Техническое задание №1 программе ANSYS.

Техническое задание №1
I. Выполнить статический анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. На рисунке 1 представлена консольная балка.
Рисунок 1 – Консольная балка
2. Материал – поликремний.
3. Сечение упругой балки – трапециевидное.
4. Консольная балка: 100х10х10 мкм, угол травления 50 град.
5. Метод построения геометрической модели – снизу-вверх.
6. Внешнее линейное ускорение – 100 g.
7. Определить перемещение консольной балки под действием внешнего
линейного ускорения в программе ANSYS.
II. Выполнить модальный анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. Материал – поликремний.
2. Сечение упругой балки – прямоугольное.
3. Консольная балка: 100х10х10 мкм.
4. Метод построения геометрической модели – сверху-вниз.
5. Определить первые 3 формы и собственные частоты колебания
предложенного компонента в диапазоне частот 0 – 100 МГц.
III. Выполнить расчет характеристик порогового балочного акселерометра.
1. Материал – поликремний.
2. Внешнее линейное ускорение – 100 g.
3. Сечение упругой балки – треугольное.
4. Требуемое перемещение консольной балки – 5 мкм.
5. Определить геометрические размеры консольной балки.
Техническое задание №2
I. Выполнить статический анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. На рисунке 1 представлена консольная балка.
Рисунок 1 – Консольная балка
2. Материал – поликремний.
3. Сечение упругой балки – трапециевидное.
4. Консольная балка: 150х8х8 мкм, угол травления 55 град.
5. Метод построения геометрической модели – снизу-вверх.
6. Внешнее линейное ускорение – 80 g.
7. Определить перемещение консольной балки под действием внешнего
линейного ускорения в программе ANSYS.
II. Выполнить модальный анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. Материал – поликремний.
2. Сечение упругой балки – прямоугольное.
3. Консольная балка: 150х8х8 мкм.
4. Метод построения геометрической модели – сверху-вниз.
5. Определить первые 3 формы и собственные частоты колебания
предложенного компонента в диапазоне частот 0 – 100 МГц.
III. Выполнить расчет характеристик порогового балочного акселерометра.
1. Материал – поликремний.
2. Внешнее линейное ускорение – 80 g.
3. Сечение упругой балки – треугольное.
4. Требуемое перемещение консольной балки – 5 мкм.
5. Определить геометрические размеры консольной балки.
Техническое задание №3
I. Выполнить статический анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. На рисунке 1 представлена консольная балка.
Рисунок 1 – Консольная балка
2. Материал – поликремний.
3. Сечение упругой балки – трапециевидное.
4. Консольная балка: 130х10х8 мкм, угол травления 60 град.
5. Метод построения геометрической модели – снизу-вверх.
6. Внешнее линейное ускорение – 90 g.
7. Определить перемещение консольной балки под действием внешнего
линейного ускорения в программе ANSYS.
II. Выполнить модальный анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. Материал – поликремний.
2. Сечение упругой балки – прямоугольное.
3. Консольная балка: 130х10х8 мкм.
4. Метод построения геометрической модели – сверху-вниз.
5. Определить первые 3 формы и собственные частоты колебания
предложенного компонента в диапазоне частот 0 – 100 МГц.
III. Выполнить расчет характеристик порогового балочного акселерометра.
1. Материал – поликремний.
2. Внешнее линейное ускорение – 90 g.
3. Сечение упругой балки – треугольное.
4. Требуемое перемещение консольной балки – 5 мкм.
5. Определить геометрические размеры консольной балки.
Техническое задание №4
I. Выполнить статический анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. На рисунке 1 представлена консольная балка.
Рисунок 1 – Консольная балка
2. Материал – поликремний.
3. Сечение упругой балки – трапециевидное.
4. Консольная балка: 140х8х10 мкм, угол травления 65 град.
5. Метод построения геометрической модели – снизу-вверх.
6. Внешнее линейное ускорение – 110 g.
7. Определить перемещение консольной балки под действием внешнего
линейного ускорения в программе ANSYS.
II. Выполнить модальный анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. Материал – поликремний.
2. Сечение упругой балки – прямоугольное.
3. Консольная балка: 140х8х10 мкм.
4. Метод построения геометрической модели – сверху-вниз.
5. Определить первые 3 формы и собственные частоты колебания
предложенного компонента в диапазоне частот 0 – 100 МГц.
