Обсуждаются требования нормативных документов к выбору источников ионизирующих излучений при испытаниях ИЭТ на радиационную стойкость, требования к обеспечению дозиметрии и измерению характеристик ИЭТ. Показана реализация этих требований на примере испытательного центра ФГУП «НИИП» (г. Лыткарино). СОСТАВЛЯЮЩИЕ радиационных испытаний ИЭТ: - обеспечение воздействия ИИ в соответствии с требованиями ГОСТ; - обеспечение дозиметрии ИИ в соответствии с требованиями ГОСТ; - измерение характеристик ИЭТ в соответствии с требованиями ТЗ. ТРЕБОВАНИЯ ПО ОБЕСПЕЧЕНИЮ ИСПЫТАНИЙ Средства измерений на экспериментальных базах должны быть аттестованы в установленном порядке, а также обеспечивать получение при КАЖДОМ ИСПЫТАНИИ следующих данных: - интегральных потоков ИИ и экспозиционных доз ИИ с суммарной погрешностью не более ±20%; - максимальных мощностей экспозиционных доз и плотностей потоков энергии ИИ с суммарной погрешностью не более ±30%; - амплитудно-временных характеристик (форм и эффективных длительностей импульсов) с погрешностью не более ±30%. Согласно закону РФ «Об обеспечении единства измерений» в социально значимых, а также важнейших для государства сферах деятельности, таких, как обеспечение обороны страны, единство измерений обеспечивается осуществлением Государственного метрологического контроля и надзора (ГМКиН) за соблюдением установленных метрологических правил и норм. Отдел метрологии ионизирующих излучений ФГУП «НИИП» аккредитован по следующим видам деятельности: - поверка средств измерений (СИ); - аттестация методик выполнения измерений (МВИ) и метрологическая экспертиза документации; - радиационные измерения; - аттестация испытательного оборудования; - калибровка СИ. В отделе метрологии ионизирующих излучений разработан набор методик выполнения измерений, обеспечивающих определение основных характеристик полей ИИ РУ с требуемой точностью. Методики выполнения измерений Наименование, номер методики Определяемая величина, погрешность РУ, на которых используются методики 1 2 3 4 1 Методика определения флюенса нейтронов с энергией более 0,1 МэВ. М-159 1011 – 1015 нейтр.∙см-2 20% РУЯР Методика измерений экспозиционной дозы гамма-излучений с помощью детектора СГД-8. М-158 5∙103 – 2∙106 Р·см-2 15% ГУ-200, АГАТ-С, 3 Методика измерений максимальной мощности экспозиционной дозы гамма-излучения. М-160 2∙104 – 6∙108 Р·с-1 30% Импульсные РУЯР 4 Методика определения максимальной плотности потока нейтронов. М-161 1013 – 5∙108 нейтр.∙см-2·с-1 30% Импульсные РУЯР № п/п 2 «Исследователь» продолжение таблицы 1 2 3 4 5 Методика измерений экспозиционной дозы фотонного излучения НСИ АИСТ-5 с ТЛД ПСТ. М-162 1 – 5·105 Р 20% ГУ-200, РИУС-5, ЛИУ-10, УИН-10 6 Методика измерений максимальной мощности экспозиционной дозы. М-163 106 – 1013 Р·с-1 30% РИУС-5, ЛИУ-10 7 Методика выполнения измерений потока электронов, плотности потока электронов, флюенса электронов, потока энергии и флюенса энергии электронного излучения. М-173 2∙109 – 2∙1013 с-1 2∙108 – 6∙1012 с-1см-2 2∙1010 – 2∙1016 см-2 1,0 – 5,0 Вт 10-1 – 5∙10-1 Вт·см-2 