Приложение № 1 к Закупочной документации № 30.1-9/12-103РТ на право заключить договор

Приложение № 1
к Закупочной документации № 30.1-9/12-103РТ
по открытому аукциону в электронной форме
на право заключить договор
на поставку комплекта оборудования
ТЕХНИЧЕСКОЕ ЗАДАНИЕ
на оборудование участка контроля и корректировки тонких пленок.
Общие требования к товару:
Оборудование должно быть новым, не ранее 2013 года выпуска, ранее не
эксплуатировавшимся, серийно выпускаемым, не быть восстановленным, иметь
сертификат соответствия Европейским стандартам и сертификат соответствия
ГОСТ РФ, соответствовать ТУ и другим показателям качества продукции,
соответствовать Российским стандартам и указанным ниже техническим
характеристикам и требованиям.
Состав оборудования:
№
Название и состав рабочего места
Кол-во
п/п
1 Полуавтоматическая
система
совмещения
и
1 шт.
экспонирования EVG620, Австрия
2
3
Установка вакуумного осаждения Элато-350
Цифровой сканирующий акустический микроскоп
высокого разрешения D9600
1 шт.
1 шт.
4
Установка лазерной литографии mpG 101 Германия
1 шт.
5
Шкаф сухого хранения HT-BG1K
7 шт.
Технические характеристики, состав, требования, комплектность оборудования.
1. Полуавтоматическая система совмещения и экспонирования
EVG620 - 1 шт.
Система должна удовлетворять следующим требованиям:
Система предназначена для работы с подложками размером 60х48 мм и
обеспечивать режимы экспонирования - жесткий, мягкий, вакуумный контакт,
микрозазор.
Технические характеристики:
– Диапазон длин волн спектра излучения:
350-450 нм
– Равномерность излучения для пластины 150 мм: не хуже <±5 %
– Габаритные размеры (Ш×Г×В), не более: 1700×1500×1900мм
– Масса, не более: 700кг
– Электропитание: однофазное, 220В
– Частота переменного тока: 50Гц
– Энергопотребление не более 2,5 кВт
1
Комплект поставки и требования к системе:
Описание
Установка одностороннего совмещения и экспонирования
 Необходимые режимы экспонирования: жесткий, мягкий,
вакуумный контакт, микрозазор
 Микрозазор 0-300 мкм должен регулироваться программно
 Диапазон толщины подложек не хуже 0.1-10 мм
 Возможность
полуавтоматической
загрузки
с
механическимпресовмещением в держателе
 Возможность быстрой смены маски и держателя
 Плоский экран с размером не менее 17"
 Кассета для не менее 5 совмещающих устройств
 Наличие программного обеспечение для программирования,
документирования, диагностики и рабочего процесса на
основе MS-Windows®
 Возможность управления техпроцессом с помощью ПК с
поясняющими подсказками
 Возможность сохранения параметров техпроцесса в файл,
неограниченное количество файлов
 Возможность защиты паролем разных уровней доступа
(оператор/инженер/наладчик)
 Возможность распечатки параметров техпроцесса
 Возможность удаленной диагностики через модем
Программное
обеспечение
установки
одностороннего
совмещения и экспонирования
Источник света мощностью 350-500 Вт должен включать:
 Ламповую система для ртутных ламп 350-500Вт
 Иметь оптимизированную параллельную систему света с
однородностью +/-2% для пластин 100мм и +/-4% для пластин
150мм
 Иметь установочную плиту для УФ датчиков диаметром до
44,5мм и максимальной высотой до16мм
Оптическое приспособление для длин волн 350-450 нм
 Должно быть предназначено для источников излучения
ближней и дальней УФ области
 Включать 150мм полевую линзу
 Включать диэлектрическое зеркало
 Включать фасеточную линзу
Ртутная лампа мощностью не менее 350 Вт
Узел совмещения с прецизионными микрометрами должен
обеспечивать и включать:
 Совмещение по осям X, Y и Theta при помощи
микрометрических шпинделей, моторизованная ось Z
2
Кол-во,
шт.