III. Выполнить расчет характеристик порогового балочного акселерометра.
1. Материал – поликремний.
2. Внешнее линейное ускорение – 110 g.
3. Сечение упругой балки – треугольное.
4. Требуемое перемещение консольной балки – 5 мкм.
5. Определить геометрические размеры консольной балки.
Техническое задание №5
I. Выполнить статический анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. На рисунке 1 представлена консольная балка.
Рисунок 1 – Консольная балка
2. Материал – поликремний.
3. Сечение упругой балки – трапециевидное.
4. Консольная балка: 120х10х5 мкм, угол травления 70 град.
5. Метод построения геометрической модели – снизу-вверх.
6. Внешнее линейное ускорение – 95 g.
7. Определить перемещение консольной балки под действием внешнего
линейного ускорения в программе ANSYS.
II. Выполнить модальный анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. Материал – поликремний.
2. Сечение упругой балки – прямоугольное.
3. Консольная балка: 120х10х5 мкм.
4. Метод построения геометрической модели – сверху-вниз.
5. Определить первые 3 формы и собственные частоты колебания
предложенного компонента в диапазоне частот 0 – 100 МГц.
III. Выполнить расчет характеристик порогового балочного акселерометра.
1. Материал – поликремний.
2. Внешнее линейное ускорение – 95 g.
3. Сечение упругой балки – треугольное.
4. Требуемое перемещение консольной балки – 5 мкм.
5. Определить геометрические размеры консольной балки.
Техническое задание №6
I. Выполнить статический анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. На рисунке 1 представлена консольная балка.
Рисунок 1 – Консольная балка
2. Материал – поликремний.
3. Сечение упругой балки – трапециевидное.
4. Консольная балка: 110х5х10 мкм, угол травления 75 град.
5. Метод построения геометрической модели – снизу-вверх.
6. Внешнее линейное ускорение – 85 g.
7. Определить перемещение консольной балки под действием внешнего
линейного ускорения в программе ANSYS.
II. Выполнить модальный анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. Материал – поликремний.
2. Сечение упругой балки – прямоугольное.
3. Консольная балка: 110х5х10 мкм.
4. Метод построения геометрической модели – сверху-вниз.
5. Определить первые 3 формы и собственные частоты колебания
предложенного компонента в диапазоне частот 0 – 100 МГц.
III. Выполнить расчет характеристик порогового балочного акселерометра.
1. Материал – поликремний.
2. Внешнее линейное ускорение – 85 g.
3. Сечение упругой балки – треугольное.
4. Требуемое перемещение консольной балки – 5 мкм.
5. Определить геометрические размеры консольной балки.
Техническое задание №7
I. Выполнить статический анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. На рисунке 1 представлена консольная балка.
Рисунок 1 – Консольная балка
2. Материал – поликремний.
3. Сечение упругой балки – трапециевидное.
4. Консольная балка: 125х10х8 мкм, угол травления 80 град.
5. Метод построения геометрической модели – снизу-вверх.
6. Внешнее линейное ускорение – 120 g.
7. Определить перемещение консольной балки под действием внешнего
линейного ускорения в программе ANSYS.
II. Выполнить модальный анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. Материал – поликремний.
2. Сечение упругой балки – прямоугольное.
3. Консольная балка: 125х10х8 мкм.
4. Метод построения геометрической модели – сверху-вниз.
5. Определить первые 3 формы и собственные частоты колебания
предложенного компонента в диапазоне частот 0 – 100 МГц.
III. Выполнить расчет характеристик порогового балочного акселерометра.
1. Материал – поликремний.
2. Внешнее линейное ускорение – 120 g.
3. Сечение упругой балки – треугольное.
4. Требуемое перемещение консольной балки – 5 мкм.
5. Определить геометрические размеры консольной балки.
Техническое задание №8
I. Выполнить статический анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. На рисунке 1 представлена консольная балка.
Рисунок 1 – Консольная балка
2. Материал – поликремний.
3. Сечение упругой балки – трапециевидное.
4. Консольная балка: 160х5х5 мкм, угол травления 85 град.
5. Метод построения геометрической модели – снизу-вверх.
6. Внешнее линейное ускорение – 125 g.
7. Определить перемещение консольной балки под действием внешнего
линейного ускорения в программе ANSYS.
II. Выполнить модальный анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. Материал – поликремний.
2. Сечение упругой балки – прямоугольное.
3. Консольная балка: 160х5х5 мкм.