100 – 5∙102 Дж·см-2 6-10% 8 Методика измерений экспозиционной дозы фотонного излучения НСИ АИСТ-5 с ТЛД-500К. М-170 10-2 – 10 Р 20% РИУС-5 Высшим звеном в метрологической цепи передачи размеров единиц физических величин являются эталоны. Эталон единицы - это СИ (или комплекс СИ), обеспечивающее воспроизведение и хранение единицы с целью передачи ее размера нижестоящим по поверочной схеме СИ, выполненное по особой спецификации и официально утвержденное в установленном порядке в качестве эталона. Создание, хранение, применение эталонов и контроль за их состоянием регламентируются требованиями действующих стандартов: ГОСТ 8.057.80 «ГСИ. Эталоны единиц физических величин. Основные положения» и ГОСТ 8.372-80 «ГСИ. Эталоны единиц физических величин. Порядок разработки, утверждения, регистрации, хранения и применения». Эталоны ФГУП «НИИП» № п/п 1 1 2 3 Наименование Разряд Воспроизводимые единицы, погрешность 2 3 4 5 Вторичн. Флюенс нейтронов от 109 до 1014 нейтр·см-2 Погрешность 6-20% Комплекс СИ I Дифференциальный спектр нейтронов в диапазоне энергий 0,5 эВ - 18 МэВ Погрешность 10-40% РУЯР БАРС-4 Вторичн. Активность 102-105 Бк Погрешность 4% Радиометр типа 20046 Эталон флюенса и плотности потока нейтронов ВЭТ-51-1-87 Моделирующее опорное поле нейтронов МОП-1 Радиометрическая установка ОСУ-П-2 Реализация Эталоны ФГУП «НИИП» (продолжение) 1 4 5 6 7 8 2 Радиометрическая установка КРОНА-П-04 Эталон ЭД и МЭД ВЭТ-8-13-92 Эталон ЭД и МЭД на РУ «Исследователь» Эталон экспозиционной дозы и её мощности на базе дозиметра 27012 Эталон экспозиционной дозы и её мощности на РУ «Гамма» 3 4 5 II Активность 102-106 Бк при энергиях 0,059 - 3,0 МэВ ППД типа EGPC20 II Доза 7,7·10-2- 5,1·102 Р Мощность дозы 5,8·10-3- 3,9·10-1 Р·с-1 РУ АГАТ-С I Мощность дозы 12,5 Р·с-1 Погрешность 3,5% РУ «Исследова тель» Мощность дозы 1 мР·ч-1 - 100 Р·с-1 Погрешность 3,5% Дозиметр типа 27012 I II Мощность дозы 1,9 - 172,2 мР·ч-1 Погрешность 4,8% РУ «Гамма» Эталоны ФГУП «НИИП» (окончание) 1 2 9 Эталон поглощённой дозы и её мощности на базе дозиметра М-2300 10 11 Эталон потока электронов на базе цилиндра Фарадея Эталон потока электронов, потока энергии и энергии электронного излучения на базе Комбинированного цилиндра Фарадея 3 4 5 I Доза 4·10-4 - 104 Гр, мощность дозы 2·10-4 – 200 Гр·мин-1 Дозиметр типа М-2300 I Поток электронов 2·104 - 2·1013 с-1 при энергиях 0,15 – 8,0 МэВ Цилиндр Фарадея ЦФ-2 I Поток электронов 2·109- 2·1013 с-1, поток энергии электронов 1,5 – 3 Вт, энергия электронов 4 – 8 МэВ, погрешность 6-10% Комбинированный цилиндр Фарадея КЦФ-1 Перечень спецфакторов «Кл - 7», обеспечиваемых моделирующими установками НИИП Факторы ЯВ и ЯЭУ Барс - 4 РИУС - 5, ЛИУ - 10, УИН - 10 7И1 = 1012 - 5.10 14 7И3 = 1016 -10 19 7И4 - по СЭС 7И5 - для тип. формы имп. №2 7И7 = 102 - 105 7С1 = 1012 7С3 - по СЭС 7И6 =107 -1012 (УИН - 10 по 7И7 до 105) 7И8 - 7И10 поСЭС 7И11 - тип. формам №1, (РИУС - 5) и №2 УИН - 10 Факторы КП ГУ - 200, АГАТ - С, ГАММАРИД-М 7И7 = 103 - 106 7С4 = 105 - 108 Электроника, Сириус - 3200, Калифорний 7К1 =104 - 6.107 7К3 - по