СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ УЛЬТРАЗВУКОВЫМ ПЬЕЗОДВИГАТЕЛЕМ ДЛЯ ТОЧНОГО ПРИБОРОСТРОЕНИЯ Пензенский государственный университет Кафедра "Приборостроение“

Пензенский государственный университет
Кафедра "Приборостроение“
В.А. Бардин, В.А. Васильев,
СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ УЛЬТРАЗВУКОВЫМ
ПЬЕЗОДВИГАТЕЛЕМ ДЛЯ ТОЧНОГО ПРИБОРОСТРОЕНИЯ
Введение
• Важным направлением развития точного приборостроения
является создание миниатюрных функциональных устройств,
включающих
как
электронные
компоненты,
так
и
электромеханические устройства.
• В качестве исполнительных механизмов сборочного,
обрабатывающего и тестового оборудования для нано- и
микроперемещений наибольшее распространение получили
пьезоактюаторы и пьезодвигатели.
Цель и задачи
• Цель работы - разработка системы управления скоростным
приводом устройства прецизионного позиционирования
многофункционального тестового прибора, обеспечивающего
линейное перемещение тестируемого образца по одной
координате с разрешением в доли микрометра со скоростью
единицы мм/с.
• Задачи: информационный поиск аналогов, обоснование и
выбор типа привода; разработка конструкции привода;
разработка схемы и метода управления приводом.
Система управления многофункционального тестового прибора
• Области применения такого прибора – контроль поверхности пластин в
микроэлектронике,
контроль
электромеханических
параметров
микросборок, датчики пути, контроль качества.
• Ультразвуковые
пьезодвигатели
(вибрационные
двигатели)
предназначены для формирования непрерывного, шагового или
сканирующего режимов, а также точного углового или линейного
позиционирования различных объектов и могут быть использованы в
системах прецизионного позиционирования.
• Важным положительным качеством УЗПД является то, что при снятии
напряжения управления фиксируется положение ротора (ползуна).
Характеристики ультразвуковых линейных пьезодвигателей
Конструкция УЗПД
В качестве прототипа использована конструкция пьезодвигателя Squiggle фирмы NST.
Его габаритные размеры - 2,8x2,8x6 мм, скорость перемещения - 7 мм/с, нагрузочное
усилие (0,33 Н).
Основные элементы данного пьезопривода: четырёхгранная металлическая муфта (из
немагнитного материала) c внутренней резьбой, ходовой винт (червяк) и четыре
пластины пьезокерамики.
При подаче двухфазных напряжений на противоположные пары пластин
пьезокерамики возникают механические колебания, которые передаются
металлической муфте. В результате червяк вращается и линейно перемещается
относительно муфты. Меняя сдвиг фаз можно изменять направление движения
винта (червяка).
Схема устройства управления саморегулируемым УЗПД
• Небольшое изменение температуры или нагрузки приводит к сдвигу резонансной
частоты УЗПД по отношению к рабочей частоте контроллера, поэтому для его
эффективной работы необходимо постоянно подстраивать частоту рабочего сигнала
под меняющуюся резонансную частоту УЗПД, для чего используется обратная связь
между УЗПД и устройством управления.
• Разработанная
система
управления
саморегулируемым
ультразвуковым
пьезоэлектрическим двигателем с амплитудно-частотной регулировкой использует в
качестве источника сигнала обратной связи для регулирования частоты
управляющих сигналов рабочие пьезоэлементы УЗПД.
Способ управления УЗПД
Для эффективной работы пьезодвигателя значение амплитуды получаемого сигнала должно
находиться на участке между значениями Umin и Umax (им соответствует Fmin и Fmax), оптимально в
точке U0 (соответствует F0). В процессе управления УЗПД частота управляющего сигнала
поддерживается вблизи точки F0 (резонансная частота) путём пошагового приближения к U0 в
блоке формирования и регулировки частоты вращения.
1. АЦП сканирует сигнал, получаемый от оптопары с резистивным выходным элементом.
2. Оцифрованный сигнал передается на элемент сравнения, где сравнивается текущее значение
его амплитуды со значением амплитуды сигнала на резонансной частоте (F0) УЗПД.
3. По разности этих сигналов в блоке
формирования и регулировки частоты вращения
корректируется частота сигнала на его выходах
так, что если разность значений сигналов
положительная (+ΔU), то частота сигналов с
выходов блока формирования и регулировки
частоты вращения уменьшается (на величину –
ΔF), а если разность значений сигналов
отрицательная (–ΔU), то она увеличивается (на
величину +ΔF) пропорционально сигналу с
выхода элемента сравнения.
График зависимости амплитуды сигнала обратной связи
от частоты сигнала, подаваемого на пьезоэлементы УЗПД
Спасибо за внимание!