Проектирование генераторов в САПР Coventor MEMS+ Баранов И.Д., Тюнькин Д.К. Научные руководители: к.т.н., доцент Жук Д.М. к.т.н., доцент Маничев В.Б.. МГТУ им. Н.Э.Баумана, кафедра РК6, Москва, Россия Тактовый кварцевый генератор Кварцевый генератор — автогенератор электромагнитных колебаний с колебательной системой, в состав которой входит кварцевый резонатор. Микросхема генерации представляет собой специальную микросхему, которая при подключении к её входам кварцевого резонатора будет выдавать на остальных выводах частоту, делённую или умноженную на исходную. Тактовые кварцевые генераторы применяются в качестве задающих генераторов. Тактовые кварцевые генераторы Кварцевый резонатор Кварцевый резонатор — прибор, в котором пьезоэлектрический эффект и явление механического резонанса используются для построения высокодобротного резонансного элемента электронной схемы. На эквивалентной схеме: • C0 собственная ёмкость кристалла, образуемая кристаллодержателем и/или обкладками резонатора; • C1, L1 - эквивалентная ёмкость и индуктивность механической колебательной системы резонатора; • R1 - эквивалентное сопротивление потерь механической колебательной системы. Кварцевые резонаторы, обозначение и эквивалентная схема Технология МЭМС Микроэлектромеханические системы, МЭМС — устройства, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханические компоненты. Преимущества МЭМС сравнению с кварцом: Меньшие размеры; • Ударопрочность; • Виброустойчивость; • Высокая стабильность; • Меньшая стоимость. по • Рис.3. МЭМС-датчики и актюаторы: однокристальный акселерометр компании Analog Devices (а); увеличенное изображение подвижной части датчика (б); МЭМС (в); МЭМС микрозеркала (г). Технологический процесс МЭМС и кварцевого генератора Схема тех. процесса Примеры МЭМС резонаторов Зафиксированный резонатор балочного типа Нефиксированный резонатор балочного типа Coventor - проектирование и моделирование МЭМС устройств Проектирование в Coventor Пример модели дискового МЭМС резонатора в системе Coventor MEMS+ Выводы Генераторы выполненные на основе МЭМС резонаторов перспективнее кварцевых по ряду причин: - дешевизна, простота и скорость производства - ударопрочность, виброустойчивость, радиационная стойкость - малые габариты - отсутствие поверхностного монтажа - низкое энергопотребление БЛАГОДАРЮ ЗА ВНИМАНИЕ