Программа Специальные_ вопросы

Правительство Российской Федерации
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение
высшего профессионального образования
"Национальный исследовательский университет
"Высшая школа экономики"
Московский институт электроники и математики Национального
исследовательского университета "Высшая школа экономики"
Факультет электроники и телекоммуникаций
Программа дисциплины
«Специальные вопросы материаловедения низкоразмерных систем»
по направлению 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника» подготовки бакалавра
Автор программы:
Рыбалко В.В., к.т.н., доцент
vrybalko@hse.ru
Одобрена на заседании кафедры «Микросистемная техника, материаловедение и
технологии» «__30_» ___августа________ 2015г.
Зав. кафедрой
В.П.Кулагин
Рекомендована секцией УМС [Введите название секции УМС] «___»____________ 20 г
Председатель [Введите И.О. Фамилия]
Утверждена УС факультета [Введите название факультета] «___»_____________20 г.
Ученый секретарь [Введите И.О. Фамилия] ________________________ [подпись]
Москва, 2015
Настоящая программа не может быть использована другими подразделениями
университета и другими вузами без разрешения кафедры-разработчика программы.
Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики»
Программа дисциплины «Специальные вопросы материаловедения низкоразмерных систем» по
направлению 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника» подготовки бакалавра
I. Пояснительная записка
Курс «Специальные вопросы материаловедения низкоразмерных систем» читается студентам четвертого курса обучения направления 220900.62 «Нанотехнологии и
микросистемная техника» (специализация «Материалы микро- и наносистемной техники») факультета электроники и телекоммуникаций МИЭМ НИУ ВШЭ. Общая продолжительность курса составляет 8 недель. Курс проводится в первом модуле(сентябрь –
октябрь).
Количество лекций (часы): 48
Количество семинаров (часы): 24.
Кроме того, учебным планом предусмотрено проведение контрольной работы,
выполнение домашнего задания и написание студентами реферата.
1. Цель и задачи курса
Цель курса «Специальные вопросы материаловедения низкоразмерных систем» заключается в том, чтобы дать студентам углубленное представление о процессах деградации и модифицирования структуры и свойств материалов при облучении, формировании и эволюции под действием радиации структурных фаз и систем, в частности низкоразмерных систем.
Для достижения поставленной цели реализуются следующие задачи:
- раскрывается специфика поведения конструкционных и функциональных материалов,
в частности наноматериалов при воздействии ионизирующих излучений;
- рассматриваются основные радиационные технологии модификации свойств материалов, в том числе наноматериалов;
- демонстрируются разнообразные примеры использования низкоразмерных систем в
современных радиационностойких приборах и устройствах электронной и космической
техники, атомной и термоядерной энергетики.
2. Место дисциплины в структуре ООП бакалавриата:
Дисциплина «Специальные вопросы материаловедения низкоразмерных систем»
относится к вариативной части профессионального цикла (Б.3.В).
Дисциплина требует наличия у студента знаний, умений и навыков, полученных в
ходе изучения дисциплин «Математика», «Физика», «Физика кристаллов», «Физическое
материаловедение». Для изучения дисциплины студент должен обладать следующими
компетенциями:
2
Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики»
Программа дисциплины «Специальные вопросы материаловедения низкоразмерных систем» по
направлению 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника» подготовки бакалавра

ОК-6 – способностью стремиться к саморазвитию, повышению своей квалификации и мастерства;

ОК-10 – способностью использовать основные законы естественнонаучных дисциплин в профессиональной деятельности, применять методы математического анализа и моделирования, теоретического и экспериментального исследования.
3. Требования к результатам освоения дисциплины:
Процесс изучения дисциплины направлен на формирование следующих компетен-
ций:

ПК-1 – способность представить адекватную современному уровню знаний научную картину мира на основе знания основных положений, законов и методов естественных наук и математики;

ПК-8 – способность собирать, анализировать и систематизировать отечественную и
зарубежную научно-техническую информацию по тематике исследования в области
нанотехнологии.
