ИНСТИТУТ ПРИКЛАДНЫХ ФИЗИЧЕСКИХ ПРОБЛЕМ ИМ. А.Н. СЕВЧЕНКО БГУ, ЛАБОРАТОРИЯ ЭЛИОНИКИ ELECTROPHYSICAL COMPLEX ON BASIS OF THE ELECTROSTATIC ACCELERATOR ESA-2 FOR FUNDAMENTAL AND APPLIED INVESTIGATIONS Lagutin A.E., Boyko E.B., Kamyshan A.S., Komarov F.F. Institute of Applied Physics Problems, Belarussian State University, Minsk, Belarus e-mail: [email protected] 1 ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЕ УСКОРИТЕЛИ ИОНОВ ИНСТИТУТ ПРИКЛАДНЫХ ФИЗИЧЕСКИХ ПРОБЛЕМ ИМ. А.Н. СЕВЧЕНКО БГУ, ЛАБОРАТОРИЯ ЭЛИОНИКИ 2 УСКОРИТЕЛЬ ЭСУ-2 диапазон энергий, кэВ ускоряемые ионы стабильность энергии ток на мишени 180 ÷ 1000 от Н+ до Ar+ ± 0,1 % до 40 мкА УСКОРИТЕЛЬ HVEE AN-2500 диапазон энергий, кэВ ускоряемые ионы стабильность энергии ток на мишени 1000÷2500 Н+ , Не+ ± 0,01 % до 200 мкА Имплантационный модуль ИНСТИТУТ ПРИКЛАДНЫХ ФИЗИЧЕСКИХ ПРОБЛЕМ ИМ. А.Н. СЕВЧЕНКО БГУ, ЛАБОРАТОРИЯ ЭЛИОНИКИ 3 Параметры имплантера: 1) тип имплантируемых ионов. . . . . . . . . . . . . . . . H+, H2+, N+, N2+, Ar+; 2) энергия имплантируемых ионов. . . . . . . . . . . . H+, H2+ (200 1000) кэВ, N+, N2+ (200 1000) кэВ, Ar+ (200 800) кэВ; 3) немонохроматичность ионного пучка. . . . . . . . 0,5 %; 4) полный ток на мишени . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . до 40 мкА; 5) минимальный диаметр пятна на мишени. . . . . 7 мм; 6) диаметр обрабатываемых пластин. . . . . . . . . . . до 100 мм; 7) тип развертки ионного пучка. . . . . . . . . . . . . . . . электростатический; 8) вакуум в мишенной камере. . . . . . . . . . . . . . . . . не более 7105 Па; 9) диапазон температуры мишени. . . . . . . . . . . . . (25 500)° С. Ионно-лучевая модификация материалов ИНСТИТУТ ПРИКЛАДНЫХ ФИЗИЧЕСКИХ ПРОБЛЕМ ИМ. А.Н. СЕВЧЕНКО БГУ, ЛАБОРАТОРИЯ ЭЛИОНИКИ 4 Формирование скрытых высокоомных термостабильных кремнии субстехиометрической имплантацией азота слоев в Первая (“горячая”) имплантация Условия: t= 400 C, энергия N2+ 400, 280, 200 кэВ, дозы 6,5·1016, 3,3·1016 и 3,1·1016 ион/см2, соответственно. Концентрация азота в скрытом слое составляет в среднем 11÷14 %. Вторая (“холодная”) имплантация Условия: энергия – 400 и 200 кэВ, доза – 0,65·1016 и 0,31·1016 ион/см2 , соответственно. Постимплантационный отжиг t= 900 ÷ 950° C в азоте в течение 30 мин. Получено: - среднее значение удельного сопротивления 1,1·106 Ом·см. - толщина скрытого слоя - около 300 нм; - толщина приповерхностного рабочего слоя - около 160 нм. Энергетические спектры РОР ионов He+ с энергией 1,5 МэВ кристалла Si, после имплантации ионов N2+ : 1 – осевой <100> спектр; имплантация в