Оценка квалификаций метрологов на основе профессиональных стандартов: практика сопряжения Ю.М. Токунов, Метрологический центр РОСНАНО Страница 1 1 Профессиональный стандарт Метрологическое обеспечение разработки, производства и испытаний нанотехнологической продукции Профессиональный стандарт предназначен для: • проведения оценки квалификации и сертификации работников, а также выпускников учреждений профессионального образования; • формирования государственных образовательных стандартов и программ всех уровней профессионального образования, в том числе обучения персонала на предприятиях, а также для разработки учебно-методических материалов к этим программам; • решения широкого круга задач в области управления персоналом (разработки стандартов предприятия, систем мотивации и стимулирования персонала, должностных инструкций; тарификации должностей; отбора, подбора и аттестации персонала, планирования карьеры); • проведения процедур стандартизации и унификации в рамках вида (видов) экономической деятельности (установление и поддержание единых требований к содержанию и качеству профессиональной деятельности, согласование наименований должностей, упорядочивание видов трудовой деятельности и пр.). 2 Обобщенные трудовые функции профессионального стандарта А. Метрологическое обеспечение разработки, производства и испытаний выпускаемой предприятием продукции В. Развитие методов и средств метрологического обеспечения производства С. Контроль соблюдения на предприятии метрологических требований, правил и норм, организация учета средств измерений, контроля и испытаний, стандартных образцов и методик измерений, контроля и испытаний, подготовка отчетных документов по вопросам метрологического обеспечения D. Руководство и контроль деятельности инженеров-метрологов низших категорий, поверителей средств измерений, специалистов, выполняющих измерения параметров продукции, выпускаемой предприятием 3 Контрольно-измерительные материалы ЗАДАНИЕ № ПЗ-А2-1 количество вариантов 5 Типовое задание: Подготовка проекта методики измерений, включая проект заключения (экспертизы) об аттестации методики измерений); Вариант задания № 1. • Разработать методику измерений параметров гетероструктур с помощью просвечивающего электронного микроскопа. Вариант задания № 2. • Разработать методику измерений параметров гетероструктур с помощью растрового электронного микроскопа. Вариант задания № 3. • Разработать методику измерений параметров шероховатости кремниевых пластин с помощью атомно-силового микроскопа. Вариант задания № 4. • Разработать методику измерений толщин гетероструктур с помощью рентгеновского дифрактометра. Вариант задания № 5. • Разработать методику измерений среднего диаметра нанообъектов с помощью анализатора размера частиц (динамического рассеяния света). 4 Контрольно-измерительные материалы ЗАДАНИЕ № ПЗ-А3-1 количество вариантов 5 Типовое задание: Метрологическая экспертиза конструкторской и технологической документации. Вариант задания № 1. • Метрологическая экспертиза конструкторской и технологической документации компании наноиндустрии №1. Вариант задания № 2. • Метрологическая экспертиза конструкторской и технологической документации компании наноиндустрии №2. Вариант задания № 3. • Метрологическая экспертиза конструкторской и технологической документации. компании наноиндустрии №3. Вариант задания № 4. • Метрологическая экспертиза конструкторской и технологической документации компании наноиндустрии №4. Вариант задания № 5. • Метрологическая экспертиза конструкторской и технологической документации. компании наноиндустрии №5. 5 Пилотная оценка и сертификация квалификаций в области метрологии для предприятий наноиндустрии • Отбор и подготовка экспертов по оценке и сертификации квалификаций: критерии компетентности эксперта по оценке и сертификации квалификаций в области метрологии для предприятиий наноиндустрии • Сертификационная комиссия: 10 экспертов: ФГУП ВНИИОФИ, ОАО НИЦПВ, МЦ РОСНАНО • Экзаменационная комиссия: 20 экспертов: ФГУП ВНИИОФИ, ОАО НИЦПВ, МЦ РОСНАНО, МФТИ, МГУ, МИСиС, МИЭТ 6 Пилотная оценка и сертификация квалификаций в области метрологии для предприятий наноиндустрии • Отбор группы специалистов для проведения процедуры пилотной сертификации: - портфельные компании ОАО «РОСНАНО» - метрологические научно-исследовательские институты Росстандарта - высшие учебные заведения • Проведение процедуры пилотной сертификации: - очная сертификация - дистанционная сертификация - круглый стол - подведение итогов 7 Список моделируемых средств измерений 1. Анализатор Zetasizer Nano ZS (Malvern) (лазерная корреляционная спектроскопия) 2. Акустический и электроакустический анализатор DT-1202 3. Анализатор для определения размеров и концентраций частиц, взвешенных в газовой среде типа SMPS 3936 4. Анализатор удельной поверхности и размеров пор Autosorb-iQ-C, 5. Порошковый рентгеновский дифрактометр ARL X'TRA 6. Эллипсометр SenTech 8 Список моделируемых средств измерений 7. Сканирующий зондовый микроскоп Ntegra 8. Растровый электронный микроскоп JSM-7001 9. Просвечивающий электронный микроскоп JEM-2100 10. Система измерения микромеханических свойств NANOTEST 600 11. Прибор для синхронного термического анализа типа NETZSCH STA409 12. Спектрофотометрический комплекс типа Ocean Optics (спектрометр HR4000, калибровочные источники, интегрирующие сферы, косинусный корректор). 