4. Метод построения геометрической модели – сверху-вниз.
5. Определить первые 3 формы и собственные частоты колебания
предложенного компонента в диапазоне частот 0 – 100 МГц.
III. Выполнить расчет характеристик порогового балочного акселерометра.
1. Материал – поликремний.
2. Внешнее линейное ускорение – 125 g.
3. Сечение упругой балки – треугольное.
4. Требуемое перемещение консольной балки – 5 мкм.
5. Определить геометрические размеры консольной балки.
Техническое задание №9
I. Выполнить статический анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. На рисунке 1 представлена консольная балка.
Рисунок 1 – Консольная балка
2. Материал – поликремний.
3. Сечение упругой балки – трапециевидное.
4. Консольная балка: 130х10х5 мкм, угол травления 53 град.
5. Метод построения геометрической модели – снизу-вверх.
6. Внешнее линейное ускорение – 130 g.
7. Определить перемещение консольной балки под действием внешнего
линейного ускорения в программе ANSYS.
II. Выполнить модальный анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. Материал – поликремний.
2. Сечение упругой балки – прямоугольное.
3. Консольная балка: 130х10х5 мкм.
4. Метод построения геометрической модели – сверху-вниз.
5. Определить первые 3 формы и собственные частоты колебания
предложенного компонента в диапазоне частот 0 – 100 МГц.
III. Выполнить расчет характеристик порогового балочного акселерометра.
1. Материал – поликремний.
2. Внешнее линейное ускорение – 130 g.
3. Сечение упругой балки – треугольное.
4. Требуемое перемещение консольной балки – 5 мкм.
5. Определить геометрические размеры консольной балки.
Техническое задание №10
I. Выполнить статический анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. На рисунке 1 представлена консольная балка.
Рисунок 1 – Консольная балка
2. Материал – поликремний.
3. Сечение упругой балки – трапециевидное.
4. Консольная балка: 100х10х5 мкм, угол травления 63 град.
5. Метод построения геометрической модели – снизу-вверх.
6. Внешнее линейное ускорение – 135 g.
7. Определить перемещение консольной балки под действием внешнего
линейного ускорения в программе ANSYS.
II. Выполнить модальный анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. Материал – поликремний.
2. Сечение упругой балки – прямоугольное.
3. Консольная балка: 100х10х5 мкм.
4. Метод построения геометрической модели – сверху-вниз.
5. Определить первые 3 формы и собственные частоты колебания
предложенного компонента в диапазоне частот 0 – 100 МГц.
III. Выполнить расчет характеристик порогового балочного акселерометра.
1. Материал – поликремний.
2. Внешнее линейное ускорение – 135 g.
3. Сечение упругой балки – треугольное.
4. Требуемое перемещение консольной балки – 5 мкм.
5. Определить геометрические размеры консольной балки.
Техническое задание №11
I. Выполнить статический анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. На рисунке 1 представлена консольная балка.
Рисунок 1 – Консольная балка
2. Материал – поликремний.
3. Сечение упругой балки – трапециевидное.
4. Консольная балка: 120х8х10 мкм, угол травления 73 град.
5. Метод построения геометрической модели – снизу-вверх.
6. Внешнее линейное ускорение – 140 g.
7. Определить перемещение консольной балки под действием внешнего
линейного ускорения в программе ANSYS.
II. Выполнить модальный анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. Материал – поликремний.
2. Сечение упругой балки – прямоугольное.
3. Консольная балка: 120х8х10 мкм.
4. Метод построения геометрической модели – сверху-вниз.
5. Определить первые 3 формы и собственные частоты колебания
предложенного компонента в диапазоне частот 0 – 100 МГц.
III. Выполнить расчет характеристик порогового балочного акселерометра.
1. Материал – поликремний.
2. Внешнее линейное ускорение – 140 g.
3. Сечение упругой балки – треугольное.
4. Требуемое перемещение консольной балки – 5 мкм.
5. Определить геометрические размеры консольной балки.
Техническое задание №12
I. Выполнить статический анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. На рисунке 1 представлена консольная балка.
Рисунок 1 – Консольная балка
2. Материал – поликремний.
3. Сечение упругой балки – трапециевидное.
4. Консольная балка: 140х10х5 мкм, угол травления 83 град.
5. Метод построения геометрической модели – снизу-вверх.
6. Внешнее линейное ускорение – 150 g.
7. Определить перемещение консольной балки под действием внешнего
линейного ускорения в программе ANSYS.