исходный Si: 270 кэВ; 5·1015 ион/см2, при t = 25° C; 2 - осевой <100> спектр; 230 кэВ, 5·1016 ион/см2 при 400° C + 270 кэВ, 5·1015 ион/ см2 при t = 25° C (- - -) – осевой <100> для исходного Si; (−) – случайный спектр. Ионно-лучевая модификация материалов Пленки полиметилметакрилата [C5H8O2]n Условия: N2+ c энергией 300 кэВ и дозами 1012 ÷1015 ион/см2 0,80 0,60 1,8 0,40 0,20 0,00 1E+12 1E+13 1E+14 Доза, ион/ 1E+15 см2 Дозовые зависимости изменения толщины Δ d/d пленок ПММА К-нт преломления Отн. изменение толщины ИНСТИТУТ ПРИКЛАДНЫХ ФИЗИЧЕСКИХ ПРОБЛЕМ ИМ. А.Н. СЕВЧЕНКО БГУ, ЛАБОРАТОРИЯ ЭЛИОНИКИ 5 Изменение оптических характеристик органических материалов 1,7 1,6 1,5 1,4 1E+12 1E+13 1E+14 1E+15 Доза, ион/ см2 Дозовые зависимости изменения коэффициента преломления пленок ПММА Ионно-лучевая модификация материалов Режимы имплантации, при комнатной температуре Энергия ионов + H , кэВ Доза, ион/см 2 50 130 220 300 400 4,2·1013 5,3·1013 6,2·1013 8,0·1013 1·1014 20 10 -3 Концентрация вакансий (см ) ИНСТИТУТ ПРИКЛАДНЫХ ФИЗИЧЕСКИХ ПРОБЛЕМ ИМ. А.Н. СЕВЧЕНКО БГУ, ЛАБОРАТОРИЯ ЭЛИОНИКИ 6 Создание вертикальной изоляции в арсениде галлия 19 10 18 10 1 2 3 5 4 17 10 0 1 2 3 4 Глубина (мкм) Зависимость удельного сопротивления облученного эпитаксиального слоя GaAs c начальным сопротивлением 0,55 Ом∙см от температуры Удельное сопротивление изоляции 3∙108 Ом∙см Аналитический модуль РОР с ЭСА ИНСТИТУТ ПРИКЛАДНЫХ ФИЗИЧЕСКИХ ПРОБЛЕМ ИМ. А.Н. СЕВЧЕНКО БГУ, ЛАБОРАТОРИЯ ЭЛИОНИКИ 7 Электростатический анализатор энергии Параметры ЭСА: АНАЛИТИЧЕСКИЙ МОДУЛЬ РЕЗЕРФОРДОВСКОГО ОБРАТНОГО РАССЕЯНИЯ ИОНОВ 1. Угол поворота ионного пучка Ф е = 900 2. Радиус кривизны r0 = 30 cм, r2 – r1 = 0,8 cм 3. Телесный угол, стягиваемый детектором ΔΩ = 1,3·10-4 ср 4. Потенциал на электродах ЭСА от ± 45 до ± 7500 В 5. Диапазон анализируемых энергий от 40 до 281 кэВ 6. Энергетическое разрешение 1 % 1,0 0,8 1 0,6 0,4 2 0,2 0,0 780 800 820 840 860 Номер канала Энергетический спектр обратно рассеянных протонов с энергией 240 кэВ пленкой золота (1) и производная dN/dE высокоэнергетической границы спектра (2) Нормированный выход ИНСТИТУТ ПРИКЛАДНЫХ ФИЗИЧЕСКИХ ПРОБЛЕМ ИМ. А.Н. СЕВЧЕНКО БГУ, ЛАБОРАТОРИЯ ЭЛИОНИКИ 8 Нормированный выход Электростатический анализатор энергии 1,2 0,9 1 0,6 2 0,3 0,0 720 760 800 840 Номер канала Энергетический спектр обратно рассеянных протонов с энергией 240 кэВ пленкой хрома (1) и производная dN/dE высокоэнергетической границы спектра (2) Применение спектрометра РОР с ЭСА Условия: анализирующий пучок – Н+; Образец: Si, имплантация As с энергия пучка - 210 ÷ 240 кэВ; энергией 32 кэВ, доза 1015 ион/см2, отжиг t = 1050° C в течение 10 с. угол регистрации протонов – 164°; вакуум в камере – 10-4 Па. O Si 300 200 х10 As 100 Выход отсчетов 8000 400 Выход отсчетов ИНСТИТУТ ПРИКЛАДНЫХ ФИЗИЧЕСКИХ ПРОБЛЕМ ИМ. А.