1
1
1
1
1
1
Кол-во,
шт.
Описание
 Систему автоматической клиновой компенсации для
регулирования зазора
 Регулируемое контактное усилие в диапазоне 0,5-40Н, без
сдвига маски относительно пластины
Микроскоп на верхней стороне:
 Должен быть моторизованный микроскоп ом двойного поля
для совмещения в области видимого света с CCD-камерой
высокого разрешения
 Должен обеспечивать диапазон перемещений:
X: 30 мм - 150 мм, Y: -70/+70мм
 Необходимо наличие функции памяти положений микроскопа
 Наличие программного обеспечения для цифрового
увеличения, предоставляющее 2x и 4x увеличение для точного
совмещения
 Наличие объектива 10x
Держатель маски 4х4"с загрузочной рамкой должен иметь:
 Круглое отверстие для экспонирования пластин
 Шлифованную поверхность с твердым покрытием области
установки шаблона
 Систему загрузки с нижней стороны с автоматическим
созданием вакуума
Вакуумный держатель пластин 60x48 мм
 Должен быть приспособлен для ручной загрузки пластин с
устройством пресовмещения
 Наличие шлифованной поверхности с твердым покрытием
области установки пластины
 Должен поддерживать экспонирование с мягким, жестким,
вакуумным контактом и микрозазором
 Наличие уплотнения для вакуумного контакта
Упаковка EVG620
Держатель для подложек 60x48мм с прокладками для
экспонирования с микро зазором
Комплект запасных частей на 1 год
Специальная система выравнивания и совмещения
Антивибрационный стол с возможностью регулировки высоты
Рабочая поверхность должна быть выполнена из полированного
камня
Толщина столешницы не менее 60 мм
Должно быть обеспечено наличие 4 пневмоопор
Должна быть обеспечена централизованная подача воздуха
Необходимо наличие 4 регуляторов давления
Вакумный мембранный насос МВНК 2х2
3
1
1
1
1
1
1
1
1
3
2. Оборудование для установки вакуумного осаждения.
Комплект поставки должен включать:
 Установку вакуумного осаждения Элато-350 - 1 шт. в составе:
Наименование
Колво
Система вакуумная
Насос форвакуумный спиральный
1
безмасляный
Насос турбомолекулярный 2200
1
л/с ISO250 безмасляный
Затвор
1
Датчик вакуума
1
широкодиапазонный PKR251
PTR26000
Датчик вакуума низковакуумный
1
TPR280 PTR26855
Клапаны вакуумные
3
Камера вакуумная
1
Система ЭЛИ и СМР
Электронно-лучевой испаритель
1
EVM-4
Система магнетронного
1
распыления:
Блок питания
1
Заслонка
1
Блок управления лучом GeniusPro
1
Блок накала спирали FPS 3
1
БП ЭЛИ высоковольтный Carrera
1
(3 кВт)
Заслонка
1
Система ионной очистки
Источник ионной очистки (Луч1
140)
БП ИИО IPS-I1K
1
БП термокомпенсатора IPS-C1
1
Система контроля покрытий
Кварцевый измеритель толщины
1
SQM-160
Датчик кварцевого контроля
1
Система контроля сопротивления
1
Система вращения держателя подложек
Подложкодержатель
1
Привод вращения
1
Система нагрева
4
Производитель Примечания
Edwards
Edwards
VRL
Pfeiffer
Pfeiffer
Htc
Изовак
FerroTec
IZOVAC
ADL/MARIS
IZOVAC
FerroTec
FerroTec
FerroTec
Изовак
Изовак
Изовак
Изовак
Fil-tech
Fil-tech
Изовак
Изовак
Изовак
Наименование
ТЭН
Термопара
Регулятор мощности SIPIN
Система пневматическая
Регулятор входного давления с
манометром
Блок пневмораспределителей
Система охлаждения
Клапан электромагнитный
Датчик (реле) протока
Кран шаровый
Рециркулятор
Система газовая
Фильтр очистки газа
Регулятор давления
Клапан ручной
Манометр
Клапан электромагнитный
Расходомер
Колво
1
1
2
Производитель Примечания
Изовак
1
SMC
1
SMC
5
5
4
1
SMC
TOKYO KEISO
1
1
1
1
1
1
SMC
SMC
Swagelok
SMC
SMC
PneucleusTech.