В результате изучения дисциплины студент должен:
Знать: механизмы радиационного дефектообразования в твердых телах, радиа-
ционно-индуцированных и радиационно-стимулированных процессов в материалах, в
том числе в наноматериалах, радиационной модифицирующей обработки материалов;
Уметь: предсказать поведение материалов под действием радиации, проводить
анализ изменения структуры и свойств материалов при облучении;
Владеть: методами анализа радиационно-индуцированных структурных изменений в материалах, в том числе наноразмерных материалах, и выбора вида радиационной
обработки реальных твердотельных объектов для улучшения их эксплуатационных
свойств.
4. Формы контроля
Курс «Специальные вопросы материаловедения низкоразмерных систем» предполагает текущий и рубежный контроль. В качестве текущего контроля выступают контрольная работа и реферат, рубежного контроля – экзамен.
Структура итоговой оценки
Кумулятивная оценка складывается из трех элементов:
 Домашнее задание — 20%:
o письменная работа;
 контрольная работа — 10%:
o письменная работа;
3
Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики»
Программа дисциплины «Специальные вопросы материаловедения низкоразмерных систем» по
направлению 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника» подготовки бакалавра
 реферат — 20%:
o письменная работа;
o полнота раскрытия темы;
o оформление (электронный и бумажный вариант);
o защита теоретической части реферата.
– экзамен — 70%:
o устные ответы (с подготовкой) на вопросы по темам курса. полнота и содержательность ответов на вопросы;
II. Тематический план учебной дисциплины
№
1
2
Название темы
1
Введение
2
Взаимодействие ионизирующих излучений с веществом
5
Радиационно-индуцированные
и ра4
диационно-стимулированные
процессы в материалах
Воздействие
высокоэнергетических
7
излучений на физико-механические
свойства и структуру материалов
9
Радиационная обработка и модифицирование материалов
6
1
Радиационные методы
наноразмерных систем
3
4
Всего
получения
ЛабораЛекции торные
(час.)
занятия
(час.)
Семинары
(час.)
Самостоятельная
работа
(час.)
2
-
-
2
6
-
8
14
4
-
4
8
2
-
2
4
4
-
4
8
6
-
6
12
24
-
24
48
III. Содержание программы
Тема 1. Введение
Обзор курса «Специальные вопросы материаловедения низкоразмерных систем».
Радиационное и космическое материаловедение как научно-техническое направление.
Тема 2. Взаимодействие ионизирующих излучений с веществом
4
Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики»
Программа дисциплины «Специальные вопросы материаловедения низкоразмерных систем» по
направлению 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника» подготовки бакалавра
2.1. Виды излучений – корпускулярное, электромагнитное. Характеристики излучений: энергия, флюенс, поток, плотность потока, доза и др. Волновые свойства частиц.
Потенциал и энергия ионизации. Спектр излучения.
2.2. Поглощение излучения веществом. Физическая природа взаимодействия излучений с твердыми телами. Упругое и неупругое взаимодействие. Удельные энергетические потери. Эффективные сечения упругих и неупругих взаимодействий. Потенциалы
взаимодействия. Экспериментальные измерения энергетических потерь. Поглощение излучений кристаллами. Общее теоретическое рассмотрение траекторий при столкновении. Понятие проективного пробега ускоренных частиц. Эффект каналирования заряженных частиц в кристаллах. Эффект блокирования (теней). Неупругие процессы поглощения излучений веществом. Распределение первичных атомов отдачи.
Тема 3. Радиационно-индуцированные и радиационно-стимулированные
процессы в материалах
Радиационно-индуцированная сегрегация компонентов в облученных сплавах.
Радиационно-индуцированные и радиационно-стимулированные фазовые превращения в
сплавах. Радиационно-стимулированная диффузия. Взаимодействие радиационных дефектов с дислокациями и атомами примесей. Дислокации как стоки междоузельных атомов и вакансий. Радиационно-стимулированные процессы в полупроводниковых материалах.
