УВЕДОМЛЕНИЕ о проведении открытого запроса предложений (предложение делать оферты) Уважаемые господа!

УВЕДОМЛЕНИЕ
о проведении открытого запроса предложений
(предложение делать оферты)
Запрос предложений
№ 64 от 30.12.2011 г.
Уважаемые господа!
1. Открытое акционерное общество «Ижевский электромеханический завод
«Купол», расположенное по адресу: РФ, 426033, г. Ижевск, ул.Песочная,3 (далее –
Организатор) Уведомлением о проведении открытого запроса предложений,
опубликованным на официальном сайте ОАО «ИЭМЗ «Купол» www.kupol.ru, приглашает
юридических лиц и индивидуальных предпринимателей (далее — Подрядчик)
предоставить предложения (далее–оферты) о модернизации следующего оборудования:
№
Наименование услуг
Модернизация
магнетронного
покрытий
1.
вакуумной
нанесения
Марка оборудования
установки
резистивных УВН-74
Условия оказания услуг:
согласно требованиям Технического задания
(Приложение № 2)
Место оказания услуг: г. Ижевск, ул. Песочная, 3
ОСНОВНЫЕ ТРЕБОВАНИЯ
Качество оказанных услуг должно соответствовать требованиям технического
задания. После оказания услуг должна быть разработана документация на русском
языке, надлежащим образом подтверждающая качество и безопасность оборудования.
СТРУКТУРА ЦЕНЫ.
Цена на услуги должна полностью включать в себя все налоги и иные
обязательные платежи, стоимость всех сопутствующих услуг, страховых сборов, а также
все скидки, предлагаемые Подрядчиком.
2. Начальная (предельная) стоимость запроса предложений: не определена.
3. Предложение должно быть оформлено по форме, приведенной в приложении
№1 к настоящему запросу предложений, и быть действительным не менее 60 дней с
момента подачи. Предложение должно быть подписано лицом, имеющим право в
соответствии с законодательством Российской Федерации действовать от лица
Подрядчика без доверенности, или надлежащим образом, уполномоченным им лицом на
основании доверенности (далее — уполномоченного лица). Предложение также должно
быть скреплено печатью Подрядчика.
4. Подрядчику необходимо предоставить следующие документы:

Копию свидетельства о постановке на учет в налоговом органе;

Свидетельства о внесении записи в единый государственный реестр юр. Лиц
(ОГРН);

Копии лицензий и сертификатов на осуществление деятельности (если
деятельность лицензируется);
5. Предложение должно быть подано на русском языке. Все цены должны быть
выражены в российских рублях.
6. Подача Подрядчиками своих предложений осуществляется по адресу: 426033,
г. Ижевск, ул. 50 лет Пионерии, 41, 3 этаж, Управление экономической безопасности (047)
или по E-mail: [email protected], до 17-00 часов « 20 » января 2012 г. Предложения,
поданные позже указанного срока, будут отклонены без рассмотрения по существу.
7. ОАО «ИЭМЗ «Купол» вправе принять предложение (оферту) одного из
Подрядчиков предложивших наиболее выгодные условия, либо отказаться от всех
предложений.
8. ОАО «ИЭМЗ «Купол» уведомит соответствующего Подрядчика о согласии
заключить договор.
9. Запрос предложений не является конкурсом, и ее проведение не регулируется
статьями 447-449 части первой Гражданского кодекса РФ. Данная процедура запроса
предложений также не является публичным конкурсом и не регулируется статьями 10571061 части второй гражданского кодекса РФ. Таким образом, данная процедура запроса
предложений не накладывает на Организатора соответствующего объема гражданско правовых обязательств.
Опубликованное Уведомление вместе с приложениями является приглашением
делать оферты и должны рассматриваться Подрядчиками с учетом этого.