LLC
Yuting
Система управления
Контроллер (распределенный)
1
WAGO
Компьютер индустриальный
1
Монитор оператора
2
Лампа сигнальная
1
Комплект программного обеспечения
ПО
1
Master SCADA
ПО
1
WINDOWS
Шаблоны процессов
1
Изовак
Редактор операций
1
Изовак
Система электрическая
БП общий (распределенный)
1
Изовак
Оснастка внутрикамерная (дополнительно)
Комплект защиты от запыления
1
Изовак
1
Запасные части и материалы
Комплект
Требования к конструкции:
Установка вакуумного напыления представляет собой вакуумное оборудование
периодического действия. Конструктивно установка должна состоять из
каркаса, выполненного в едином блоке со стойкой питания и управления, и
установленной в нем вакуумной камеры D-образной формы Каркас рассчитан
для монтажа ВТО в окно чистой комнаты. Для высоковакуумной откачки
камеры применяется турбомолекулярный насос (2200 л/сек), отсеченный от
камеры затвором. Для предварительной откачки камеры и обеспечения
5
поддержки турбомолекулярного насоса используются «сухой» спиральный
насос (35 м3/ч). Загрузка подложек осуществляется оператором вручную.
Установка должна быть выполнена в едином блоке, приспособленном для
расположения в чистых производственных помещениях. Все лицевые двери
установки должны иметь по контуру прилегания пустотелый магнитный
уплотнитель, не допускающий перетекания воздуха с пылью в чистую комнату.
Вакуумный пост должен иметь конструкцию позволяющую совершать легкий
доступ к дну и потолку камеры. Каркас установки должен иметь колеса для
перемещения установки внутри чистого помещения, и регулируемые опоры
ножки для выравнивания установки в рабочем положении внутри чистого
помещения. Дверь установлена на камере и закреплена с помощью 3-х звенных
петель.
Технологические устройства (ЭЛИ, СМР и ИИО) должны монтироваться на
фланце дна камеры. На верхнем фланце камеры должен быть расположен
механизм вращения подложкодержателя. На нем необходимо установить
системы нагрева и кварцевого контроля. Внутренние поверхности камеры
необходимо закрыть быстросъемными, профилактирующимися защитами.
Камера должна иметь комплект внутрикамерных съемных листовых экранов
для защиты от запыления. ЭЛИ и СМР должны иметь заслонки.
На стойке управления необходимо установить ПК с сенсорной панелью
управления, на которой отображается вся необходимая информация о
состоянии установки и параметрах технологического процесса. С помощью
данной панели можно управлять установкой в ручном режиме.
На передней двери электрического шкафа должны размещаются два пульта
управления ЭЛИ и СМР, монитор с сенсорным экраном, справа расположить
токорозрядный электрод ЭЛИ.
Установка должна работать как в ручном, так и в автоматическом режимах.
Технолог может создавать технологические рецепты в рамках характеристик
применяемых технологических устройств, задавать последовательность их
работы и заносить рецепты в память установки, а затем воспроизводить их. На
любом этапе автоматической работы по выбранному рецепту оператор может
остановить работу, откорректировать незавершенные шаги и воспроизвести их
с момента остановки. Данные о выполнении рецептов протоколируются и
могут быть в любое время извлечены для анализа.
Установка вакуумного осаждения должна удовлетворять следующим
требованиям:
 Размеры обрабатываемых подложек – 48х60х1,0; 48х60х0,5; 48х60х0,25;
30х24х0,3; 30х24х0,2.
 Материалы: Поликор, керамика.
 Количество одновременно обрабатываемых подложек 48х60 – 8 штук.
Возможность загрузки одной подложки.
 Способ нанесения покрытия: нанесение покрытий методом электроннолучевого испарения в одном технологическом цикле последовательно
пленок меди и хрома.
