УТВЕРЖДАЮ ЗАКАЗЧИК Ректор ________________ Ю.А. Чаплыгин 12 декабря 2014 г. ПРОТОКОЛ № 246/31401782265-01 рассмотрения ценовых заявок и подведения итогов закупки г.Москва 12 декабря 2014г. 1. Открытый запрос цен (далее - запрос цен) проводится Заказчиком в соответствии с требованиями Положения о закупке МИЭТ. Заказчик: федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Место нахождения: 124498 Москва, Зеленоград, проезд 4806, д.5 Почтовый адрес: 124498 Москва, Зеленоград, проезд 4806, д.5 Адрес электронной почты: [email protected] Номер контактного телефона (499) 7311647 2. Наименование предмета запроса цен: выполнение работ по изготовлению тестовых образцов фотошаблонов для исследования технологических процессов создания нано- и микросистемной техники Извещение о проведении запроса цен было размещено в сети «Интернет» на официальном сайте http://zakupki.gov.ru/223 и сайте Заказчика http://miet.ru 05 декабря 2014 года. 3. Форма заседания и состав закупочной комиссии: Форма заседания закупочной комиссии (далее – Комиссии) – очная. Состав Комиссии определен приказом ректора № 686 от 05 декабря 2014 г. На заседании присутствуют 4 из 5 членов Комиссии. Кворум имеется, комиссия правомочна. 4. Место, дата, время начала рассмотрения ценовых заявок и подведения итогов закупки: Процедура рассмотрения ценовых заявок и подведения итогов закупки осуществлялась 12 декабря 2014 года по адресу: Москва, Зеленоград, проезд 4806, дом 5. Время начала рассмотрения заявок и подведения итогов закупки: 16-15. 5. Существенными условиями договора, который будет заключен с победителем в проведении запроса цен, являются: 5.1. Наименование, количество товара, требования к качеству, техническим характеристикам товара, к его безопасности, к функциональным характеристикам (потребительским свойствам) товара, к размерам, упаковке, отгрузке товара и иные требования, связанные с определением соответствия поставляемого товара потребностям Заказчика: Наименование выполнение работ по изготовлению тестовых образцов фотошаблонов для исследования технологических процессов создания нано- и микросистемной техники 5.1. Требования к выполнению работ: 5.1.1. Виды продукции, которые должны быть разработаны в рамках данной работы. 1 этап - Тестовые образцы фотошаблонов для исследования технологических процессов создания полевых нанокатодов. 2 этап - Тестовые образцы фотошаблонов для исследования технологических процессов создания наноразмерных тонкопленочных высокочувствительных магниторезистивных структур. 5.1.2. Комплектность продукции. 1) Тестовые образцы фотошаблонов для исследования технологических процессов создания полевых нанокатодов изготавливаются в количестве 8 шт. 2) Тестовые образцы фотошаблонов для исследования технологических процессов создания наноразмерных тонкопленочных высокочувствительных магниторезистивных структур изготавливаются в количестве 8 шт. 5.2. Технические требования к продукции. 5.2.1. Требования к тестовым образцам фотошаблонов. 1 Тестовый образец фотошаблона представляет собой стеклянную пластину размером 7 дюймов по спецификации стандарта SEMI, в маскирующем слое которой по заданной управляющей программе сформирован топологический рисунок слоя с установленными техническими параметрами. Плосткостность тестового образца фотошаблона определяется используемым для контактной литографии типом литографического оборудования и требованиями по воспроизведению размеров топологических элементов в пределах рабочего поля ( диаметр 150 мм). Дефектность фотошаблонов должна быть не хуже указанных значений в соответствии с группой качества для каждого конкретного топологического слоя. 5.2.2. Характеристики тестового образца фотошаблона. Материал тестового образца фотошаблона: щелочное стекло (sodalime) размером 7 дюймов по спецификации 7012 SL HRC 15M 1518 5K; Диаметр рабочего поля тестового образца фотошаблона: не менее 145 