Предложение Подрядчика
имеет правовой статус оферты и будет
рассматриваться Организатором в соответствии с этим, однако Организатор оставляет за
собой право разрешать или предлагать Подрядчикам вносить изменения в их
предложения по мере проведения этапов запроса предложений. Организатор оставляет
за собой право на последнем этапе запроса предложений установить, что предложения
Подрядчиков, поданные на данный этап, должны носить характер твердой оферты, не
подлежащей в дальнейшем изменению.
10.
Организатор вправе отклонить Предложение, если он установил, что
Подрядчик прямо или косвенно дал согласие дать или предложить служащему
Организатора вознаграждение в любой форме: работу, услугу, какую- либо ценность, в
качестве стимула, который может повлиять на принятие решения комиссией по
определению победителя.
11.
Организатор вправе отклонить предложение Подрядчиков, заключивших
между собой какое – либо соглашение с целью повлиять на определение победителя
запроса предложений.
Приложения:
1. Анкета (на 1 л.);
2. Техническое задание (на 5 л.).
С уважением,
Председатель конкурсной комиссии –
Заместитель генерального директора по экономике,
финансам и управлению
Ф.Г. Зиятдинов
Приложение №1
к Уведомлению от __________________ г. №
________
Анкета Подрядчика
Для участия в запросе предложений от __________________ г. № _______
На поставку:
№
Наименование
Сведения о поставщике
п/п
(заполняется поставщиком,
подающем прделожение)
1
Организационно-правовая форма и фирменное
наименование Подрядчика
2
Свидетельство о внесении в Единый государственный
реестр юридических лиц (дата, номер, кем выдано)
3
ИНН Подрядчика
4
Юридический адрес
5
Почтовый адрес
6
Филиалы: перечислить наименование и почтовые
адреса
7
Банковский реквизиты (наименование и адрес банка,
номер расчетного счета подрядчика в банке, телефоны
банка, прочие банковские реквизиты)
8
Телефоны Подрядчика (с указанием кода города)
9
Факсы Подрядчика (с указанием кода города)
10
Адрес электронной почты подрядчика
11
Фамилия, Имя и Отчество руководителя Подрядчика,
имеющего право подписи согласно учредительным
документам Подрядчика с указанием должности и
контактного телефона
12
Фамилия, Имя и Отчество ответственного за участие в
процедуре запроса цен лица Подрядчика с указанием
должности, контактного телефона, факса, адреса
электронной почты
______________________
________________________________________________________
(подпись, М.П.)



(фамилия, имя, отчество подписавшего, должность)
Инструкция по заполнению:
Подрядчики должны заполнить приведенную выше таблицу по всем позициям. В случае
отсутствия каких-либо данных указать слово «нет»;
В графе 7 «Банковские реквизиты…» указываются реквизиты, которые будут использованы
при заключении договора;
Указанное в графе 12 «Фамилия, Имя, Отчество ответственного …» ответственно лицо и его
координаты будут использованы для уточнения полученных от Подрядчика данных и
извещении о результатах проведения запроса предложений.
Приложение № 2
к Уведомлению о проведении открытого запроса предложений (предложению делать
оферты)
от _______________ г. №________
ТЕХНИЧЕСКОЕ ЗАДАНИЕ
Модернизация вакуумной установки
магнетронного нанесения резистивных пленок УВН-74
Необходимо провести модернизацию установки магнетронного нанесения
резистивных пленок на базе УВН-74, находившейся
10 лет без эксплуатации
(эксплуатационная документация утеряна), в части доработки системы управления и
измерения технологических параметров, оснащения установки ионно-лучевым
источником для финишной очистки поверхности подложек перед напылением, замены
имеющегося вакуумного откачного агрегата на современные безмасляные средства
откачки.
Цель модернизации установки:, улучшение адгезии резистивных пленок к поверхности
подложек, повышение стабильности параметров пленок по номиналам и температурным
коэффициентам сопротивления (ТКС), увеличение воспроизводимости результатов
процессов по установленным технологическим режимам, повышение процента выхода
годных микрополосковых тонкопленочных плат; снижение материалоемкости
изготовления изделий спецмикроэлектроники.
