Холдинг Планар Оборудование для созидания КБТЭМ Планар Преимущества Планар 59 летний опыт в области Разработки и производства прецизионных оптикомеханических изделий Полный цикл разработки и производства Высокий уровень применяемых технологий и современного оборудования Высококвалифицированный персонал Высокое качество изделий подтверждено национальными и международными стандартами Удобное географическое 2 расположение КБТЭМ Планар Вехи истории 1964г. ● УММ1 – универсальный микроманипулятор 1966г. ● Первый генератор изображений ЭМ-508 1976г. ● Создана установка лазерного устранения дефектов ЭМ-551 1977, 1986, 1987, 2000 Государственные премии СССР и РБ в области науки и техники 1977г. ● Создана установка совмещения и экспонирования ЭМ-576 1979г. ● Создан генератор изображений ЭМ-559 1973г. ● Создана первая в СССР и в мире установка для проекционного переноса изображения ЭМ-542 1981г. Награждение Орденом Октябрьской Революции 3 КБТЭМ Планар Структура персонала по уровню образования 280 257 260 2 – доктора наук 5 – кандидатов наук 240 220 200 180 160 140 115 120 100 78 80 66 62 60 40 20 12 10 2 2 5 5 0 0 Специалисты (разработчики, конструкторы, технологи) Основные рабочие высшее Вспомогательные рабочие среднее специальное прочие Руководители 4 КБТЭМ Планар Поставки оптико-механического оборудования 5 Контроль шаблонов Контроль рабочих пластин Оборудование для переноса изображения Контроль подложек контактный способ переноса изображения проекционный способ переноса изображения Оборудование для формирования топологии Генераторы изображений устранения дефектов топологии на фотошаблонах автоматического контроля топологии на фотошаблонах для специальных применений на рабочих шаблонах КБТЭМ Планар Структура продукции Холдинга Планар Контрольноизмерительное оборудование 6 Установки лазерной обработки Установки лазерной маркировки пластин Установки контроля качества присоединения выводов Установки присоединения выводов Установки присоединения кристаллов Оборудование для малой сборки Установки монтажа кристаллов Установки кассетирования кристаллов Установки дисковой резки Установки дисковой резки Установки дисковой резки Установки утонения пластин Аналитические установки зондового контроля Установки зондового контроля КБТЭМ Планар Структура продукции Холдинга Планар Оборудование для сборки 7 КБТЭМ Планар Генераторы изображений ЭM-5589 • Уровень технологии 130 нм • Рабочий диапазон UV • пиксель 350 нм • Твердотельный лазер • 16-лучевая архитектура • Опция прямого рисования ЭМ-5489Б •Уровень технологии 90 нм •Рабочий диапазон DUV •пиксель170 нм •32-лучевая архитектура •Опция прямого рисования КБТЭМ Планар Контроль фотошаблонов ЭM-6729Б-0,15 •технологическая норма 90нм •Твердотельный лазер 266нм •Контроль методом сравнения с проектными данными •Режим фазового контраста •Высокая производительность • • • • ЭM-6729Б технологическая норма 130нм Твердотельный источник света на i-линии Контроль методом сравнения с проектными данными • Высокая производительность 9 КБТЭМ Планар Устранение дефектов фотошаблонов ЭМ-5231 • Фемтосекундный лазер • Размер минимального элемента 0,15 мкм • Устранение прозрачных и непрозрачных дефектов • Ремонт через пелликул • Максимальный размер шаблона 7” x 7” ЭM-5171 • Фемтосекундный лазер • Размер минимального элемента 0,2 мкм • Устранение прозрачных и непрозрачных дефектов 10 • Максимальный размер шаблона 7” x 7” КБТЭМ Планар Оборудование для проекционного переноса изображений на рабочие подложки 11 КБТЭМ Планар Оборудование для проекционного переноса изображений на рабочие подложки ЭМ-5084Б Автоматическая установка совмещения и мультипликации технологическая норма 0,8 мкм ЭМ-5784 Установка