Презентация насосов серии GV-Drystar и технологии безмаслянной откачки Принцип работы Безконтактный когтевой механизм Самоизолирующий принцип Эффективный коэффициент сжатия Полное отсутствие масла в объеме Регулируемая температура корпуса • Лучшие условия для откачки паров Надежный и простой механизм • Устойчив к транспортированию пыли Газобалластное устройство большой емкости • • Предотвращение конденсации Безопасная откачка опасных сред ИДЕАЛЬНЫЙ МЕХАНИЗМ ВАКУУМНОГО НАСОСА Принцип работы Механизм с когтевым захватом • • Эффективное сжатие потока Простой, компактный механизм 3х ступенчатый механизм Запатентованный механизм обращенной формы ротора • • • 2ая ступень насоса имеет обратную остальным ступеням форму Более короткий газовый тракт Максимальная скорость газового потока, малое время цикла Когтевой механизм в действии Впуск газа Впуск газа Конец стадии впуска газа Впуск и выпуск насоса изолированы Стадия сжатия Выпуск газа Разрез когтевого насоса с дополнительной ступенью Рутса Газовый тракт BOC Edwards запатентовано Откачные агрегаты с насосами Рутса Механические бустеры Усиление откачки: глубина откачки/скорость откачки Привод с гидрокинетической муфтой • • Меньшее энергопотребление, Отсутствие байпассных линий и реле давлений * - некоторые ограничения при продолжительной работе на давлениях выше 100 Torr Механические бустеры серии EH • Диапазон производительности 250-4200 м3/ч • Запатентованный гидрокинетический привод • Версии привода вращения с углеводородным либо фторсодержащим маслом • Давление запуска - атмосфера • Уникальное уплотнение вала вращения Схема – разрез насоса Рутса Газовый поток Впуск Выпуск Сопрягающиеся ротора СТАДИИ РАБОТЫ НАСОСА РУТСА впуск 2 1 3 1 6 выпуск 5 4 Обратный поток в области низкого вакуума Стадия сжатия Обратный поток Преимущества запатентованной технологии Гидро-привод Преимущества запатентованной технологии Параметры насосов Рутса Насос Рутса не является компрессором, и предназначен для транспортирования больших объемов газа Насос Рутса работает при определенном перепаде давлений Для работы необходим форвакуумный насос Наиболее эффективная откачка в диапазоне давлений от 1 до 10-2 мбар Рабочий зазор 0.1-0.5 мм Скорость откачки от 150 до 30,000 м3ч-1 Особенности Технологии BOCE – использует только безмаслянные агрегаты откачки на основе когтевых насосов производительностью от 40 м3/ч до 600 м3/ч. Бесконтактный износоустойчивый механизм Короткий газовый тракт – без необходимости установки межступенчатых газоохладителей Высокая компрессия потока позволяет эффективно транспортировать потоки с высоким содержанием пыли и частиц Преимущества «сухих» насосов Высокая производительность Стабильность процесса откачки Высокий предельный вакуум БЕЗМАСЛЯННЫЙ ВАКУУМ – ЧИСТЫЙ ПРОЦЕСС КРИВЫЕ ОТКАЧКИ Vacuum Pump Comparison 1000 900 800 Capacity M3/hr 700 600 EH500 + GV160 500 MB400 + KTC112 EH1200 + GV160 400 300 200 100 0 0.00001 0.0001 0.001 0.01 0.1 Pressure mbara 1 10 100 1000 Достоинства предлагаемой системы ЭКОНОМИЧНОСТЬ: Отсутствует масло: отсутствует масляный фильтр, нет необходимости в утилизации отработанной жидкости, нет необходимости в фильтрах масляного тумана Увеличивается производительность производства Простое обслуживание: не требует замены масла, не требует смены масляного фильтра, периодичность кап.ремонта 6 лет, нет протечек масла, нет потерь вакуума. Простое обслуживание пылевых фильтров: сетчатые очищаемые экраны Сокращение времени откачки: требуется меньшее количество операций по чистке вакуумной магистрали (допускаемая зернистость пыли <50 микрон) меньшее газовыделение Преимущества предлагаемой системы Улучшенное качество проведения технологического процесса: Значительно меньшие вибрации Высокое качество вакуума ( время откачки & стабильный уровень рабочего вакуума ): отсутствие углеводородов или двуокиси кремния в расплаве и рабочей камере. Повторяемость откачных характеристик от цикла к циклу Отсутствие масляных протечек Стабильность откачных характеристик от условий окружающей среды ( «сухие» насосы имеют высокую производительность по откачке паров ) Большая производительность по Аргону ( специально адаптированное рабочее тело насоса ) Мониторинг системы, Возможность сигнализации Технические параметры GV160 Тип уплотнения Безмаслянный Тип насоса GV160 Откачиваемая среда Ar с высоким содержанием SiО Производительность (м3/ч) 200 Давление на входе (A) 0.01мбар 0.001мбар ( с насосом Рутса) Температура на входе в насос (oC) 20 Давление на выходе (барA) 1.13 Потребляемая эл.энергия (кВт) 4.2 Установленная мощность (кВт) 7.5 Тип привода прямой Охлаждающая жидкость Вода Температура охл.воды (oC) 20 Расход охл.