Этапы работ:
I этап - Проведение ревизии установки, проверка работоспособности всех систем
установки;
II этап - Проведение модернизации технологических и измерительных систем установки;
отладка режимов работы всех систем установки;
III этап - Отработка технологии напыления резистивных пленок тантала и сплава РС-3710
с одновременным обучением оператора цеха;
IV этап - Напыление резистивных пленок тантала и РС-3710 необходимого номинала на
партиях подложек по отработанным технологическим режимам совместно с оператором
цеха.
V этап - Проведение модернизации имеющегося вакуумного откачного агрегата
установки с заменой насоса высокого давления (паромасляного насоса) и форвакуумного
насоса (пластинчато-роторного насоса) на современные безмасляные насосы,
обеспечивающие безмаслянный вакуум (турбомолекулярный, криогенный, сухие
форвакуумные насосы).
Насосы приобретаются и поставляются Заказчиком.
I этап работ
1. Провести ревизию установки магнетронного нанесения резистивных пленок УВН-74.
Проверить работоспособность: вакуумной системы, системы нагрева, 3-х магнетронных
систем с блоками питания, системы вращения карусели с подложкодержателями, шкафа
управления, датчиков температуры и резистивного «свидетеля», ручного натекателя,
ручной заслонки, вакуумного затвора.
Проверить вакуумную часть установки на герметичность с применением течеискателя,
устранить обнаруженные течи; при необходимости произвести замену вакуумных
резиновых уплотнений и герметизацию вакуумных входов. Вакуумная система должна
обеспечивать паспортные данные по предельному вакууму (не более 1×10-5 мм рт.ст. без
применения жидкого азота) и времени выхода на высокий вакуум. Время выхода на
режим по высокому вакууму в течение не более 60 мин. при первом включении и 20-30
мин. при последующих включениях в течение рабочей смены. При необходимости замены
имеющегося форвакуумного насоса приобретение насоса осуществляет Заказчик, монтаж
и подключение насоса к установке производится совместно Заказчиком и Исполнителем.
Провести отладку всех систем установки с обеспечением функционирования в полном
цикле работы.
Система нагрева должна обеспечивать нагрев подложек до температуры 250 ºС.
Установка должна обеспечивать производительность не менее 30 подложек за цикл и
обеспечивать 2 - 3 цикла в течение рабочей смены.
2. Восстановить (разработать вновь) эксплуатационную документацию на все системы
установки.
II этап работ
1. Произвести доработку системы управления технологическими параметрами с целью
обеспечения регулирования, измерения, индикации температуры подложек и измерения,
индикации удельного поверхностного сопротивления напыляемых пленок по
«свидетелю».
Требования к системе управления:
1) Система регулирования и измерения температуры подложек должна обеспечивать
цифровую индикацию заданной и фактической температуры нагрева с точностью ± 1 ºС,
автоматическое поддержание температуры с отклонением не более ± 5 ºС от
установленного заданного значения при термостабилизации подложек и напылении.
Датчик измерения температуры платиновый типа ЭСП-100.
Терморегулятор типа «Термодат». Диапазон измерения от 0 до 250 С.
2) Система измерения удельного поверхностного сопротивления резистивных пленок
должна обеспечивать измерение сопротивления установленного резистивного «свидетеля»
и цифровую индикацию сопротивления с точностью 1 Ом (с погрешностью измерения не
более ± 1 Ом), и автоматическое отключение (с возможность ручного отключения)
магнетронов при достижении заданного значения сопротивления «свидетеля».
Обеспечиваемый диапазон измерений от 1 Ом до 5 кОм.
3) Сигналы с датчиков температуры и «свидетеля» должны индицироваться на лицевой
панели шкафа управления с помощью встроенных в шкаф отдельных приборов.
Примечание: Вновь устанавливаемые терморегулятор и измерительные приборы
должны быть новыми, зарегистрированы в Госреестре средств измерений РФ и иметь
паспорт, техническое описание, инструкцию по эксплуатации и методику поверки.
2. Доработать ручной привод заслонки магнетронов: установить индикаторы положения
заслонки и привод вращения.