Тема 4. Воздействие высокоэнергетических излучений на физикомеханические свойства и структуру материалов
4.1. Воздействие высокоэнергетических излучений на физические свойства неорганических материалов. Воздействие облучения на электрические свойства металлов,
полупроводников, изоляторов. Радиационно-стимулированное изменение электрических
свойств резисторных материалов. Изменение магнитных свойств материалов при воздействии излучений. Изменение механических свойств конструкционных и функциональных материалов под воздействием излучений.
4.2. Воздействие высокоэнергетических излучений на структуру металлических и
полупроводниковых материалов. Радиационно-стимулированные структурно-фазовые
превращения в конструкционных и функциональных материалах. Влияние на структуру
сплавов на основе алюминия, магния, меди, никеля, железа, ванадия и др. Радиационностимулированные кристаллохимические процессы в полупроводниковых материалах.
Тема 5. Радиационная обработка и модифицирование материалов
5
Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики»
Программа дисциплины «Специальные вопросы материаловедения низкоразмерных систем» по
направлению 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника» подготовки бакалавра
Ионное легирование и его применение в машиностроении, электронной технике,
химической и других отраслях промышленности. Радиационное легирование. Радиационная обработка металлических, полупроводниковых и диэлектрических материалов с
целью их модифицирования и придания им специальных свойств.
Тема 6. Радиационные методы получения наноразмерных систем
6.1.Общая характеристика наноразмерных систем.
6.2. Радиационные методы получения наноразмерных систем.
Ионное распыление. Формирование наноразмерных структур при ионном распылении поверхности полупроводников. Теоретические модели метода (модели, основанные на распределении энергии по Гауссу; моделирование распыления методом МонтеКарло; уточнение распределения поглощаемой энергии). Распыление вращающихся подложек. Влияние параметров облучения на особенности формирования наноразмерных
структур при ионном распылении подложек (вариация ускоряющего напряжения, угла
падения ионов). Морфология поверхности при ионном распылении.
Плазменные методы в технологии создания наноразмерных структур. Плазменные методы создания поверхностных периодических наноструктур. Специфика используемого плазменного оборудования. Технологические проблемы обеспечения создания
периодических наноразмерных структур. Плазмохимический синтез нанокристаллов
Особенности травления диэлектрических слоев субмикронных наноструктур
IV. Темы рефератов
1. Влияние нейтронного облучения на структуру металлических сплавов.
2. Влияние электронного облучения на структуру металлических сплавов.
3. Влияние нейтронного облучения на структуру полупроводниковых материалов.
4. Влияние электронного облучения на структуру полупроводниковых материалов.
5. Воздействие факторов космического пространства на структуру и физикомеханические свойства материалов космической техники.
6. Воздействие реакторного облучения на физико-механические свойства материалов.
7. Радиационно-стимулированная диффузия в материалах.
8. Радиационно-индуцированная сегрегация компонентов в сплавах.
9. Низкотемпературное радиационное охрупчивание материалов.
10.Высокотемпературное радиационное охрупчивание материалов.
11. Радиационное распухание материалов и методы его подавления.
6
Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики»
Программа дисциплины «Специальные вопросы материаловедения низкоразмерных систем» по
направлению 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника» подготовки бакалавра
12. Радиационная стойкость полимерных материалов.
13. Радиационная стойкость графитов.
14. Плазменные методы создания поверхностных периодических наноструктур.
15. Матричный синтез наноструктур.
16. Самоорганизация наноструктур при облучении.
17. Радиационная стойкость наноразмерных систем.
18. Наноразмерные системы для наноэлектроники, полученные радиационными методами.
19. Наноматериалы для защиты от электромагнитного излучения.
20. Наноматериалы для космической техники.
21. Наноматериалы для ядерной энергетики.