мм; Габаритные размеры стекла тестового образца фотошаблона ШхВ, мм: 177,4х177,4±0,4; Толщина стекла тестового образца фотошаблона, мм: 3,05 ± 0,1; Плоскостность тестового образца фотошаблона в рабочем поле, мкм: не хуже 5; Тип маскирующего покрытия: хром; Толщина маскирующего покрытия, ангстрем: 1030 ± 50; Оптическая плотность: 2.8-3.0 5.2.3. Прочие характеристики тестового образца фотошаблона приведены в следующей таблице: Минимальный Максимально Группа размер на Допуск на Воспроизведение Совмещение допустимый качества фотошаблоне размер [+/-нм] размера [нм] [нм]* размер [мкм] дефекта, нм Q1 >1,00 150 150 150 1000 5.2.4. Тестовые образцы фотошаблонов должны быть совместимы с установкой контактной литографии типа Carl Suss MA-150. 5.2.5. При изготовлении тестовых образцов фотошаблонов должно быть обеспечено совмещение с ранее изготовленными комплектами фотошаблонов. 5.2.6. Тестовые образцы фотошаблонов должны соответствовать следующим стандартам: международному стандарту SEMI Р10 «Требования ко входным данным при производстве ФШ»; SEMI стандарт: Р1-92 «Твердые поверхности фотошаблонных заготовок»; SEMI стандарт: Р2-86 «Хромовые тонкие пленки»; VDI стандарт. 5.2.7. Состав комплекта тестовых образцов фотошаблонов для исследования технологических процессов создания полевых нанокатодов и характеристики фотошаблонов в комплекте. Тестовые образцы фотошаблонов для исследования технологических процессов создания полевых нанокатодов Номер Группа Масштаб Тональность Описание (согласно слоя качества изображени технологическому маршруту) я Q1 1:1 Светлое поле МС1 1 Q1 1:1 Темное поле МС2 2 Q1 1:1 Темное поле Л1 3 Q1 1:1 Темное поле Л2 4 Q1 1:1 Темное поле Н1 5 Q1 1:1 Светлое поле Н2 6 Q1 1:1 Светлое поле Н3 7 Q1 1:1 Темное поле Н4 8 5.2.8. Состав комплекта тестовых образцов фотошаблонов для исследования технологических процессов создания наноразмерных тонкопленочных высокочувствительных магниторезистивных структур и характеристики фотошаблонов в комплекте. 2 Тестовые образцы фотошаблонов для исследования технологических процессов создания наноразмерных тонкопленочных высокочувствительных магниторезистивных структур Номер Группа Масштаб Тональность Описание (согласно слоя качества изображени технологическому маршруту) я Q1 1:1 Темное поле Н5 1 Q1 1:1 Темное поле Р1 2 Q1 1:1 Светлое поле Р2 3 Q1 1:1 Светлое поле Р3 4 Q1 1:1 Темное поле Р4 5 Q1 1:1 Темное поле С1 6 Q1 1:1 Темное поле С2 7 Q1 1:1 Темное поле С3 8 5.2.9. Тестовые образцы фотошаблонов изготавливаются по заданной управляющей информации, которая передается организации, победившей в запросе цен. 5.2.10. Требования к технологии формирования рисунка в маскирующем слое фотошаблонной заготовки. 5.3. Требования по количеству, периодичности, сроку и месту проведения работ Срок выполнения работ: Работы выполняются в 2 этапа (возможно одновременное выполнение работ по этапам) в течение 7 (Семи) рабочих дней с даты заключения Договора, с правом досрочного выполнения работ. 5.4. Передаваемая вместе с работой либо до начала исполнения документация: До начала выполнения работ Заказчик передает исполнителю: - техническое задание на выполнение работ; - управляющую информацию, необходимую для изготовления тестовых образцов фотошаблонов на электронном носителе. По результатам выполненных работ Заказчику передаются тестовые образцы фотошаблонов путем подписания Акта сдачи-приемки выполненных работ . Тестовые образцы фотошаблонов для исследования технологических процессов создания полевых нанокатодов изготавливаются в количестве 8 шт. Тестовые образцы фотошаблонов для исследования технологических процессов создания наноразмерных тонкопленочных высокочувствительных магниторезистивных структур изготавливаются в количестве 8 шт. 5.5. Условия приемки работ Заказчиком: Сдача и приемка выполненных работ осуществляется в соответствии с требованиями ТЗ путем подписания Акта и