Н. СЕВЧЕНКО БГУ, ЛАБОРАТОРИЯ ЭЛИОНИКИ 9 Исследование процессов сегрегации ионно-имплантированной примеси на границе раздела кремний – оксид кремния 6000 Si 4000 x30 As O 2000 0 0 600 640 680 720 Номер канала + Спектр РОР с ЭСА Н с энергией 214 кэВ 60 80 100 120 140 160 180 200 220 Номер канала Осевой (○) и “случайный” (■) спектр РОР ионов Не+ с энергией 1 МэВ Применение спектрометра РОР с ЭСА 0,7 Концентрация, % ИНСТИТУТ ПРИКЛАДНЫХ ФИЗИЧЕСКИХ ПРОБЛЕМ ИМ. А.Н. СЕВЧЕНКО БГУ, ЛАБОРАТОРИЯ ЭЛИОНИКИ 10 0,8 0,6 0,5 0,4 0,3 0,2 Послойный состав структуры 0,1 0,0 0 10 20 30 40 50 60 Глубина, нм Расчетный профиль распределения мышьяка по глубине 70 ат./cм2 Si, % As, % O, % 4,5·1016 33,3 0 66,7 1,0·1016 97,5 2,5 0 2,0·1017 99,65 0,35 0 1,0·1017 99,85 0,15 0 ∞ 100 0 0 Применение спектрометра РОР с ЭСА Ширина энергетического распределения ионов ΔЕфакт.определяется: ΔЕфакт.= (ΔЕ2изм.- ΔЕ2кал.)1/2 Измеренные параметры ионного пучка Еуск.,кэВ Еизм., кэВ ∆Е, кэВ 100 75,5 2,42 120 92,5 4,27 130 115,0 5,06 150 133,0 2,53 200 200,0 3,65 240 222,0 3,38 Нормированный выход ИНСТИТУТ ПРИКЛАДНЫХ ФИЗИЧЕСКИХ ПРОБЛЕМ ИМ. А.Н. СЕВЧЕНКО БГУ, ЛАБОРАТОРИЯ ЭЛИОНИКИ 11 Измерение энергетических распределений ионов в пучке нейтронного генератора НГ-12 ГНУ «ОИЭЯИ-Сосны» 1,0 0,8 2 1 0,6 0,4 0,2 0,0 730 740 750 760 770 780 Номер канала Энергетический спектр рассеянных ионов атомарного водорода с энергией 222 кэВ никелевой мишенью (1) и производная от края спектра (2) Применение спектрометра РОР с ЭСА полированный шлифованный ( 1 мкм) шлифованный ( 4 мкм) Нормированный выход ИНСТИТУТ ПРИКЛАДНЫХ ФИЗИЧЕСКИХ ПРОБЛЕМ ИМ. А.Н. СЕВЧЕНКО БГУ, ЛАБОРАТОРИЯ ЭЛИОНИКИ 12 Контроль качества поверхности Si с различной степенью шероховатости 1,0 0,8 0,6 0,4 0,2 0,0 -6 -4 -2 0 2 4 6 Энергетическое разрешение, кэв Энергетические спектры РОР поверхности кремния с различной степенью шероховатости Экспериментальная установка ИНСТИТУТ ПРИКЛАДНЫХ ФИЗИЧЕСКИХ ПРОБЛЕМ ИМ. А.Н. СЕВЧЕНКО БГУ, ЛАБОРАТОРИЯ ЭЛИОНИКИ 13 Параметры установки: 1) Измеренная угловая расходимость зондирующего пучка ± 210-2 град. при немонохроматичности менее 0,1 %; УСТАНОВКА ДЛЯ ИЗУЧЕНИЯ ПРОЦЕССОВ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ С ТВЕРДЫМ ТЕЛОМ 2)скорость сканирования угловых распределений не превышает 2,510-3 град./с; 3)диапазон сканирования 0 ÷ 7,0 град.; 4) полное измеренное энергетическое разрешение системы регистрации 19 кэВ. Взаимодействие протонов с кремнием ИНСТИТУТ ПРИКЛАДНЫХ ФИЗИЧЕСКИХ ПРОБЛЕМ ИМ. А.