V. Учебно-методическое обеспечение дисциплины
а) основная рекомендуемая литература:
1. Акишин А.И., Бондаренко Г.Г., Быков Д.В. и др. Физика воздействия концентрированных потоков энергии на материалы: учебник для студентов вузов. – М.: МГУ,
2004. – 418 с.
2. Бондаренко Г.Г., Кабанова Т.А., Рыбалко В.В. Основы материаловедения:
учебник для студентов вузов (под ред. Г.Г. Бондаренко). – М.: БИНОМ. Лаборатория
знаний, 2014. – 760 с.
4. Гусев А.И. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. М., ФИЗМАТЛИТ, 2005, 416 с.
5. Старостин В.В. Материалы и методы нанотехнологии. Учебное пособие. М.,
БИНОМ. Лаборатория знаний,.2008, 431 с.
б) дополнительная литература
1. Паршин А.М., Тихонов А.Н., Бондаренко Г.Г. и др. Хрестоматия и специальные
вопросы металловедения. СПб, изд-во СПбГТУ, 1998, 304 с.
2.Паршин А.М., Тихонов А.Н., Бондаренко Г.Г. и др. Радиационная повреждаемость конструкционных материалов. СПб, изд-во СПбГТУ, 2000, 296с.
3.Паршин А.М., Тихонов А.Н., Бондаренко Г.Г., Кириллов Н.Б. Радиационная повреждаемость и свойства сплавов. СПб, Политехника, 1995, 301 с.
4.Бондаренко Г.Г. Специальное материаловедение. М., МИЭМ, 1987, 78с.
5.Бондаренко Г.Г. Заболотный В.Т., Диагностика дефектов, создаваемых потоками
высокоэнергетических частиц в материалах. М., МИЭМ, 2003, 34 с.
7
Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики»
Программа дисциплины «Специальные вопросы материаловедения низкоразмерных систем» по
направлению 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника» подготовки бакалавра
6.Бондаренко Г.Г. Радиационный блистеринг материалов (учебное пособие). М.,
МИЭМ, 1986, 80с.
7.Бондаренко Г.Г., Кучерявый С.И. Радиационно-стимулированные процессы в
металлах и сплавах(учебное пособие). М., МИЭМ, 1990, 85с.
8.Бондаренко Г.Г., Заболотный. В.Т. Поверхностные радиационные повреждения
материалов. М., МИЭМ, 2003, 30с.
9. Воеводин В.Н., Неклюдов И.М. Эволюция структурно-фазового состояния и
радиационная стойкость конструкционных материалов. Киев, Наукова думка. 2006, 376с.
10.Комаров Ф.Ф., Комаров А.Ф. Физические процессы при ионной имплантации в
твердые тела. – Минск: УП «Технопринт», 2001. – 392с.
11.Новиков Л.С. Радиационные воздействия на материалы космических аппаратов. Учебное пособие. М., Университетская книга, 2010, 192 с.
12. Иванов Л.И., Платов Ю.М. Радиационная физика металлов и ее приложения.
М., Интерконтакт Наука, 2002, 300 с.
13. Калин Б.А., Якушин В.Л., Соловьев Г.И. Радиационная физика твердого тела /
В кн. «Физическое материаловедение»: Учебник для вузов. В 7-ми томах / Под общей
ред. Б.А.Калина. – М.:: НИЯУ МИФИ, 2012 / т. 4. Радиационная физика твердого тела.
Компьютерное моделирование, с.161-350.
14. Рыжонков Д.И., Лёвина В.В., Дзидзигури Э.Л. Наноматериалы. Учебное пособие.М., БИНОМ. Лаборатория знаний.2008,365с.
15. Андриевский Р.А., Рагуля А.В. Наноструктурные материалы. Учебное пособие. М., Издательский центр «Академия», 2005, 192 с.
16.Бондаренко Г.Г., Кабанова Т.А., Рыбалко В.В. Материаловедение. Учебник
для студентов втузов (под ред. Г.Г.Бондаренко). М., Высшая школа, 2007, 357 с.