II. Выполнить модальный анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. Материал – поликремний.
2. Сечение упругой балки – прямоугольное.
3. Консольная балка: 140х10х5 мкм.
4. Метод построения геометрической модели – сверху-вниз.
5. Определить первые 3 формы и собственные частоты колебания
предложенного компонента в диапазоне частот 0 – 100 МГц.
III. Выполнить расчет характеристик порогового балочного акселерометра.
1. Материал – поликремний.
2. Внешнее линейное ускорение – 150 g.
3. Сечение упругой балки – треугольное.
4. Требуемое перемещение консольной балки – 5 мкм.
5. Определить геометрические размеры консольной балки.
Техническое задание №13
I. Выполнить статический анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. На рисунке 1 представлена консольная балка.
Рисунок 1 – Консольная балка
2. Материал – поликремний.
3. Сечение упругой балки – трапециевидное.
4. Консольная балка: 160х30х4 мкм, угол травления 78 град.
5. Метод построения геометрической модели – снизу-вверх.
6. Внешнее линейное ускорение – 230 g.
7. Определить перемещение консольной балки под действием внешнего
линейного ускорения в программе ANSYS.
II. Выполнить модальный анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. Материал – поликремний.
2. Сечение упругой балки – прямоугольное.
3. Консольная балка: 160х30х4 мкм.
4. Метод построения геометрической модели – сверху-вниз.
5. Определить первые 3 формы и собственные частоты колебания
предложенного компонента в диапазоне частот 0 – 100 МГц.
III. Выполнить расчет характеристик порогового балочного акселерометра.
1. Материал – поликремний.
2. Внешнее линейное ускорение – 230 g.
3. Сечение упругой балки – треугольное.
4. Требуемое перемещение консольной балки – 5 мкм.
5. Определить геометрические размеры консольной балки.
Техническое задание №14
I. Выполнить статический анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. На рисунке 1 представлена консольная балка.
Рисунок 1 – Консольная балка
2. Материал – поликремний.
3. Сечение упругой балки – трапециевидное.
4. Консольная балка: 175х23х6 мкм, угол травления 86 град.
5. Метод построения геометрической модели – снизу-вверх.
6. Внешнее линейное ускорение – 173 g.
7. Определить перемещение консольной балки под действием внешнего
линейного ускорения в программе ANSYS.
II. Выполнить модальный анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. Материал – поликремний.
2. Сечение упругой балки – прямоугольное.
3. Консольная балка: 175х23х6 мкм.
4. Метод построения геометрической модели – сверху-вниз.
5. Определить первые 3 формы и собственные частоты колебания
предложенного компонента в диапазоне частот 0 – 100 МГц.
III. Выполнить расчет характеристик порогового балочного акселерометра.
1. Материал – поликремний.
2. Внешнее линейное ускорение – 173 g.
3. Сечение упругой балки – треугольное.
4. Требуемое перемещение консольной балки – 5 мкм.
5. Определить геометрические размеры консольной балки.
Техническое задание №15
I. Выполнить статический анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. На рисунке 1 представлена консольная балка.
Рисунок 1 – Консольная балка
2. Материал – поликремний.
3. Сечение упругой балки – трапециевидное.
4. Консольная балка: 170х20х8 мкм, угол травления 55 град.
5. Метод построения геометрической модели – снизу-вверх.
6. Внешнее линейное ускорение – 300 g.
7. Определить перемещение консольной балки под действием внешнего
линейного ускорения в программе ANSYS.
II. Выполнить модальный анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. Материал – поликремний.
2. Сечение упругой балки – прямоугольное.
3. Консольная балка: 170х20х10 мкм.
4. Метод построения геометрической модели – сверху-вниз.
5. Определить первые 3 формы и собственные частоты колебания
предложенного компонента в диапазоне частот 0 – 100 МГц.
III. Выполнить расчет характеристик порогового балочного акселерометра.
1. Материал – поликремний.
2. Внешнее линейное ускорение – 300 g.
3. Сечение упругой балки – треугольное.
4. Требуемое перемещение консольной балки – 5 мкм.
5. Определить геометрические размеры консольной балки.
Техническое задание №16
I. Выполнить статический анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. На рисунке 1 представлена консольная балка.
Рисунок 1 – Консольная балка
2. Материал – поликремний.
3. Сечение упругой балки – трапециевидное.
4. Консольная балка: 150х15х8 мкм, угол травления 60 град.