 Напыление одностороннее.
 Способ подготовки поверхности перед нанесением покрытия – Ионный
источник очистки.
6
 Количество электронно-лучевых испарителей – 1шт.
 Температура нагрева подложек – до 400оС
o Разброс температур по карусели – не более ± 2оС.
o Точность установки температуры – не более ± 2оС.
 Ручная загрузка.
 Разброс толщины напыленной пленки по карусели – не более ±2%.
 Контроль толщины напыленной пленки осуществляться:
o По кварцевому датчику
o По резистивному датчику размером 60х48 мм в диапазоне значений
сопротивления от 40 до 100 Ом.
 Система управления обеспечивает проведения технологического
процесса в ручном или автоматическом режимах.
 Скорость вращения карусели, регулируемая в диапазоне 0 ÷ 40 об/мин.
 Безмасленная система откачки.
 Время откачки до давления ≤ 2·10-4 Па за время – не более 30 минут.
 Независимая система охлаждения
3. Цифровой сканирующий акустический микроскоп высокого
разрешения D9600 - 1 шт.
Технические характеристики цифрового сканирующего акустического микроскопа
высокого разрешения:
Наименование характеристики
Показатель
Область системы сканирования
Не менее 333×312мм
Точность
перемещения Не хуже ±0,5 мкм
сканирующей головки
Повторяемость по каждой из Не хуже ± 0.5 мкм
координатных осей
Разрешение сканирования
Не хуже 63 мегапикселей
Диапазон
границ
задания Не уже, чем от 1нс до 10000нс
исследуемой области
Акустическая ширина сканирования Не менее 95 дБ
Шаг сканирования
Не более 0,5 дБ
Габариты системы
Не более 2000 х 758 х 1400 мм
Вес системы
Не более 350 кг
Дополнительные требования и характеристики:
 ВЧ-система генерации/считывания импульсов должна обладать
возможностью работы с вч-преобразователями частотой до 300 МГц и
обладать возможностью автоматически распознавать установленный
вч-преобразователь.
 Система
должна
обладать
интегрированным
цифровым
осциллоскопом для сканирования, отображения информации и
архивирования данных в реальном масштабе времени
 Система должна быть оснащена комплектом развернутого VHR™сканирования и захвата данных высокого (до 4 МПиксел - 2048 x
2048) разрешения.
7
 Система должна быть оснащена двумя 17” жк-мониторами для
удобства работы оператора.
 Система должна обеспечивать автоматическое сохранение и учет всех
рабочих параметров, используемых для каждого полученного
изображения.
 Система должна обладать программным обеспечением для
автоматического исследования образца по заданным наборам
параметров.
 Встроенное программное обеспечение должно позволять определять
полярность и пики импульсов, получать данные о мощность
полученных акустических откликов, осуществлять автоматическую
фокусировку преобразователя на необходимой для исследования
глубине образца, проводить послойное сканирование образцов.
 Установка иметь возможность производить экспорт изображений в
форматы JPEG, TIFF, PCX&BMP для электронной передачи на другие
носители.
Комплект поставки должен включать:
Наименование
Кол-во
Цифровой сканирующий акустический микроскоп высокого
разрешения
1 шт.
Интегрированный виброизолированный консольный модуль
1 шт.
Высокочастотный цифровой генератор импульсов, для
использования с ультразвуковыми преобразователями частотой
до 300 МГц
1 шт.
Интегрированный цифровой осциллоскоп для сканирования,
отображения информации и архивирования данных в реальном
масштабе времени
1 шт.
Комплект развернутого VHR™-сканирования и захвата данных
1
высокого (до 4 МПиксел - 2048 x 2048) разрешения
комплект
Датчик полярности акустического импеданса
1 шт.
Плоскопанельный ЖК-монитор 17"
2 шт.
Главный модуль управления
1 шт.
Стандартный образец
калибровки системы
и
Программное
обеспечение
изображений (DIA)
программное
для
обеспечение
акустического
для
1 шт.
анализа
1 шт.