Н. СЕВЧЕНКО БГУ, ЛАБОРАТОРИЯ ЭЛИОНИКИ 14 Угловые распределения энергетических потерь протонов в <111> кристалле Si толщиной 1,3 (а) и 2 мкм (б). Угол между кристаллографической осью и пучком 0°. 15 6 , 0 4 , 0 2 , 0 0 , 1,0 1 2 0,8 полированный шлифованный (1 мкм) 0,6 0,4 0,2 0,0 0,0 0,4 0,8 1,2 1,6 2,0 2,4 2,8 Угол сканирования, град. Нормированный выход 8 , 0 .е ,тн д о х ы В ИНСТИТУТ ПРИКЛАДНЫХ ФИЗИЧЕСКИХ ПРОБЛЕМ ИМ. А.Н. СЕВЧЕНКО БГУ, ЛАБОРАТОРИЯ ЭЛИОНИКИ ,0 0 , 1 Нормированный выход Взаимодействие протонов с кремнием 1,0 0,8 0,6 0,4 0,2 0,0 240 280 320 360 400 Энергия, кэВ Угловые распределения отраженных поверхностью кремния протонов с энергией 380 кэВ при углах падения 0,3º (1) и 0,5º (2) Энергетические спектры отраженных поверхностью (111) кремния протонов с энергией 380 кэВ при угле влета относительно поверхности 0,5° и угле регистрации 1° ИНСТИТУТ ПРИКЛАДНЫХ ФИЗИЧЕСКИХ ПРОБЛЕМ ИМ. А.Н. СЕВЧЕНКО БГУ, ЛАБОРАТОРИЯ ЭЛИОНИКИ 16 Нормированный выход Прохождение протонов через капилляры 1,0 0,8 0,6 0,4 0,2 0,0 -0,06 -0,03 0,00 0,03 0,06 Угол сканирования, град. Угловые распределения протонов с энергией 240 кэВ при прохождении стеклянного капилляра длиной 60 мм и диаметром 0,5 мм Выводы ИНСТИТУТ ПРИКЛАДНЫХ ФИЗИЧЕСКИХ ПРОБЛЕМ ИМ. А.Н. СЕВЧЕНКО БГУ, ЛАБОРАТОРИЯ ЭЛИОНИКИ 17 - создан спектрометр РОР с энергетическим разрешением 1 % за счет использования разработанного электростатического анализатора энергии для измерения профилей концентрации мелкозалегающей примеси; - разработана установка для исследования процессов взаимодействия заряженных частиц с твердым телом; - разработан высокоэнергетический имплантационный модуль для ионнолучевой модификации приповерхностных слоев твердотельных материалов. На основе созданного исследовательско-имплантационного комплекса экспериментально изучены: – процессы сегрегации имплантированной примеси на границе раздела кремний-оксид кремния, происходящие в результате быстрого термического отжига; – процессы формирования скрытых высокоомных термостабильных слоев в кремнии, вертикальной изоляции в арсениде галлия, модификации оптических характеристик диэлектрических материалов; - процессы взаимодействия ускоренных ионов водорода с монокристаллами кремния в режимах движения на просвет и отражение при углах падения ионов на поверхность мишени близких к углу Линдхарда (до 2÷3 ΨL).