отличие недеформированного Si и Ge от одноосно сжатых кристаллов, в которых наблюдаются экситонные молекулы? большая кратность вырождения зоны число долин (вырожд.) вырожд. Валентной зоны Si 6 (12) 4 т.е. только Ge[111] Ge 4 (8) 4 является аналогом Si[100] 2 (4) 2 для водорода !!! Ge[111] 1 (2) 2 Энергия e-h состояний зависит от кулоновской энергии взаимодействия электронов и дырок Eкул ~1<r>~n1/3 и кинетической энергии вследствие локализации электронов и дырок Причина E кин ~ N e1 n 2 3 ~ ( N e,на _ одну _ долину ) n 1 2 3 число долин Чем больше долин, тем меньше средняя кинетическая энергия, тем более связанные состояния могут образоваться. 1 В Si - 6 долин минимум полной энергии находится при(na B3 ) 3 1 E Eex=Eg-Ry Eg Eкин n=1 n=6 n=1 Etot n=6 n1/3 EЭДЖ Равновесная плотность ЭДЖ n1/3>aB-1 Eкул Экситоны разваливаются и образуется металлическая e-h жидкость с энергией связи ~ 10 мэВ, что в 10 раз больше энергии связи экситонных молекул (~1 мэВ) . В результате в системе экситонов происходит расслоение на разреженный газ экситонов и плотную электронно-дырочную жидкость в согласии с условием exc=ЭДЖ Экспериментальное наблюдение излучения металлической e-h жидкости в недеформированном и одноосно сжатом вдоль разных направлений Si Вырождение зоны валенпровотной димости зоны 12 4 12 2 8 2 4 2 P||<111> P||<110> P||<100> Ширина линии излучения ЭДЖ равна сумме энергий Ферми электронов и дырок EFe+EFh) Расстояние между фиолетовым краем линии излучения ЭДЖ и красным краем линии излучения экситона – энергия связи ЭДЖ С уменьшением вырождения валентной зоны и зоны проводимости величина энергии связи и энергии Ферми (и, следовательно, плотность жидкости) монотонно уменьшаются (Энергия связи уменьшается в 4 раза, а плотность в 3 раза при уменьшении числа долин с 6 до 2 и отщеплении зоны легких дырок в валентной зоне 9.5 Бозе-Эйнштейштейновская конденсация экситонов в импульсном пространстве в непрямых полупроводниках Экситоны – бозоны, при малых плотностях X<X , |X-X|>>kT статистика Больцмана Спектр излучения exc ) kT Узкая линия с шириной 1,8 kТ I ( ) ~ exc exp( В одноосно сжаты кристаалах Ge c с одной долиной в загне проводимости и невырожденной валентной зоной в магнитном поле оказываются нестабильными и экситонные молекулы и электронно –дырочная жидкостью. Поэтому с ростом плотности экситонов химпотенциал может увеличиваться вплоть до энергии экситонного уровня T= 2.15 K 1.75 K При |X-X|<kT Статистика Бозе- Эйнштейна exc f ~ 1 /(exp( kT ) 1) Спектр излучения I ( ) ~ exc /(exp( exc ) 1) kT C ростом плотности возбуждения наблюдается сужение линии В пределе X=X спектр, который достигается при nX= В спектре излучения ожидается излучения -функция на энергии экситона, отвечающая излучению конденсата, со слабым фиолетовым хвостом, отвечающим излучению надконденсатных частиц. В эксперименте предел не был достигнут из-за разогрева экситонного газа с ростом плотности возбуждения 9. 6 Экситонные поляритоны Energy, E Законы дисперсии прямых экситонов и фотонов пересекаются Если симметрия одинаковая, то термы должны расталкиваться. Величина расталкивания определяется константой экситон-фотонного взаимодействия - , или частотой Раби. В результате образуются смешанные экситон-фотонные состояния, получившие название – экситонные поляритоны с двумя ветвями нижней (low polariton LP) и верхней (upper polariton, UP) Условие образования поляритонов ck частота Раби должна превышать обратное время рассеяния экситонов по импульсу, X,p-1. UP Eex pol(k)=kX(k)+kph(k) Дисперсия поляритонных мод описывается уравнением LP (ck / ) 2 b 4 /(1 2 / ex (k )2 ) где 4(0) – сила осциллятора для экситонного перехода k=0 =0 и ex(0)(1+ 4/) 1/2 0 k Одной энергии в кристалле 2 волны с разными к и с разными скоростями распространения – Следует ожидать при импульсном возбуждении – 2 импульса, выходящих из кристалла с задержкой друг относительно друга при стационарном возбуждении – интерференции для интерференции Оба эффекта были наблюдены экспериментально Energy, E Квазидвумерный свет d~ ck Плоский микрорезонатор – Квантование света в направлении, перпендикулярном зеркалам Свет распространяется только в плоскости Минимальная энергия света Eph(0)~1/d Кардинальное изменение закона дисперсии света : Почти параболический закон дисперсии E ph (k ) 2 E ph (0) (ck ) 2 / с очень малой эффективной массой (~10-5 m0) 0 k Квазидвумерные экситонные поляритоны excitation Z detection Брегговские зеркала X Y Ecav В режиме сильного взаимодействия, реализующегося при энергии экситон-фотонного взаимодействия , превышающей затухание экситонной ex-1 и фотонной ph-1 мод Экситон-фотонное взаимодействие приводит к образованию двух поляритонных мод с законами дисперсии EU , L (k ) [ (k ) (k ) 4 E (k ) E (k ) ] / 2 2 4 2 X 2 ph где 2 2 (k ) E X2 (k ) E ph (k ) 2 – рассогласование экситонной и фотонной мод =EC(k=0) – EX(k=0) Energy, E Квантовые ямы UP Upper polariton branch Photon exciton LP Lower polariton branch 0 wavevector, k Energy, E LP Lower polariton branch 9.5 Экситонные поляритоны в микрорезонаторах (1) Сильная зависимость эффективной массы от квазиимпульса (2)Время жизни зависит от вклада фотона в поляритоне, т.е. уменьшается с k. (3) размер поляритона с большим фотонным вкладом ~ мкм (4) В отличие от объемных экситонных поляритонов 0 wavevector, k E ( k поляритонов 0) 0 т.е. возможность накопления на дне зоны. При этом т.к. поляритоны бозоны эффективность рассеяния на дно зоны растет с увеличением заполнения моды k=0 при достижении заполнения этой моды (k=0)>1. То есть появляется возможность конденсации при очень низкой плотности, т.к. масса очень мала реализации нового типа лазера «бозера» в системе без инверсии (беспороговый лазер) Ограничения сверху по мощности плотность должна быть много меньше aB-2 , чтобы сохранялись экситонные состояния по экситонному рассеянию рассеянию: 1/X энергия экситон-фотонного взаимодействия 1/ растет с температурой Пока эксперименты GaAs T< 20K, CdTe T<80 K, GaN 300 K Квазидвумерные экситонные поляритоны Малая плотность возбуждения – Поляритоны медленно релаксируют по дисперсионной ветке за счет рассеяния на фононах и высвечиваются, не успев добежать до дна зоны Большая плотность возбуждения – Поляритоны быстро релаксируют на дно зоны за счет поляритон-поляритонного рассеяния и конденсируются в k=0 Рапределение их по энергии E<<kT