Преобразователь 15МГц, фокусное расстояние 19,1 мм
1 шт.
Преобразователь 50 МГц, фокусное расстояние 12,7 мм
1 шт.
Преобразователь 100 МГц, фокусное расстояние 12,7 мм
1 шт.
Преобразователь 230МГц, фокусное расстояние 19,1 мм
1 шт.
8
Наименование
Кол-во
Набор преобразователей 10МГц, 20 МГц и 30 МГц
Превентивный набор расходных материалов.
специальные смазки, предохранители, лампы и т.д.
Комплект документации, на русском языке включая
1 шт.
Содержит
1 шт.
1
комплект
4. Оборудование для лазерной литографии mpG 101
Установка лазерной литографии mpG 101 - 1 шт. в составе (включая
технические характеристики):
1) Базовый блок/платформа лазерного генератора:
 Рабочий стол с вакуумным держателем подложек, линейным
двигателем и датчиком положения. Держатель должен удерживать
образец с помощью вакуума.
 Оптическая система, включающая зеркала с высоким отражением
 Система оптического автофокуса в реальном масштабе времени с
динамическим диапазоном не менее 80 мкм
 Система контроля рабочего стола, автофокуса и генератора пикселей
засветки
 Максимальный размер подложек: до 125х125мм;
 Охлаждение: воздушное;
 Управляющий ПК;
 Системное программное обеспечение для контроля и управления
системой на базе ОС Linux;
 Программное обеспечение установки параметров обработки и
отображения изображения с камеры, а также работы с входными
данными топологий в форматах DXF, CIF и GDSII на базе ОС
Windows;
 Откидывающаяся защитная крышка для обеспечения свободного
доступа к рабочему столику для быстрой загрузки/разгрузки образцов
2) Система экспонирования повышенной точности:
 Минимальный размер элемента: не более 3 мкм;
 Сетка экспонирования: не более 100 нм;
 Допуск на минимальный размер: не хуже 400 нм (3 сигма)
 Производительность: не менее 30 мм2/мин;
 Неровность края резиста: не хуже 200 нм;
 Точность совмещения: не хуже 1000 нм (3 сигма);
 Область экспонирования: до 100х100 мм;
3) УФ лазерный источник:
 Лазерный диод с длиной волны 375 нм;
 Мощность: не менее 18 мВт;
 Гарантированное время безотказной работы: 3000 часов или 1 год
 Типовое время безотказной работы: 7000 часов
9
4) Дополнительная система оптического автофокуса:
 Возможность
использования
вместо
стандартной
системы
фокусировки (задается программно);
 Обеспечение повышения точности фокусировки для малых размеров
подложек;
 Обеспечение постоянной фокусировки по краю подложки;
5) Система векторного экспонирования;
 Снижение значения неровности края микроструктур;
6) Режим экспонирования в тонах серого
 Модуляция интенсивности экспонирования по не менее, чем 100
уровням/тонам;
7) Антивибрационный рабочий стол
 Обеспечение пассивной антивибрационной защиты
 Размещение лазерного генератора и управляющего ПК;
 Габариты: не менее 1700х700 мм;
 Вес: не менее 390 кг.
8) Габаритные размеры системы:
1. Ширина: в диапазоне 590-630 мм
2. Глубина: в диапазоне 720-760 мм
3. Высота: в диапазоне 480-520 мм
9) Габаритные размеры источника питания:
 Ширина: в диапазоне 410-450 мм
 Глубина: в диапазоне 360-400 мм
 Высота: в диапазоне 210-250 мм
10)
Требования к сети питания:
1. 230В/6А или 110В/12А
5. Шкаф сухого хранения HT-BG1K – 7 шт.
Шкаф сухого хранения предназначен для безопасного хранения компонентов и
приборов, чувствительных к влажности.
Технические характеристики шкафа сухого хранения:
• Внешние габариты: не более Ш580мм x Г540мм x В1070мм
• Объем: не менее 300л
• Вес шкафа: не более 25кг
• Цифровой термогидрометр
• Алюминиевая рама
• Антистатическое стекло
• Полки из нержавеющей стали
• Порты для подключения азота (2 шт.)Поддон для силикагеля SHAPE
10
Дополнительные требования.