в) учебно-методические материалы
1. Методические указания к лабораторной работе «Электронномикроскопическое
исследование скоплений радиационных дефектов, образованных при ионной бомбардировке материалов» (сост. Бондаренко Г.Г.). М., МИЭМ, 1985, 18с.
2. Методические указания к лабораторной работе «Блистеринг-эффект в твердых
телах» (сост. Бондаренко Г.Г.). М., МИЭМ, 1979, 19 с.
3. Методические указания к лабораторной работе «Распыление материалов при
ионной бомбардировке» (сост. Бондаренко Г.Г.). М., МИЭМ, 1984, 32 с.
4. Методические указания к лабораторной работе «Испарение материалов в высоком вакууме» (сост. Петров В.С.). М., МИЭМ, 2011, 11с.
8
Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики»
Программа дисциплины «Специальные вопросы материаловедения низкоразмерных систем» по
направлению 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника» подготовки бакалавра
5. Методические указания к работе «Исследование профиля распределения ионов
методом послойного травления» (сост. Суворинов А.В., Шленов Ю.В., Лощинская Е.А.).
М., МИЭМ, 1990, 10 с.
6. Методические указания к работе «Изучение каскадов атомных смещений в металлах» (сост. Суворов А.Л.). М., МИЭМ, 1986, 24с.
7. Методические указания к работе «Определение концентрации центров окраски
в облученных щелочно-галоидных кристаллах» (сост. Смирнов И.С., Кабанова Т.А.). М.,
МИЭМ, 1987, 12 с.
8. Методические указания к работе «Изучение диффузионного роста частиц новой
фазы в металлических сплавах» (сост. Бондаренко Г.Г., Кучерявый С.И.). М., МИЭМ,
1989, 14с.
9. Методические указания к работе «Изучение термической и диффузионной кинетики процесса термической диссоциации соединений способом непрерывного взвешивания на вакуумных микровесах» (сост. Петров В.С.). М., МИЭМ, 1985, 14 с.
10. Методические указания к работе «Анализ адсорбции, десорбции и миграции
атомов на поверхности тугоплавких металлов методами автоэлектронной и автоионной
микроскопии» (сост. Суворов А.Л.). М., МИЭМ, 1985, 21с.
11. Методические указания к работе «Влияние радиации на сегрегацию в металлических сплавах» (сост. Бондаренко Г.Г.). В кн. Бондаренко Г.Г. Специальное материаловедение. М., МИЭМ, 1987, с.3-14.
12. Методические указания к работе «Исследование изменений структуры полимерных материалов под действием низкоэнергетического излучения с помощью РЭМ»
(сост. Куликова Л.С., Кабанова Т.А.). М., МИЭМ, 1988, 23 с.
14. Костин К.А. Методические указания к работе «Исследование поверхности
функциональных наноматериалов для космической техники методом атомно-силовой
микроскопии». М., МИЭМ, 2010, 18с.
15. Костин К.А. Методические указания к работе «Изучение топографии поверхности функциональных наноматериалов для космической техники методом сканирующей туннельной микроскопии». М., МИЭМ, 2010, 15с.
16. Методические указания к работе «Нанесение тонких пленок в вакууме и измерение их параметров» (сост. Васильевский В.В., Куломзин Е.К., Фонарев Г.С.). М., МИЭМ, 1999, 21 с.
г) рекомендуемая литература для самостоятельной работы
9
Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики»
Программа дисциплины «Специальные вопросы материаловедения низкоразмерных систем» по
направлению 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника» подготовки бакалавра
1. Was G.S. Fundamentals of Radiation Materials Science: Metals and alloys. Springer, Berlin, 2007, 827 p.
2. Nastasi M., Mayer J.W., Hirvonen J.K. Ion-Solid Interactions: Fundamentals and
Applications. Cambridge: Cambridge Solid State Science Series, Cambridge University Press,
1996, XXVII p. – 540 p.