воды (л/мин) 25 (при установке термоклапана расход уменьшается) Измеренный уровень шума на расстоянии 1 м <79дБ’ Технические характеристики EH1200 Тип уплотнения Безмасляный Тип насоса Рекомендуемое масло Производительность (м3/ч) EH1200 на выбор 1000 Входное давление (A) 1013 до 0.001 мбар Температура на входе (oC) Выходное давление Потребляемая эл.энергия (кВт) 20 требует фор.насоса менее 3 (в зависимости уровня от вакуума) Установленная мощность (кВт) Тип привода Тип охлаждения Температура охл. воды (oC) Расход охлаждающей воды (л/мин) Измеренный уровень шума На расстоянии 1 м 3 гидрокинетическая муфта (не требуется доп. переключателей) Воздух ( Вода по требованию) 20 2 ( если есть) <77дБ Стоимость компонент системы Вакуумпровод деталировка: Drystar GV160+EH1200 = 36.400 ЕВРО Входная пылевая ловушка ITM 3000 (50 микронная сетка) = 3.022 ЕВРО Изолирующий клапан с ручным приводом QSB 160 =2.146 ЕВРО Фильтр-глушитель ITM 3000 = 3.022 ЕВРО ИТОГО = 44.590 ЕВРО Объем Поставки BOC Edwards GV160 Drystar/EH1200 откачная система, включая: • • • • • BOC Edwards Drystar GV160 вакуумный насос, включая: Электродвигатель WEG 7.5 kW 415/3/50. Встроенная система охлаждения, включая ручной термоклапан Danfoss с термостатом (TCV-1) Термо-сигнализация. EH 1200 насос Рутса, включая электродвигатель 3 kW 415/3/50 Входная пылеулавливающая ловушка ITM3000 (нерж.сталь). Изолирующий клапан QSB 160 Выходной фильтр-глушитель ITM3000 (нерж.сталь) – по требованию Обсуждение предагаемых вариантов Предлагаемые варианты вакуумных насосов были выбраны, из спектра наиболее используемых в данной области промышленности в странах Европы, США и Японии Выбор агрегата согласуется с требуемой производительностью и собственными параметрами насосов Предлагая комбинацию GV/EH безмаслянных насосов, компания считает данный тип оборудования наиболее подходящим для Вашего тех.процесса. При необходимости компания, также, может предложить агрегаты меньшей производительности. Обращаем Ваше внимание, что компания может поставить насосы с масляным уплотнением, если будет принято решение в их необходимости. Основные параметры предлагаемой системы Соответствие требованиям по вакууму и надежный механизм насоса По окончании каждого цикла требуется продувка насоса потоком аргона ( 20 л/мин в течении 10 мин. ) Достигаемый вакуум при рабочем потоке аргона (10 Torr / 30 slm Ar )*. * Не обеспечивается при эксплуатации золотниковых насосов Объем поставки, Киев ПИЛАР Вакуумная схема установки. Деталировка ( насос, входной фильтр, запорная арматура, коммуникации, выходной фильтр ) Соответствие, имеющимся требованиям (присоединительные фланцы, эл.питание) Деталировка выхлопной линии ловушка + очистка выхлопа ( Ar + SiO, не должны быть подключены к фильтрам масляного тумана) BOCE пусконаладка и гарантийное обслуживание Сравнения стоимости эксплуатации насосов Стоимость эксплуатации € 67 000 € 62 000 "сухие" насосы капиталовложения € 57 000 ПРМ насосы ЗМ насосы € 52 000 € 47 000 € 42 000 € 37 000 € 32 000 € 27 000 € 22 000 € 17 000 0 1 2 3 4 Год эксплуатации 5 6 7 Габаритные размеры предлагаемого оборудования GV 160 / EH 1200 комбинация Длина: 1213 мм Ширина: 550 мм Высота: 975 мм Вес нетто, (без масла): 500 кг замечание Размеры приведены для справки и подлежат уточнению при проектировании установки • Пусконаладочные работы и обучение Подробный инструктаж по обслуживанию насосов на месте Капитальный ремонт раз в 6 лет, согласно рекомендациям по эксплуатации УСЛОВИЯ ПОСТАВКИ Срок поставки - 10 недель Проектная документация по замене масляных насосов на «сухие» насосы (деталировка вакуумпроводов, сборочные чертежи, схемы подключения инженерных коммуникаций) 2 года гарантии РЕФЕРЕНЦИИ Полупроводниковое производство Bullen, США эксплуатирует данные насосы уже более 5ти лет. На откачке основной камеры используется комбинация насосов GV160-EH1200, и насосы GV160 для откачки шлюзовых камер. Данные насосы оборудованы системой продувки и шумоизолирующим корпусом, а также интегрированы с управляющей ЭВМ. В процессе эксплуатации установки насосы требовали минимум технического обслуживании и надежно зарекомендовали себя при работе во внештатных ситуациях. При имевших место прорывах входного фильтра чатицы SiO попадали в рабочую полость насоса. Когтевой механизм GV насоса позволяет транспортировать газовые потоки с высоким содержанием пыли и создает избыточное давление, достаточное для удаления твердых включений на выхлоп. СЕРВИС И ОБСЛУЖИВАНИЕ ПРЕДЛАГАЕМОГО ОБОРУДОВАНИЯ BOC EDWARDS обеспечит производства инженерами из местных представительств для запуска, обслуживания и ремонта оборудования. Каждое представительство имеет сервис центр с достаточным набор услуг и сервис-инженерами, прошедшими всестороннюю подготовку по обслуживанию оборудования BOC EDWARDS.