Дисциплина - Высшая школа экономики

Правительство Российской Федерации
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение
высшего профессионального образования
"Национальный исследовательский университет
"Высшая школа экономики"
Московский институт электроники и математики Национального
исследовательского университета «Высшая школа экономики»
Факультет Электроники и телекоммуникаций
Дисциплина
Технология нанесения тонких пленок
для направления 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» подготовки бакалавра
.
ЗАДАНИЕ К КУРСОВОЙ РАБОТЕ
«Вакуумные системы напылительных установок»
Автор:Быков Д.В.,д.т.н., профессор, bykov@miem.edu.ru
Задание к курсовой работе «Вакуумные системы напылительных установок»
1. Для вакуумных насосов: двухроторный насос Рутса, пластинчато-роторный насос,
диффузионный насос, турбомолекулярный насос, паромасляный диффузионный насос,
криогенный насос.
-
краткое описание принципа действия
схема насоса
предельное давление
быстрота действия
давление запуска
давление на выходе
диапазон рабочих давлений
достоинства и недостатки
2.
Вакуумная схема откачки рабочей камеры напылительной установки
периодического действия с любым высоковакуумным насосом.(краны, затворы, ловушки,
манометры).
3
Примеры напылительного оборудования отечественных и зарубежных
производителей.
4.
Ответить на следующие вопросы:
4.1 В объеме V имеется N частиц, причем энергия одной частицы равна Ɛ.
Найти следующие величины, записав ответ через V, N, Ɛ. k.
- Полную кинетическую энергию системы W
- Температуру газа Т
- Давление Р
- Что произойдет с давлением и температурой, если удвоить объем системы, соединив
объем V с другим таким же объемом V?
4.2 В сосуде определенного объема находится идеальный газ при температуре Т1 и
давлении Р1
- Какой станет температура газа Т2 если скорость каждой молекулы удвоится?
- Каким будет давление?
- Если объем газа – 1 литр, температура 0о С, а давление 1 атм., сколько в нем молекул?
4.3 В сосуде с идеальным газом содержится N. Удвоим в сосуде число молекул сохраняя
при этом неизменной полную кинетическую энергию газа.
Чему равно отношение:
- Нового давления к первоначальному Р2/Р1 ?
- Новой температуры к первоначальной Т2/Т1?
4.4 Определить внутреннюю кинетическую энергию газа, находящегося в замкнутом
сосуде объемом 200 см3, если давление газа равно 105 Па.
4.5 Как изменится давление газа, если при неизменном объеме и температуре половину
молекул азота заменить на молекулы водорода?
4.6 При нагревании газа на 10К при постоянном давлении его объем увеличивается в два
раза.
В каком интервале температур Т1 – Т2 происходит нагревание?
4.7 Как изменится проводимость отверстия, если молекулярный вес газа, протекающего
через него уменьшится в 16 раз? Режим течения газа – молекулярный.
4.8 Как изменится проводимость отверстия при снижении температуры протекающего
через него газа в 9 раз? Режим течения газа – молекулярный.
4.9 Найти давление Р2 во входном фланце откачиваемого объема, если быстрота
действия насоса Sн = 100 л/с, давление во входном фланце насоса Р1 = 5. 10-2 Па, а
проводимость частей трубопровода, соединяющего насос с откачиваемым объемом U1= 50
л/с и U2 = 100 л/с. Части трубопровода соединены последовательно.
4.10 Суммарное газовыделение в объеме V равно 2.10-6 м3.Па/с. Проводимость
трубопровода U , соединяющего откачиваемый объем V с насосом, равна 100 л/с.
Выбрать из таблицы насос, который мог бы обеспечить давление Рv в объеме V не более
5.10-5 Па и для выбранного насоса определить точное значение Рv.
№
S н,
л/с
Рпред.
Па
-5
1
50
1.10
2
100
1. 10-4
3
80
1.10-5
Рекомендуемая литература:
«Вакуумная техника», Справочник, М., изд.-во «Машиностроение», 2009,
«Вакуумная техника», Розанов Л.Н., М., изд.-во «Высшая школа», 2007.
« Вакуумная технология», Шешин Е.Л., изд.-во «Интеллект», 2009.
rvs.insoft.ru
iuvsta.com