3. Установить в вакуумной камере установки ионный источник с целью проведения
финишной очистки поверхности подложек от адсорбированных газов, молекул воды и
органических, неорганических загрязнений непосредственно перед нанесением
резистивных пленок. Блок питания ионного источника разместить в шкафу управления.
Ионный источник должен обеспечивать эффективное удаление загрязнений путем
бомбардировки поверхности подложек ионами аргона.
Установить автоматическую систему напуска аргона (цифровой регулятор расхода газа) с
целью автоматического поддержания давления аргона в вакуумной камере установки при
ионной очистке подложек и напылении резистивных пленок.
Требования к устанавливаемой системе ионной очистки:
1) ионный источник должен быть установлен внутри вакуумной камеры установки таким
образом, чтобы не потребовались конструктивные изменения системы крепления
подложкодержателей и магнетронных систем распыления;
2) ионный источник должен быть состыкован таким образом, чтобы была возможность
его использования, как отдельной технологической системы, так и совестно с
имеющимися магнетронными системами распыления;
3) Параметры системы ионной очистки:
- ионный источник с замкнутым дрейфом электронов;
- рабочее напряжение 3 кВ. Ток разряда – регулируемый, до 300 мА;
- плотность ионного тока 1-2 мА/см2;
- рабочий газ – аргон.
Геометрические размеры пучка ионов должны обеспечивать эффективную обработку
зоны длиной не менее 200 мм при прохождении подложек через зону ионной обработки. В
ионном источнике должны быть использованы магниты из сплава самарий-кобальт.
4) блок питания ионного источника должен быть размещен в шкафу управления
установки;
5) регулировка рабочего давления аргона, поддержание постоянного давления аргона в
вакуумной камере при ионной очистке и напылении должны обеспечиваться
автоматической системой напуска аргона (2-х канальный регулятор расхода газа с
цифровым прибором индикации), состыкованной с вакуумной камерой в виде отдельного
устройства и с электропитанием от шкафа управления.
Примечание: установленные ионный источник с блоком питания, автоматическая система
напуска аргона должны быть новыми и иметь паспорт, техническое описание,
инструкцию по эксплуатации.
4. Отладить режимы работы всех систем установки. Запустить установку.
III этап работ
1. Установить на магнетроны мишени из тантала ТВЧ (99,95%) и сплава РС-3710.
2. Обучить оператора цеха правилам и методам работы на установке.
3. Отработать технологические режимы процесса ионной очистки подложек совместно с
оператором цеха. Проверить подложки после ионной очистки на смачиваемость
деионизованной водой согласно имеющегося техпроцесса.
4. Отработать технологические режимы процессов напыления тантала (с удельным
сопротивлением 35 Ом/кв. и 75 Ом/кв.) и РС-3710 (с удельным сопротивлением 400
Ом/кв.) подложки из поликора марки ВК-100 совместно с обученным оператором цеха.
Напыленный слой резистивных пленок должен быть сплошным, плотным, без вздутий и
отслоений.
Достичь значения разброса
удельного поверхностного сопротивления пленки по
подложке не более 3% и процента выхода годных на операции напыления не менее 85 %.
5. Разработать маршрутные техпроцессы напыления тантала и РС3710.
Примечания:
1) для отработки технологических режимов ионной очистки подложек и напыления
резистивных слоев использовать подложки, забракованные по внешнему виду (сколы по
углу, периметру и т.д.);
2) поставку мишеней тантала и РС-3710 необходимых марок и размеров обеспечивает
Заказчик.
IV этап работ
1. Произвести совместно с обученным оператором цеха на установке напыление
тантала (с применением ионной очистки) на годные подложки с удельным поверхностным
сопротивлением в следующих количествах:
75 Ом/кв. – 20 шт. на поликоре с толщиной подложки 1 мм;
35 Ом/кв. – 20 шт. на поликоре с толщиной подложки 0,5 мм.
Произвести проверку адгезии напыленного слоя к подложке.
