Uploaded by Vladislav “Dkall” Bruykhanov

ЛР Зондовая микроскопия

advertisement
Цель работы: научиться получать изображения с помощью электронно-растрового
микроскопа
Теоретическая часть:
В микроскопах подобного типа необходима настройка некоторых параметров, чтобы получить
четкое изображение. Как эти параметры влияют на качество изображения:
Ускоряющее напряжение – Повышение ускоряющего напряжения увеличивает четкость
изображения и пространственное разрешение вследствие уменьшения длины волны опорного
излучения. У непроводящих образцов понижение ускоряющего напряжения снимает
излишнюю зарядку образца, выявляя мелкие детали
Размер пучка - Уменьшение размера пучка, уменьшает энергию пучка, что приводит к
неравномерному распределению освещенности внеосевых зон изображения, в дифракционноограниченных оптических системах качество изображения определяется дифракцией, причем
чем меньше результирующая апертура (размер пучка), тем больше влияние дифракции, то есть
ухудшается качество изображения.
Расстояние до образца – У любой линзы существует фокус. Расстояние до образца влияет на
то, как объект попадает в фокус
Значение астигматизма – астигматизм, это асимметрия магнитного ноля объективных линз. В
результате происходит перефокусировка данной точки исследуемого объекта в одном
направлении и недофокусировка ее в другом.
Ход работы
Изображения стали, полученное с помощью:
Вторичных электронов
Отраженных электронов
Изображения каменного образца полученных с помощью:
Отраженных электронов
Вторичных электронов
Заключение:
Получилось получить оба изображения для всех образцов. Но тем не менее изображение
может не появиться по нескольким причинам: образец не был правильно подготовлен,
например на неметаллы необходимо наносить тонкий слов проводящего материала, в образце
осталось небольшое количество воды или в камере устройства не был установлен требуемый
вакуум
Download