3. Труды I - XXIV Международных конференций «Радиационная физика твердого тела» / Науч. ред.:Г. Г. Бондаренко. М., МИЭМ - ФГБНУ НИИПМТ, 1990 – 2014гг.
4. Анциферов В.Н., Бездудный Ф.Ф., Бондаренко Г.Г. и др. Новые материалы
(под ред. Ю.С.Карабасова). М., МИСиС, 2002, 736 с.
5. Солнцев Ю.П., Пряхин Е.И. Нанотехнологии и специальные материалы.
Учебное пособие. СПб, ХИМИЗДАТ, 2007, 176с.
6. Комаров Ф.Ф., Леонтьев А.В. Ионная имплантация диэлектриков. Минск,
БГУ, 2010, 191с.
7. Модель космоса: Научно-информационное издание : В 2 т.
/ Под ред.
М.И.Панасюка, Л.С.Новикова. – Т.2: Воздействие космической среды на материалы и
оборудование космических аппаратов. – М.: КДУ, 2007. – 1144 с.
8. Грибков В.А., Григорьев Ф.И., Калин Б.А., Якушин В.Л. Перспективные радиационно-пучковые технологии обработки материалов. Учебник. М., Изд. Дом.»Круглый
год», 2001, 528 с.
9. Ибрагимов Ш.Ш., Кирсанов В.В., Пятилетов Ю.С. Радиационное повреждение
металлов и сплавов. М.: Энергоатомиздат, 1985. – 240 с.
10.Трушин Ю.В. Радиационные процессы в многокомпонентных материалах.
Теория и компьютерное моделирование. СПб, Физико-технический институт им. А.Ф.
Иоффе, 2002, 384 с.
11. Диденко А.Н., Шаркеев Ю.П., Козлов Э.В., Рябчиков А.И. Эффекты
дальнодействия в ионно-имплантированных металлических материалах. Томск,
изд-во НТЛ, 2004, 328с.
12.Заболотный В.Т. Ионное перемешивание в твердых телах.Учебное пособие. М., МИЭМ, 1997, 62с.
13. Плешивцев Н.В., Бажин А.И. Физика воздействия ионных пучков на материалы. М.: Вузовская книга, 1998, 392с.
14. Анищик В.М., Углов В.В. Модификация материалов ионными и плазменными
пучками. Минск, БГУ, 2003, 191 с.
10
Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики»
Программа дисциплины «Специальные вопросы материаловедения низкоразмерных систем» по
направлению 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника» подготовки бакалавра
15. Нейтронное трансмутационное легирование полупроводников / под ред.
Дж.Миза (пер. с англ.). М., Мир, 1982, 264 с.
16. Шалаев А.М. Радиационно-стимулированные процессы в металлах. – М.:
Энергоатомиздат. 1988. – 176 с.
17. Фазовые превращения при облучении / Под ред. Нолфи Ф.В. (пер. с англ.). Челябинск, Металлургия, Челябинское отделение, 1989, 312 с.
18. Суздалев И.П. Нанотехнология: физикохимия нанокластеров, наноструктур и
наноматериалов. – М.: КомКнига, 2006. – 592 с.
19. Пул Ч., Оуэнс Ф. Нанотехнологии. Мир материалов и технологий. М., Техносфера, 2004, 328 с.
20. Герасименко Н.Н., Пархоменко Ю.Н. Кремний – материал наноэлектроники.
М., Техносфера, 2007, 352 с.
21. Кобаяси Н. Введение в нанотехнологию (пер. с японск.). М., БИНОМ. Лаборатория знаний. 2005, 134с.
22. Лозовский В.Н..Константинова Г.С., Лозовский С.В. Нанотехнологии в электронике. Введение в специальность. СПб, Лань, 2005, 336с.
23. Нанотехнологии в электронике (под ред. Ю.А.Чаплыгина). М., Техносфера,
2005,448с.
24. Гречихин Л.И. Физика наночастиц и нанотехнологий. Общие основы, механические, тепловые и эмиссионные свойства. Минск, УП «Технопринт», 2004, 399с.