Для проверки качества напыления тантала цех должен изготовить платы:
****.758782.032 – 10 шт.
****.758782.023 – 10 шт.
и произвести замеры номиналов полученных резисторов.
2. Произвести совместно с обученным оператором цеха на установке напыление
резистивного сплава РС-3710 (с применением ионной очистки) на годные подложки с
удельным поверхностным сопротивлением:
400 Ом/кв. – 30 шт. на поликоре с толщиной подложки 1 мм.
Произвести проверку адгезии напыленного слоя к подложке.
Для проверки качества напыления РС-3710 цех должен изготовить платы ***.107.606 – 10
шт. и произвести замеры номиналов полученных резисторов.
V этап работ
1. Подобрать для Заказчика оптимальный вариант замены имеющегося вакуумного
откачного агрегата на современные безмасляные средства откачки.
2. Согласовать с Заказчиком выбранный вариант замены вакуумных насосов.
3. Разработать и согласовать с Заказчиком новую конструкцию вакуумного откачного
агрегата на базе выбранных средств безмасляной откачки.
4. Приобретение новых откачных средств осуществляет Заказчик.
5. Монтаж насосов и все последующие работы производит Исполнитель.
Изготовить трубопроводы, переходники и другие необходимые элементы вакуумной
системы.
Состыковать по управлению блоки питания откачных средств и установки. Провести
сборку и отладку откачной системы в составе установки.
6. Отработать технологические режимы напыления резистивных пленок тантала и РС3710 после проведенных изменений конструкции вакуумного откачного агрегата.
Обучить оператора из цеха.
7. Произвести совместно с обученным оператором цеха на установке с применением
ионной очистки напыление тантала на годные подложки с удельным поверхностным
сопротивлением в следующих количествах:
75 Ом/кв. – 20 шт. на поликоре с толщиной подложки 1 мм;
35 Ом/кв. – 20 шт. на поликоре с толщиной подложки 0,5 мм.
Для проверки качества напыления тантала цех должен изготовить платы:
****.032 – 10 шт.
****.023 – 10 шт.
и произвести замеры номиналов полученных резисторов.
8. Произвести совместно с обученным оператором цеха на установке с применением
ионной очистки напыление РС-3710 на годные подложки с удельным поверхностным
сопротивлением в следующих количествах:
400 Ом/кв. – 30 шт. на поликоре с толщиной подложки 1,0 мм.
Произвести проверку адгезии напыленного слоя к подложке.
Для проверки качества напыления РС-3710 цех должен изготовить платы:
***.606 – 10 шт.
и произвести замеры номиналов полученных резисторов.
Стоимость
работ по 5-му этапу определяется после приобретения новых
безмасляных средств откачки и оформляется дополнительным соглашением к договору.
Прочие требования
1. Техническое задание считается выполненным при условии надежного функционирования всех систем установки в течение рабочей смены в соответствии с требованиями
данного ТЗ, стабильности установленных технологических режимов ионной очистки и
напыления в каждом технологическом цикле, соответствия изготовленных плат
требованиям КД по номиналам резисторов.
2.
Выполненные работы оформляются двусторонним актом приема-сдачи работ.
Оплата работ проводится по этапам с оговоренным в договоре авансом.
3. Исполнитель передает Заказчику восстановленный (разработанный) комплект
эксплуатационной документации на установку и полный комплект эксплуатационной
документации на дополнительно установленные системы:
- ионно-лучевой источник с блоком питания,
- измеритель-регулятор температуры с цифровой индикацией, измеритель
сопротивления пленок с цифровой индикацией,
- автоматическая система напуска (2-канальный цифровой регулятор расхода газа),
- необходимый ЗИП (в т.ч. датчик температуры – 10 шт., лампы кварцевые
(галогенные) – 10 шт.).
4. Гарантийный срок эксплуатации установки с дополнительно установленными
системами – не менее 1 года.
5. Срок службы модернизированной установки – не менее 10 лет.
6. Исполнитель производит послегарантийное обслуживание установки по отдельному
договору.