Uploaded by саша мирюк

Общие закономерности вакуумной обработки

advertisement
Общие закономерности обработки металлов в вакууме
Общие положения
Насыщенный пар (упругость пара)- пар, находящийся в равновесии с
жидкой или твердой фазой.
Зависимость давления насыщенного пара Р0 металла от температуры
выводится на основе законов химической термодинамики и в простейшем
виде выражается уравнением Клаузиуса-Кланейрона;
lg P 0  
L
 A , где L – теплота испарения, А –
2,303RT
коэффициент.
Скорость испарения металла в вакууме определяется выражением
Кнудсена-Лэнгмюра:
W 0  P 0 M
2RT
, где Р0 – давление насыщенного пара
металла, М – молекулярный вес металла, α – коэффициент испарения.
Парциальное давление – равновесное давление i-компонента в
расплаве.
Растворы – системы, состоящие их молекул (атомов) различных типов
и при этом они не находятся в определенных стехиометрических
соотношениях друг с другом.
Закон Рауля
p A0  p A
nB

p A0
n A  nB
Здесь p A0 - давление пара чистого растворителя (А);
p A - парциальное давление растворителя;
n A и nB - число молей растворителя (А) и растворенного вещества (В).
Закон Рауля отображает зависимость относительного понижения
pA
парциального давления пара растворителя
от концентрации
растворенного вещества В.
Для бесконечно разбавленных растворов ( nB  0 )
p A0  p A nB

 NB
0
pA
nА
NB – мольная доля растворенного вещества.
NB=1 - NА, тогда

p A  p A0 N A
Для идеальных растворов (∆V=0; ∆Hраст =0).
Закон Рауля справедлив для любых концентраций, т.е. p i  p i0 N i
В этом случае парциальное давление насыщенного пара ¡-го
компонента раствора прямо пропорционально его мольной доле в
растворе, причём коэффициент пропорциональности равен давлению
насыщенного пара над чистым компонентом.
n
Общее давление в системе p общ   pi   p1  p 2  ... p n 
i 1
Реальные растворы
Реальные растворы с положительными отклонениями от закона Рауля
образуются из чистых компонентов с поглощением теплоты (ΔНраств > 0);
объём раствора оказывается больше, чем сумма исходных объёмов
компонентов (ΔV > 0). Растворы с отрицательными отклонениями от закона
Рауля образуются с выделением теплоты (ΔНраств < 0); объём раствора в
этом случае будет меньше, чем сумма исходных объёмов компонентов (ΔV <
0).
Рис. 3. Графическое изображение закона Рауля
Рис. 4. Отклонение от закона Рауля: а – положительное; б –
отрицательное
Атомы А и В при положительном отклонении взаимодействуют
сильнее (чем А-А и В-В). Наблюдается поглощение тепла (ΔНраств < 0),
увеличение объема компонент (ΔV > 0). Энергия смешения атомов А-В
положительная (∆Uав > 0). Это характерно для образования механических
смесей.
Атомы А и В при отрицательном отклонении взаимодействуют слабее
(чем А-А и В-В). Наблюдается выделение тепла (ΔНраств > 0), уменьшение
объема компонент (ΔV< 0). Энергия смешения атомов А-В отрицательная
(∆Uав < 0). Это характерно для образования твердых растворов или
химических соединений.
Отклонение растворов от идеального состояния учитывается введение
в термодинамические функции активности или летучести.
Активность (αA) – это эффективная концентрация, при которой
реальный раствор приобретает свойства идеального раствора.
 А   А N A , где γA – коэффициент активности, NA – мольная
доля компонента А.
Для
идеальных
растворов
активность
 Aид
совпадает
с
концентрацией NA

