технологии тонких пленок

ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
П.А.Цыганков
МГТУ им. Н.Э.Баумана
В.В.Крикотин
«Экструзионные машины»
М.А.Попов
«Экструзионные машины»
ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
ТОНКИЕ ПЛЁНКИ. КАК ВСЁ НАЧИНАЛОСЬ
Кэтрин Блоджетт
Ирвинг Ленгмюр
Нанесение мономолекулярных слоев из
раствора – метод Ленгмюра-Блоджетт
«Просветление» оптики – снижение R
Промышленная технология и Массовый продукт
ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
ОПТИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
5%
1.7%
«Мокрые» технологии
0.2%
Термо-вакуумные способы
нанесения тонких пленок
НЕПРОСВЕТЛЕННАЯ
ОДНОСЛОЙНОЕ
ПРОСВЕТЛЕНИЕ
МНОГОСЛОЙНОЕ
ПРОСВЕТЛЕНИЕ
Интерференционные
фильтры
Ричард Фейнман
“There's Plenty of room
at the Bottom”
ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
РАСПЫЛЕНИЕ. ИОННО-ЛУЧЕВОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
Энергия ионов ~ 1keV
Плотность тока > 1 mА/cm2
ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
Мишень – катод разряда!
ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
СТРУКТУРА ТОНКОЙ ПЛЁНКИ
ПЛЕНКА
ПОДЛОЖКА
Термическое испарение
Магнетронное напыление
Ионно-лучевое распыление
Мовчан-Демчишин, 1969
Структурно-зонная модель
Ea/Es
ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
ТЕНДЕНЦИЯ
«Утонение»
GMR
ПЛЕНКА
ПОДЛОЖКА
НАНЕСЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК НА БОЛЬШИЕ ПЛОЩАДИ:
 ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬ
 РАВНОМЕРНОСТЬ
ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
ТЕНДЕНЦИЯ
«Утолщение»
ПЛЕНКА
ПОДЛОЖКА
НАНОСТРУКТУРА
ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
СОВРЕМЕННЫЕ УПРОЧНЯЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ
Эффект Холла-Петча
(Hall-Petch) HV~d-0,5
ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
ТЕМПЕРАТУРОПРОВОДНОСТЬ ПОКРЫТИЙ
Термобарьер – Thermal Barrier Coatings
Термо-интерфейс – Thermal Interface Coatings
-gradT
Me
1700 0C
Д
Me
Д
k= ke+kph
ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
ВЫСОКОЭНТАЛЬПИЙНЫЕ СИСТЕМЫ. СОЗДАНИЕ НЕРАЗЪЕМНЫХ СОЕДИНЕНИЙ
СВАРКА:
МЕТАЛЛ,
КЕРАМИКА,
УГЛЕРОДНЫЕ КОМПОЗИТЫ
МНОГОСЛОЙНЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ: ПРОИЗВОДСТВО И ПРИМЕНЕНИЕ
ВЫСОКОПРОИЗВОДИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ ДЛЯ ПЕРЕНОСА МАТЕРИАЛА В ВАКУУМЕ
НАНЕСЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК:
 ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬ
 РАВНОМЕРНОСТЬ
ВАКУУМНО-ДУГОВЫЕ ИСПАРИТЕЛИ
МАГНЕТРОННЫЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ
ИМПУЛЬСНЫЕ МАГНЕТРОНЫ
МАГНЕТРОНЫ С
НЕЭКВИПОТЕНЦИАЛЬНЫМ
КАТОДОМ
ВАКУУМНО-ПЛАЗМАТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
КРИТИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ, которая может обеспечить качественный
скачок в различных отраслях промышленности и способствовать
появлению на рынке новых массовых продуктов
КОНСОЛИДАЦИОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ – для развития которой
необходимо сотрудничество специалистов разных направлений – от
физики плазмы до материаловедения. Наукоемкая, дорогостоящая…
СПАСИБО ЗА ВНИМАНИЕ