5. Метод построения геометрической модели – снизу-вверх.
6. Внешнее линейное ускорение – 380 g.
7. Определить перемещение консольной балки под действием внешнего
линейного ускорения в программе ANSYS.
II. Выполнить модальный анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. Материал – поликремний.
2. Сечение упругой балки – прямоугольное.
3. Консольная балка: 250х28х8 мкм.
4. Метод построения геометрической модели – сверху-вниз.
5. Определить первые 3 формы и собственные частоты колебания
предложенного компонента в диапазоне частот 0 – 100 МГц.
III. Выполнить расчет характеристик порогового балочного акселерометра.
1. Материал – поликремний.
2. Внешнее линейное ускорение – 380 g.
3. Сечение упругой балки – треугольное.
4. Требуемое перемещение консольной балки – 5 мкм.
5. Определить геометрические размеры консольной балки.
Техническое задание №17
I. Выполнить статический анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. На рисунке 1 представлена консольная балка.
Рисунок 1 – Консольная балка
2. Материал – поликремний.
3. Сечение упругой балки – трапециевидное.
4. Консольная балка: 230х20х6 мкм, угол травления 65 град.
5. Метод построения геометрической модели – снизу-вверх.
6. Внешнее линейное ускорение – 290 g.
7. Определить перемещение консольной балки под действием внешнего
линейного ускорения в программе ANSYS.
II. Выполнить модальный анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. Материал – поликремний.
2. Сечение упругой балки – прямоугольное.
3. Консольная балка: 190х30х5 мкм.
4. Метод построения геометрической модели – сверху-вниз.
5. Определить первые 3 формы и собственные частоты колебания
предложенного компонента в диапазоне частот 0 – 100 МГц.
III. Выполнить расчет характеристик порогового балочного акселерометра.
1. Материал – поликремний.
2. Внешнее линейное ускорение – 290 g.
3. Сечение упругой балки – треугольное.
4. Требуемое перемещение консольной балки – 5 мкм.
5. Определить геометрические размеры консольной балки.
Техническое задание №18
I. Выполнить статический анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. На рисунке 1 представлена консольная балка.
Рисунок 1 – Консольная балка
2. Материал – поликремний.
3. Сечение упругой балки – трапециевидное.
4. Консольная балка: 156х14х9 мкм, угол травления 63 град.
5. Метод построения геометрической модели – снизу-вверх.
6. Внешнее линейное ускорение – 389 g.
7. Определить перемещение консольной балки под действием внешнего
линейного ускорения в программе ANSYS.
II. Выполнить модальный анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. Материал – поликремний.
2. Сечение упругой балки – прямоугольное.
3. Консольная балка: 235х27х9 мкм.
4. Метод построения геометрической модели – сверху-вниз.
5. Определить первые 3 формы и собственные частоты колебания
предложенного компонента в диапазоне частот 0 – 100 МГц.
III. Выполнить расчет характеристик порогового балочного акселерометра.
1. Материал – поликремний.
2. Внешнее линейное ускорение – 389 g.
3. Сечение упругой балки – треугольное.
4. Требуемое перемещение консольной балки – 5 мкм.
5. Определить геометрические размеры консольной балки.
Техническое задание №19
I. Выполнить статический анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. На рисунке 1 представлена консольная балка.
Рисунок 1 – Консольная балка
2. Материал – поликремний.
3. Сечение упругой балки – трапециевидное.
4. Консольная балка: 223х21х7 мкм, угол травления 56 град.
5. Метод построения геометрической модели – снизу-вверх.
6. Внешнее линейное ускорение – 274 g.
7. Определить перемещение консольной балки под действием внешнего
линейного ускорения в программе ANSYS.
II. Выполнить модальный анализ предложенного компонента МСТ в
программе ANSYS.
1. Материал – поликремний.
2. Сечение упругой балки – прямоугольное.
3. Консольная балка: 192х32х7 мкм.
4. Метод построения геометрической модели – сверху-вниз.
5. Определить первые 3 формы и собственные частоты колебания
предложенного компонента в диапазоне частот 0 – 100 МГц.
III. Выполнить расчет характеристик порогового балочного акселерометра.
1. Материал – поликремний.
2. Внешнее линейное ускорение – 274 g.
3. Сечение упругой балки – треугольное.
4. Требуемое перемещение консольной балки – 5 мкм.
5. Определить геометрические размеры консольной балки.