Ионный источник ассистирования "СТРЕЛОК -2"

Тел. +375 17 2931842, факс +375 17 2931845
e - m a i l : i n f o @ i z o va c . c o m
w w w . i z o va c . c o m
ООО «Изовак»
Ионный источник ассистирования "СТРЕЛОК -2"
Ионный источник холловского типа "СТРЕЛОК -2" предназначен для использования в
составе вакуумных установок для создания интенсивных низкоэнергетичных потоков
ионов в вакууме.
Назначение и области применения
Производство изделий
оптики,
микроэлектроники,
машиностроения,
медицины.
Применяется для ионной очистки подложек и
ассистирования процессов нанесения пленочных
покрытий методами испарения и распыления в
вакууме. Может также применяться для синтеза
покрытий из газовой фазы, реактивного травления,
осуществления плазмо - химических реакций
(подкисление, нитрирование) и других
технологических процессов, а также для научных исследований. Источник создаѐт
конический расходящийся поток ионов рабочего газа. При использовании в составе
широко распространѐнных установок с диаметром камеры 700 – 900 мм, ионный пучок
обеспечивает покрытие требуемой зоны обработки.
Источник легко встраивается в вакуумную камеру и может работать одновременно со
следующими устройствами нанесения покрытий:
 электронно-лучевыми, резистивными, вакуумно-дуговыми испарителями,
 магнетронными, ионно-лучевыми распылителями.
Особенности конструкции
Снижен расход газа благодаря примененным техническим решениям.
Применѐнная в источнике магнитная система на постоянных магнитах позволила
уменьшить габариты и сократить число блоков питания. Оригинальная система
водяного охлаждения позволяет избежать перегрева при максимальной мощности
работы несмотря на малые габариты источника.
Удобство профилактики. Предусмотрена возможность быстрого снятия
загрязняющихся в процессе работы частей для периодической чистки без
извлечения источника из вакуумной камеры и без отсоединения линий подачи
электроэнергии, газа и воды.
В составе источника может использоваться бысторозаменяеый термокатод –
вольфрамовая нить или плазменно – мостовой нейтрализатор на основе разряда в
скрещенных E×H полях (опция)
Источник снабжѐн блоком питания оригинальной разработки и может управляться
в ручном и автоматическом режимах. Кроме обеспечения источника питающими
1
Тел. +375 17 2931842, факс +375 17 2931845
e - m a i l : i n f o @ i z o va c . c o m
w w w . i z o va c . c o m
ООО «Изовак»
напряжениями, блок питания управляет работой натекателя, осуществляющего
подачу рабочего газа
Источник прост в сборке и не требует сложной юстировки
ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ
Ток анода, максимальный (при работе с аргоном), А
Анодное напряжение, В
5
50 - 300
Угол расходимости пучка (°)
80
Ионный ток, А
до 1,5
Средняя энергия ионов, эВ
30 - 200
Расход газа, см3/мин
3 - 20
Давление в области дрейфа ионного пучка, Па
Рабочие газы
5×10-3- 10-1
Ar, O2, N2, углеводороды,
другие газы и их смси
Габаритные размеры, мм
120 × 110
Вес, кг
5,6
2