Маршрутная карта проектирования Organic Electrochemical Transistor (OECT) в САПР TCAD SILVACO. Операция Напыление SiO2 Параметры, режимы, спутники 5 мкм Фотолитография №1 Шаблон: OECT-1 Al Напыление Al разводки Удаление Ф/Р Фотолитография №2 Шаблон: OECT-2 SiO2 5 мкм Визуализация Напыление SiO2 5 мкм Удаление Ф/Р Фотолитография №3 Шаблон: OECT-3 Contact ПХТ SiO2 Удаление Ф/Р 5 мкм