ид
A
PA
 I  NA
,
PA
где
PA и
PAI -
парциальные давления
компонента А для идеальных и реальных условий
Летучесть (fA) – эффективное давление вместо парциальных давлений,
при котором уравнения справедливы для реальных растворов.
f A   А PAI ,
где γA – коэффициент активности,
давление пара для реальных условий.
PAI
- парциальное
Коэффициент активности( γA) – отклонение системы от идеальности
PAI
A 
PA , где PA и
PAI -
парциальные давления компонента А для
идеальных и реальных условий
Коэффициент активности способен изменяться в пределах (1 ˂ γi ˂ 1).
Влияние остаточного давления на давление насыщенного пара,
скорость испарения металла, удаление примесей.
Расчеты показывают, что при переходе от внешнего атмосферного
давлению к полному вакууму для металлов при Тпл ~ 1000 К изменение
давлений насыщенных паров составляет тысячные доли процента.
Скорость испарения металлов находится в обратной зависимости от
внешнего давления и может изменяться на порядки, достигая максимального
значения в условиях молекулярного испарения.
В случае удаления газовых компонент влияние разряжения в общем
случае связано с изменением свободной энергии газовой компоненты,
участвующей в реакции согласно уравнению
F=F0+RTlnP, где F0 – свободная энергия газа в стандартном
состоянии, P – остаточное давление газа (в атм.)
В условиях разряжения P ˂ 1 и RTlnP ˂ 0, то с понижением давления убыль
сводной энергии возрастает.
Абсолютное изменение ∆F с изменением Р при Т- const определяется
соотношением
F  nRTln
P2
P1 , где Р1 и Р2 давление в начальном и конечном состояниях,
n – число газовых молей
Рафинирование металлов плавкой и дистилляцией в вакууме
Плавка металлов в вакууме
Степень очистки металлов в процессе вакуумной плавки может быть
оценена по уравнению:
 G
Ci   i pi0
M
lg 0   0 
 1 lg
Ci  p
Mi
 G0
.
Здесь C i0 и Сi – концентрация і – примеси;
G0 и G – масса основного компонента до и после вакуумной плавки;
p0
0
и p i , М и Mi – давления насыщенных паров и молекулярные
массы основного компонента и примесного элемента;
γi – коэффициент активности примесного элемента.
 i pi0
p0

M
 i
Mi
αi - так называемый коэффициент очистки
Если αi ≤ 1 – очистки нет
αi ˃ 30 ÷ 100 заметная очистка при потере веса G~10%
αi ˃˃ 100 – эффективное удаление примесей
Дистилляция металлов в вакууме
В основе дистилляционного метода рафинирования лежит различие в
составах разделяемой жидкой смеси и образующегося из него пара. Это
различие оценивается величиной относительной летучести α отделяемого
компонента (применительно к процессу рафинирования эту величину
называют коэффициентом разделения). В равновесных условиях
относительная летучесть αе определяется выражением
e 
N A N B N A N A
/

/
N A N B N B N B
где NA и N´A - мольные доли компонента А в жидкости и в паре,
соответственно; NB и N´B – то же для компонента В.
Чем больше значение α отличается от единицы, тем эффективнее
разделение компонентов.
Согласно уравнению Дальтона, в равновесных условиях
p A N A

p B N B
где рА и рВ – парциальные давления паров компонентов А и В над
смесью, соответственно.
С учетом того, что для неидеальных растворов
p A  а A p A0   A N A p A0 ,
0
где p A ,
соответственно;
pB  aB pB0   B N B pB0
pB0 – давление паров чистых компонентов А и В,
аА и γА – активность и коэффициент активности компонента А, аВ и γВ
– активность и коэффициент активности компонента В.
Запишем равновесный коэффициент разделения α е в виде:
е 
 A p A0
 B p B0
Отметим, что для идеальных растворов, подчиняющихся закону Рауля,
0
0
когда γ = γ = 1, в равновесных условиях α = p A / pB .
А
В
i
Одним из основных уравнений дистилляции в вакууме является
уравнение Кнудсена – Ленгмюра, связывающее скорость испарения вещества
в вакууме W с давлением пара р этого вещества и температурой Т:
W  kp  p / 2 RT / M
где М – молекулярный вес вещества; R – универсальная газовая
2
постоянная; k  5,8333  10 M / T , г · (см2 · с · мм рт. ст.)-1.
Молярная концентрация компонентов в паре пропорциональна
скорости их испарения W/M:
0
N A W A / M A p A M B  A N A p A M B



N B WB / M B p B M A  B N B p B0 M A
тогда
0
N A N A  A p A M B

/

N B N B  B p B0 M A
т. е. коэффициент разделения α при молекулярном испарении в вакууме
отличается от коэффициента αе при равновесных условиях множителем
M B / M A . В случае идеального раствора, когда γ = γ = 1, идеальный
А
В
коэффициент разделения αi при молекулярном испарении определяется как
i 
p A0 M B
p B0 M A
Для анализа эффективности очистки идеального процесса дистилляции
полезными представляются следующие расчеты:
- оценка зависимости степени очистки расплава хР/х0 от доли
остатка GР/G0 для легколетучих примесей
 i 1
хP  G1 
 