Оборудование участка тонких пленок кроме описанной комплектности
поставки, должно дополнительно содержать в своем составе стандартный
стартовый набор материалов тонкопленочного техпроцесса, необходимый для
запуска
линии,
изготовления
тестовых
образцов
и
проведения
технологического инструктажа.
Доставка
Поставщик доставляет оборудование по адресу:
г.Тамбов, ул.Коммунальная, д.51.
Срок поставки оборудования – не более семи месяцев с момента
подписания договора.
Все оборудования из состава комплекта и его элементы поставляются в
специальной упаковке, соответствующей стандартам, ТУ. Упаковка должна
обеспечивать полную сохранность оборудования на весь срок его
транспортировки.
При оформлении документов на поставку оборудования (товарнотранспортных накладных, счетов-фактур, спецификаций к договору поставки и
т.д) необходимо указывать наименование, количество и стоимость на каждую
позицию оборудования, оснастки, инструмента и работ, указанную в
техническом задании на поставку оборудования.
Эксплуатационная и техническая документация поставляется в полном
объеме на русском языке: паспорт оборудования, руководство по
обслуживанию и эксплуатации на бумажном и флеш-диске USB 2.0. Стоимость
доставки должна входить в общую стоимость оборудования.
Гарантия
Поставщик производит полный комплекс гарантийного и сервисного
обслуживания всего оборудования из состава комплекта в течение всего
гарантийного срока.
Гарантийный срок службы – 12 месяцев с даты подписания акта о запуске
оборудования в эксплуатацию при отсутствии претензий по качеству и
комплектации оборудования, в противном случае — с даты урегулирования
спорных вопросов.
Гарантийное обслуживание оборудования осуществляется Поставщиком
в период гарантийного срока с выездом на место установки оборудования в
течение не более 30 (тридцати) календарных дней с момента поступления
соответствующей заявки от Заказчика.
Поставщик гарантирует, что при поставке товара не будут нарушены права
третьих лиц на результаты интеллектуальной собственности.
Оборудование должно быть поставлено комплектно и обеспечивать
конструктивную и функциональную совместимость.
Поставляемое оборудование должно быть новым, то есть не бывшим в
эксплуатации, не восстановленным, не выставочным и опытным образцом, без
дефектов материала и изготовления, не модифицированным, не
переделанными, не поврежденным, без каких-либо ограничений (залог, запрет,
арест и т.п.) к свободному обращению на территории Российской Федерации,
иметь в установленных законодательством случаях сертификат соответствия
11
или иной документ, подтверждающий качество товара, и соответствовать
требованиям, изложенным Заказчиком.
Обучение
Обучение (инструктаж) специалистов работе на оборудовании
осуществлять на территории Заказчика. Обучение (инструктаж) специалистов
работе на оборудовании по программе и в сроки согласованные с Заказчиком
при заключении договора, с последующей выдачей подтверждающий
документов (протокол, сертификат, свидетельство, либо иные документы).
Стоимость обучения должна входить в общую стоимость оборудования.
Пуско-наладочные работы
Поставщик выполняет шефмонтаж, пуско-наладочные работы, проверку
работоспособности, демонстрирует работу оборудования.
Поставщик на момент подписания договора предоставляет заказчику перечень
всех технических требований (мероприятий), выполнение которых необходимо
для проведения установки оборудования, перечень пуско-наладочных работ и
квалификационные требования к обучаемому и обслуживающему персоналу.
Названные перечни включаются в состав соответствующего договора в
качестве приложений. Работы выполняются поставщиком с использованием
собственного инструмента.
Акт о запуске оборудования в эксплуатацию подписывается после
изготовления специалистами Поставщика тестовых деталей по чертежам и
техническому заданию Заказчика (которые согласовываются при подписании
договора) и приемки их представителями ОТК Заказчика.
Стоимость всех проводимых Поставщиком работ должна быть включена
в общую стоимость оборудования.
12