Исследование электрического сопротивления пленки ZnO в широком температурном диапазоне

Лабораторная работа №2 «Исследование электрического сопротивления
пленки ZnO в широком температурном диапазоне»
Цель работы:
Методом магнетронного распыления нанести на поверхность подложки пленку Zn
толщиной 100 нм и исследовать электрическое сопротивление в широком температурном
диапазоне.
Задачи работы:
- изучить методику радиочастотного магнетронно-плазменного распыления
наноразмерных пленок цинка на стеклянную подложку;
- провести окислительный отжиг наноразмерных пленок цинка на стеклянной
подложке;
- исследовать изменения электрического сопротивления наноразмерной пленки ZnO
в широком температурном диапазоне.
Ход выполнения работы
На стеклянную подложку, методом магнетронно-плазменного распыления наносят
наноразмерную пленку цинка толщиной 100 нм. В температурном диапазоне 25-500°С с
шагом 50°С производят температурный окислительный отжиг (время отжига каждого
температурного диапазона 10 мин.). Используя мультиметр, производить измерения
электрического сопротивления после каждого повышения температуры и прокаливания в
течение 10 мин. во всем исследуемом температурном диапазоне.
В
процессе
выполнения
лабораторной
работы,
студент,
руководствуясь
методическими указаниями к выполнению данной работы:
- проводит подготовку к магнетрону напылению стеклянных подложек;
- определяет временные характеристики нанесения наноразмерных пленок цинка на
поверхность подложки;
- проводит высокотемпературный окислительный отжиг наноразмерных пленок
оксида цинка на стеклянной подложке;
- исследует изменения электрического сопротивления наноразмерной пленки оксида
цинка;
- подготавливает краткий отчет по выполненной работе с предоставлением
полученных в ходе выполнения лабораторной работы данных.
Используемое оборудование:
1. Установка магнетронного напыления пленок Q150T ES.
2. Электроплитка химическая IKA C-MAG HS-7 c электронным регулированием
рабочей температуры.
3. Цифровой мультиметр UNI-T UT601.