х0  G0 
где х0 и хР – начальное и конечное содержание примеси в расплаве
компонента А, вес. %, G0 и GР – начальная и конечная масса расплава;
- оценка зависимости степени очистки конденсата хК/х0 от
степени перегонки GК/G0 для труднолетучих примесей,
 G 
1  1  k 
G0 
xk
 
Gk
x0
G0
i
где хК – содержание примеси в конденсате,
конденсата.
вес. %, GК – масса
Эти расчеты носят приближенный характер и основаны на
предположениях об идеальном поведении расплава и подчинении его закону
Рауля и поэтому совпадение расчетных и экспериментальных результатов
наблюдается редко. Тем не менее, эти расчеты полезны для оценки
различных технологических параметров процесса рафинирования металлов
дистилляцией в вакууме.
Пример: цинк-основа; кадмий- легколетучая примесь; магний –
труднолетучая примесь
xp/x0
1,0
0,8
T=700K

0,6
0,4
0,2
0,0
0,6
Cd
0,8
а)
xK/x0
1,0
0,8
1,0
Gp/G0
T=700K

0,6
0,4
0,2
0,0
0,6
б)
Mg
0,8
1,0
GK/G0
Зависимость содержания кадмия в цинке в расплаве от доли остатка
расплава (а); зависимость содержания магния в цинке в конденсате от доли
перегонки (б)
Схемы дистилляции металлов
Схема устройства для перегонки хрома сублимацией в вакууме.
1-корпус рабочей камеры, 2-водоохлаждаемый медный тигель,
3-електроннолучевая пушка, 4-конденсатор, 5-насадка конденсатора,
6-отверстие насадки, 7-тепловые экраны
Схема рафинирования галлия прогревом и дистилляцией в вакууме
Схема устройства для рафинирования хрома прогревом (І) и сублимацией в
вакууме (ІІ)
1-сетчатый тигель с хромом, 2- электроннолучевые пушки, 3-колонка,
4-нагреватели колонки, 5-конденсат хрома
Устройство для рафинирования металлов дистилляцией в вакууме
1-камера установки, 2-тигель, 3-основной конденсатор, 4-нагреватель,
5-дополнительный конденсатор, 6-пластина, 7-исходная загрузка,
8,9-отверстия, 10-шток перемещения, 11-подставка, 12-окисная пленка
Кристаллизационные методы рафинирования металлов
Направленная кристаллизация
(НК) – процесс, связанный с
перемещением плоской границы раздела жидкой – твердой фазы вдоль
определенного кристаллографического направления.
Метод НК в основном используется для глубокой очистки веществ и
получения их в монокристаллическом виде.
Схема направленного затвердевания
Метод НК широко используется для глубокой очистки веществ,
вследствие удаления и перераспределения примесей в процессе зонной
перекристаллизации. Перераспределение примесей в при НК обуслолено тем,
что концентрация примеси в твердой и жидких фазах, находящихся в
равновесии, различны. Мерой этого различия служит коэффициент
распределения, определяемый как отношение концентрации примеси в
образующейся твердой фазе CS к ее концентрации в основной массе
жидкости CL.
Обычно различают коэффициент распределения равновесный k0 и
эффективный k. Термин «равновесный» коэффициент распределения можно
представить, исходя из рис.1.
Рис 1. Части равновесных диаграмм состояния для случаев, когда
примесь понижает (k0<1) и повышает (k0>1) температуру кристаллизации
очищаемого вещества.
Отношение CS/CL=k0 называют равновесным коэффициентом
распределения. Примеси, имеющие k0  1, понижают, а примеси с k0  1
повышают температуру кристаллизации основного вещества. Причем
концентрация твердой фазы в начальный момент кристаллизации всегда
равна k0C0, а концентрация жидкой фазы после окончания кристаллизации k0/C0.
В реальных условиях скорость перемещения границы раздела
жидкой/твердой фазы не является конечной и массообмен на границе
твердой и жидкой фаз является неполным величина k0 редко достигает
равновесного значения. В этих условиях зависимость между концентрациями
примеси в твердой и жидкой фазах определяется эффективным
коэффициентом распределения k. Уравнение, связывающие коэффициенты k
и k0 имеет вид:

 V 
k  k0  k0  1  k0   exp  
 D




Здесь V/D – безразмерная величина, называемая приведенной
скоростью роста, включает три основных параметра коэффициента k: V –
скорость перемещения границы раздела жидкой/твердой фазы;  - толщина
диффузионного слоя, прилегающего к границе раздела твердой и жидкой
фаз; D – коэффициент диффузии примеси в расплаве.
Способы реализации направленной кристаллизации
Основные способы.
1. Метод Бріджмена.
Утворення монокристала з розплаву
відбувається всередині тигля, який поступово переміщується з розплавом з
гарячої зони печі через холодну діафрагму. Для отримання монокристала
заданої орієнтації в конусній частині тигля розташовують затравку.
а
Схема методу Бріджмена: 1 - піч,
монокристал;
2 - розплав, 3 - тигель, 4 -
2. Метод Чохральського. Кристалізація відбувається шляхом
виведення частини розплаву з тигля за допомогою затравки.
Монокристалічна затравка занурюється неглибоко в розплав і після цього її
поступово витягують. Температура затравки дещо нижче температури
розплаву, і при витягуванні розплав поступово кристалізується на пласкій
поверхні затравки, збільшуючись у розмірах до заданого діаметру. Даний
метод
широко
використовується
для
отримання
монокристалів
напівпровідникових матеріалів.
б
Схема методу Чохральського: 1 - піч, 2 - затравка, 3 - монокристал, 4 розплав, 5 - тигель.
3. Метод Вернейля. Зростання монокристалів відбувається шляхом
наплавлення
на поверхню
затравки,
що переміщується
вниз,
дрібнодисперсного порошку відповідного металу. Наплавлений метал
набуває кристалографічної орієнтації затравки. За розповсюдженістю метод
Вернейля поступається методам Бріджмена і Чохральського.
а
Схема методу Вернейля для отримання циліндричного кристалу: 1 бункер для шихти, 2 - пальник, 3 - теплоізоляція печі, 4 - вікно для контролю,
5 - шар розплаву, 6 - кристал, 7 - затравка;
4. Метод зонной плавки (ЗП). Схемы процессов ЗП и технические
средства их реализации отличаются большим разнообразием. По способу
реализации процессы ЗП подразделяются на горизонтальный и вертикальный
варианты.
Схемы осуществления зонной плавки.
а) – горизонтальная плавка с одним нагревателем;
б) – горизонтальная плавка с несколькими нагревателями;
в) – вертикальная плавка
1 – нерасплавленная часть образца;
2 – расплавленная зона длинной l ;
3 – твердая часть образца после очистки, длинной x;
4 – нагреватель;
5 – контейнер;
V – направление движения зоны.
Перемещение жидкой зоны по образцу осуществляется либо
перемещением нагревателя, либо продвижением контейнера с веществом
через нагреватель. Для повышения эффективности процесса ЗП иногда
используют одновременно несколько нагревателей, создающих ряд
расплавленных зон, следующих одна за другой через определенные
интервалы.
Чтобы избежать взаимодействия вещества с материалом контейнера, а,
следовательно, и загрязнения материала, был разработан специальный
вариант вертикальной ЗП, получивший название метода «плавающей» зоны
(бестигельная
ЗП).
Принципиальная
схема
такого
метода
с
электроннолучевым нагревом показана на следующем рисунке.
Схема вертикальной зонной плавки с элек-тролучевым подогревом.
1 – переплавляемый образец;
2 – эмиттер электронов;
3 – фокусирующий электрод;
4 – электронный пучок;
5 – расплавленная зона;
V – направление движения расплавленной зоны.
В данном случае движущаяся жидкая зона удерживается в образце
силами поверхностного натяжения и ограничена размерами. Максимальный
диаметр зоны d можно оценить как
d  2.8 g   L  L
,
где L – поверхностное натяжение жидкости;  – плотность жидкости; g –
ускорение силы тяжести.
Кроме основного назначения методы направленной кристаллизации могут
быть использованы для анализа диаграмм состояния, определения
коэффициента диффузии примесного элемента в расплаве и других целей.
Коэффициент распределения k0 является параметром равновесия между
твердой и жидкой фазами. Характер распределения компонентов по длине
образцов, полученных методами НК, находится в полной взаимосвязи с
типом соответствующей диаграммы состояния, отражающей взаимодействие
компонентов в системе. В частности, на основе анализа кривых
распределения концентрации примеси можно определить предельную
растворимость примеси в твердом состоянии, установить местоположения
эвтектических и перитектических превращений, предсказать образование
тугоплавких соединений.
h
tt
p
s:
//
w
w
w
.g
o
o
gl
e.
c
o
m
/s
e
ar
c
h
?
q
=
%
D
0
%
Download