9 Средства измерений 10 1. Анализатор наночастиц в жидкостях (Malvern Instruments Ltd., Великобритания) Назначение Определение размеров, дзета-потенциала и молекулярной массы частиц, диспергированных в жидкости Объекты Коллоидные и полимерные дисперсии, латексы, мицеллы, микроэмульсии, золи, гели, Вирусы, бактерии, белки, липосомы. Модель Zetasizer Nano ZS Пигменты, красители, порошки, флюиды, буровые растворы Дисперсные загрязнения Диапазоны измерений Диапазон измерения размеров Диапазон измерения дзета-потенциала Диапазон измерения молекулярной массы от 0,3 до 10000 нм -200 до +200 мВ от 10 до 2∙107 Дальтон 11 2. Акустический анализатор дисперсий (в т.ч. непрозрачных) Назначение Определение размеров частиц, дзета-потенциала , проводимости, объемной вязкости Объекты Диспергированные жидкие смеси, коллоидные системы и суспензии, безводные дисперсии Диапазон измерения размеров От 5 нм до 1 мм 12 3. Анализатор наночастиц в аэрозолях (TSI Inc., США) Назначение Определение размеров и и концентрации наночастиц, взвешенных в газовой среде (например, в воздухе). Объекты Продукты синтеза в нанотехнологиях Качество воздуха в помещении Продукты процессов горения (например, выхлопы двигателей) Оценка эффективности фильтров Модель SMPS 3936 Среды при ингаляционных исследованиях (например, в токсикологии) Диапазон измерения размеров Диапазон измерения концентрации от 2,5 до 1000 нм от 1 до 105 см-3 13 1. Анализатор удельной поверхности и размеров пор (Quantachrome, США) Назначение Определение удельной площади поверхности, удельного объема и геометрических параметров пор дисперсных и пористых материалов. Определение адсорбционной емкости химически активных веществ и катализаторов, температуры и тепловых эффектов химических реакций в Модель Autosorb iQ-C Диапазоны измерений Объем адсорбата, приведенный к нормальным условиям, см3/г газовой фазе. Относительное давление, Р/Ро Удельной поверхности Размеров пор Удельного объема пор от 0,02 до 2000 м2/г от 0,5 до 500 нм от 10-4 до 10 см3/г 5. Рентгеновский дифрактометр (Thermo Fisher Scientific, Швейцария) Назначение Определение фазового состава поликристаллических материалов Определение среднего размера кристаллитов Определение межплоскостных расстояний в кристаллических решетках Измерения толщин тонких плёнок и гетероструктур Объекты Компактные материалы (металлы, сплавы, керамики, полимеры, композиты) Порошковые и пористые материалы Покрытия и пленки Модель ARL X’TRA Диапазоны измерений Размеры кристаллитов Межплоскостные расстояния в кристаллитах от 2 до 200 нм от 0,08 до 10 нм 15 6. Сканирующий зондовый микроскоп (NT-MDT, Россия) Назначение Исследования топографии поверхности наноматериалов Определение линейных размеров элементов рельефа поверхности Локальное исследование механических, электрических, спектральных и магнитных свойств наноматериалов Измерения параметров в жидкости и при повышенных температурах Модель NTEGRA Prima Нано-фрагменты АПДДР в битуме производства ООО «Уником» Диапазоны измерений Параметры шероховатости поверхности Линейные размеры топологии поверхности от 0,1 до 1000 нм от 0,1 до 1000 нм Модель NTEGRA Aura 16 7. Растровый электронный микроскоп (Jeol, Япония) Назначение Измерение размеров элементов структуры материалов (компактные, покрытия, порошки и др.) Определение толщин пленок и покрытий Определение параметров пористости материалов Модель JSM-7001F • Разрешение до 1,2 нм • Ускоряющие напряжение от 100 В до 30 кВ • Увеличение до 250 000 Диапазон измерений линейных размеров объектов от 1,2 нм до 200 мкм Волокна бумагоподобного материала 17 8. Просвечивающий электронный микроскоп (JEOL, Япония) Назначение Определение размерных параметров наноструктур и нанообъектов (наночастиц, нанотрубок и др.) Определение фазового состава материалов по картинам высокого разрешения и дифракции электронов Определение толщин слоев гетероструктур Высокое разрешение до 0,19 нм Увеличение до 1,2 млн Светлопольный и темнопольный режим Анализ картин дифракции электронов Сканирующий режим Модель JEM-2100 Диапазон измерений линейных размеров объектов Диапазон измерений межплоскостных расстояний в кристаллитах от 0,194 нм до 1 мкм от 0,194 до 10 нм Нанотрубки Наночастицы Al2O3 Благодарю за внимание! Общество с ограниченной ответственностью «Метрологический центр РОСНАНО» 117036, Москва, Проспект 60-летия Октября, д. 10А. Тел.: +7 495 988 53 88; +7 495 988 56 59 Факс: +7 495 988 56 60 www.rusnano-mc.com [email protected]