передачи Заказчику результатов работ, установленных ТЗ.. Перечень отчетной и другой документации, подлежащей оформлению и сдаче Исполнителем Заказчику по окончании выполнения работ по Договору, определяется ТЗ. Факт выполнения Исполнителем работ подтверждается Актом, подписываемым Заказчиком и Исполнителем после выполнения работ в полном объеме. Исполнитель передает Заказчику подписанный Акт и отчетные материалы в течение 3 (трех) рабочих дней с даты окончания работ. В течение 5 (пяти) рабочих дней с момента предоставления Исполнителем подписанного им Акта и отчетных материалов Заказчик проводит их проверку на соответствие требованиям ТЗ. По результатам проведения проверки Заказчик подписывает Акт или направляет в адрес Исполнителя письменный мотивированный отказ от подписания Акта. 5.6. Действия сторон в случае сомнений в качестве работ: Заказчик в течение 3 (трех) календарных дней с момента обнаружения недостатков письменно уведомляет Исполнителя обо всех претензиях по качеству работ путем направления Исполнителю в письменной форме мотивированного отказа. После получения такого уведомления Исполнитель проводит устранение обнаруженных недостатков без расходов со стороны Заказчика в течение 10 календарных дней. 5.7.Указание всех существенных условий договора, 3 В случае если просрочка Исполнителем даты окончания работ превысит 5 (Пять) рабочих дней с момента срока окончания работ Заказчик в безусловном порядке заявляет Исполнителю о расторжении Договора, что оформляется дополнительным соглашением. 5.9. Начальная (максимальная) цена договора: 600000,00 (Шестьсот тысяч) рублей 00 копеек Цена включает все расходы, связанные с исполнением Договора, а также затраты на уплату налогов, сборов и других обязательных платежей. 6. По окончании, указанного в Документации о проведении запроса цен срока подачи ценовых заявок, 12 декабря 2014 года в 16 часов 00 минут (время московское) поступила 1 (Одна) заявка от следующего претендента на участие в закупке: Дата Время № Регистрационны Сведения о претенденте на участие в поступлени поступлени п/п й номер заявки закупке я я Общество с ограниченной 1 1/246 12.12.2014 10-15 ответственностью «Микрофотоника» Адрес места нахождения: 248000, Калужская область, г.Калуга, ул.Первомайская, д.37, офис 1 ИНН 4027114210, КПП 402701001, ОГРН 1134027001998 7. Комиссия рассмотрела ценовую заявку на участие в запросе цен на соответствие требованиям, установленным в Документации о проведении запроса цен, и приняла следующее решение: 7.1 Решение о допуске претендента на участие в закупке к участию в закупке и о признании участником закупки: Номер заявки Претендент на участие в закупке Предложение претендента на участие в закупке, руб. Решение Комиссии о допуске Обоснование принятого решения 1/246 ООО «Микрофотоника » 600000,00 Допущен, признан участником закупки Заявка соответствует установленным требованиям 7.2 Решение об отказе в допуске претендентов к участию в закупке с обоснованием такого решения: отсутствует. 7.3 На основании п. 6.1.25 закупка признается состоявшейся и Комиссия рекомендует руководителю Заказчика заключить договор с участником состоявшейся процедуры закупки ООО «Микрофотоника» на условиях, предусмотренных в Документации о закупке и по цене его заявки 600000,00 (Шестьсот тысяч) рублей 00 копеек, НДС не облагается в соответствии с п.п. 16 п. 3 ст. 149 гл. 21 ч. и ст.346.12 и 346.13 гл.26.2 II Налогового кодекса РФ (в действующей редакции). 8. Протокол рассмотрения ценовых заявок и подведения итогов закупки составлен в одном экземпляре и подлежит размещению в сети «Интернет» на сайтах http://zakupki.gov.ru/223 и http://miet.ru. 9. Заседание комиссии окончено 12 декабря 2014 г. в 16 часов 40 минут по московскому времени. 10. Протокол подписан всеми присутствующими на заседании членами Комиссии Председателя Комиссии Член Комиссии Член Комиссии Член Комиссии, секретарь 4