проекционного экспонирования и мультипликации Технологическая норма 0,35 мкм •Источник света твердотельный лазер 12 КБТЭМ Планар Установки формирования топологических структур для специальных применений •ЭМ-5434М PCB степпер для печатных плат высокой плотности монтажа ЭМ-5634 CCD степпер для производства больших матричных и линейных фотоприемных приборов 13 КБТЭМ Планар Автоматические системы совмещения и экспонирования 14 КБТЭМ Планар Оборудование для контактного переноса изображений на рабочие подложки •ЭМ-5126 ЭМ-5026АМ •Установка совмещения и экспонирования ЭМ-5096, ЭМ-5026М1 Установка совмещения и экспонирования (с ручной загрузкой) •ЭМ-5026Б Установка двухстороннего совмещения и экспонирования топологии • ЭМ-5186М Установка двухстороннего совмещения и экспонирования знаков совмещения 15 КБТЭМ Планар Инспекционное и контрольноизмерительное оборудование 16 КБТЭМ Планар Оборудование для контроля рабочих пластин ЭМ-6429 Установка автоматического контроля микродефектов на пластинах с топологией ЭМ-6129 Установка автоматического контроля дефектов на пластинах без топологии 17 КБТЭМ Планар Оборудование для контроля рабочих пластин ЭМ-6439 Установка автоматизированного контроля критических размеров топологии ЭМ-6309 Установка измерения координат элементов топологии 18 КБТЭМ Планар Оборудование для контроля рабочих пластин ЭМ-6022 Установка автоматической спектральной эллипсометрии 19 КБТЭМ Планар Оборудование для контроля подложек ЭМ-6419 Установка контроля плоскостности полупроводниковых пластин ЭМ-6015М1 Автоматизированная установка контроля микроизображений 20 КБТЭМ Планар ОБОРУДОВАНИЕ ЗОНДОВОГО КОНТРОЛЯ ПОЛУАВТОМАТИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ЭМ-6520 ЭМ-6190А АВТОМАТИЧЕСК ОЕ ОБОРУДОВАНИ Е КОМПЛЕКСЫ ТЕСТИРОВАНИЯ ЭМ-6290 ЭМ-6610 АНАЛИТИЧЕСК ОЕ ОБОРУДОВАНИ Е ВСПОМОГАТЕЛЬ НОЕ ЭМ-6070А УКФ ОБОРУДОВАНИ Е ЭМ-2048А АВТОМАТ ЭМ-2165 Ø300 мм ОБОРУДОВАНИЕ ОЧИСТКИ РУЧНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ МОНТАЖА ПОЛУАВТОМАТИЧЕС КОЕ КБТЭМ Планар ОБОРУДОВАНИЕ РАЗДЕЛЕНИЯ ПЛАСТИН И ПОДЛОЖЕК ЭМ-2058 ЭМ-3067 ПОЛУАВТОМАТИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ РАЗДЕЛЕНИЯ ЭМ-2115 ЭМ-2095 Ø200 мм ЭМ-2085 ЭМ-225М Ø150 мм +375 (17) 223 71 17 / +375 (17) 223 72 16 [email protected] / [email protected] http://www.kbtem.by Оборудование монтажа кристаллов +375 (17) 223 71 17 / +375 (17) 223 72 16 [email protected] / [email protected] http://www.kbtem.by Оборудование присоединения выводов +375 (17) 223 71 17 / +375 (17) 223 72 16 [email protected] / [email protected] http://www.kbtem.by Оборудование лазерной обработки +375 (17) 223 71 17 / +375 (17) 223 72 16 [email protected] / [email protected] http://www.kbtem.by Оборудование контроля и кассетирования кристаллов КБТЭМ Планар Наши возможности •Мы поставляем только современное оборудование под технологические нормы: 600, 350, 130, 90нм •Наше оборудование спроектировано по единым международным стандартам и представляет собой унифицированный ряд •Наши предложения позволяют комплексно решать задачи технического перевооружения •Мы являемся отечественным производителем оборудования 27 КБТЭМ Планар Наши возможности – ваши преимущества • Мы сами проектируем и изготавливаем наши установки • Мы сами модернизируем наши установки под требования Заказчика • Мы сами запускаем и проводим сервисное обслуживание наших установок • Мы консультируем ВАС и гарантируем качественную работу наших установок • Мы находимся рядом с ВАМИ и говорим на вашем языке • Мы не имеем таможенных барьеров 28 КБТЭМ Планар Расположение и контакты Минск, Республика Беларусь Телефон: + (375 17) 226-09-82, 223-71-28 E-mail: [email protected] Web: www.planar.by