VI. Материально-техническое обеспечение дисциплины:
- лаборатория изучения физических свойств и структуры материалов кафедры
«Микросистемная техника, материаловедение и технологии». Перечень оборудования:
установки для измерения твердости по Бринеллю, Роквеллу, Виккерсу, установка для
измерения микротвердости ПМТ-3, лазерная установка ГОС-1001, прибор для измерения
комплекса механических свойств материалов, микроскопы оптические; просвечивающий
электронный микроскоп, эмиссионный электронный микроскоп, растровый электронный
микроскоп EVO 40 “ZEISS”.с рентгеновской приставкой для элементного анализа, сканирующий зондовый микроскоп СММ-2000, участок термической обработки; прибор
для исследования теплопроводности материалов, проекционный телевизор с компьютерным управлением.
IХ. Методические рекомендации по организации обеспечения
дисциплины
11
Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики»
Программа дисциплины «Специальные вопросы материаловедения низкоразмерных систем» по
направлению 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника» подготовки бакалавра
Семинарские занятия предусматривают освоение аналитических приемов подготовки схемы эксперимента, методик определения характеристик материалов. Обработку и интерпретацию экспериментальных данных. В некоторые практические занятия целесообразно включать элементы научных теоретических исследований, которые потребуют углубленной самостоятельной проработки теоретического материала.
По результатам занятия преподаватель оценивает активность каждого студента и
проводит опрос.
Реферат выполняется студентом по теме, заданной преподавателем. При его выполнении студент осваивает работу с научно-технической литературой, библиографическими каталогами, реферативными журналами. При написании реферата студентом раскрывается сущность описываемой проблемы, ее современное состояние, оценивается
влияние эксплуатационных факторов на исследуемые свойства материалов, обсуждаются
различные способы их улучшения. Объем реферата – 15-25 страниц (шрифт Times New
Roman; 1,5 интервала). Критерии оценки реферата – степень раскрытия заданной темы,
освоение литературы, оформление работы, уровень понимания сущности и современного
состояния описываемой проблемы (определяется в результате защиты реферата).
Контрольная работа — это письменная работа, направленная на проверку усвоенных студентами знаний и умений; выполняется по вопроснику, составленному преподавателем в соответствии с пройденным материалом. Полный вопросник раздается студентам за неделю до выполнения контрольной работы. Каждому студенту выдается по
два вопроса. Работа выполняется студентами в течение 2-х часов и оценивается по десятибалльной системе.
Самостоятельная работа студентов - форма обучения, являющаяся продолжением освоения материала, изучаемого студентами в лекционных и практических занятиях.
Внеаудиторная самостоятельная работа направлена на глубокое изучение дисциплины по списку обязательной и дополнительной литературы, а также списку рекомендуемой литературы для самостоятельной работы, включает в себя глубокую проработку
теоретических разделов курса, подготовку к выполнению и защите практических работ,
написанию контрольной работы и реферата.
Форма проверки самостоятельной работы – опрос студентов на практических занятиях, оценка преподавателем реферата и домашнего задания.
12
Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики»
Программа дисциплины «Специальные вопросы материаловедения низкоразмерных систем» по
направлению 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника» подготовки бакалавра
Рабочая программа составлена в соответствии с Государственным образовательным стандартом высшего профессионального образования по по направлению 222900.62
«Нанотехнологии и микросистемная техника» подготовки бакалавра.
Программу составил доцент кафедры «Микросистемная техника, материаловедение и
технологии», к.т.н. В.В.Рыбалко
Настоящая программа рассмотрена на заседании кафедры «___»______ 2015 г, протокол №____ и рекомендована к применению в учебном процессе.
Заведующий кафедрой
д.т.н.,профессор
В.П.Кулагин
Срок действия программы продлен на:
20__/20__
уч.год_______________________________________.
(подпись зав. кафедрой)
20__/20__
уч.год_______________________________________.
(подпись зав. кафедрой)
13