СЭС 7К11 , 7К12 - по плотн. частиц и СЭС ТЗЧ И - 2 (ИТЭФ), И - 100 (ИФВЭ) 7К4 = 105 - 106 7К6 - по СЭС Обеспечение испытаний на всех моделирующих установках в рабочем диапазоне температуры окружающей среды (-60 - +125оС) Обеспечение испытаний на воздействия повышенной и пониженной температуры и механических нагрузок после воздействия ИИ. Тип моделирующей установки и место расположения образцов выбирают в зависимости от значений характеристик ИИ, указанных в ТЗ, стандартах и ТУ на изделия, исходя из необходимости обеспечения в местах размещения испытываемых ИЭТ максимального приближения амплитудно-временных и спектрально-энергетических характеристик излучений МУ к реальным условиям и неравномерности облучения по всей поверхности не более 30%. Характеристики гамма-установок на основе изотопа радионуклида кобальт-60 ФГУП «НИИП» 1.Изотопная облучательная установка на базе гамма-терапевтического аппарата АГАТ-С. Мощность экспозиционной дозы: (1,710-31,110-1) Р/с. Размеры аттестованного облучательного объёма (в пределах 3% по экспозиционной дозе) гамма-излучения в рабочих точках установки (ширина d, высота h) представлены в таблице: Точка 1 2 3 4 5 6 7 8 9 R, м 0,85 1,00 1,40 2,00 3,00 4,00 5,00 6,00 8,00 d x h, см2 9х10 12х13 16х20 24х28 34х38 46х50 60х66 72х80 80х90 Характеристики гамма-установок ФГУП «НИИП» (окончание) Изотопная облучательная установка на базе гамматерапевтического аппарата АГАТ-С аттестована в качестве вторичного эталона единиц экспозиционной дозы и мощности экспозиционной дозы, свидетельство № 763/08 выдано 05.06.08 ФГУП «ВНИИМ им.Д.И.Менделеева». 2.Изотопная кобальтовая установка ГУ-200 Мощность экспозиционной дозы: (1,1143) Р/с. Размеры аттестованного облучательного объёма: 441 м3. Изотопная кобальтовая установка ГУ-200 аттестована в качестве эталона 2 разряда мощности экспозиционной дозы, свидетельство № 2/11-09 выдано 29.05.2009 ФГУП «НИИП». 3. Изотопная кобальтовая установка «Гамма-Н» Мощность экспозиционной дозы: (0,162,8) Р/мин. Размеры аттестованного облучательного объёма: область однородного (в пределах 6 %) поля излучения на расстояниях 2 м и 3 м от крышки выходного окна имеет диаметр не менее 100 и 200 см, соответственно. К рекомбинации > 2 (10 кэВ/Со60) К усиления дозы = 1…40 К мощности дозы = 1…>20 К, рад (SiO2) / P 100 10 1 2 1 0,1 0,01 0,1 1 Е, МэВ Расчетная зависимость отношения плотности поглощенной энергии в чувствительном слое SiO2 КМОП ИС (корпус - ковар толщиной 100 мкм ), рад(SiO2), к экспозиционной дозе Р от энергии фотонов: 1 - расчет с учетом реальной структуры ИС (в диапазоне Е > 100 кэВ перед корпусом размещался дополнительный слой алюминия толщиной 2 мм для обеспечения условий электронного равновесия в чувствительном слое), 2 - расчет для условий электронного равновесия. Зависимости сдвига порогового напряжения n-MOП транзистора от дозы облучения при различных мощностях дозы ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ЗНАЧЕНИЯ ВЛИЯНИЯ ИНТЕНСТВНОСТИ ИЗЛУЧЕНИЯ НА БТ И ЛИНЕЙНЫЕ ИС Тип ИЭТ Горизонтальный БТ(LPNP) Вх. каскад - Критич. парам. Pγн, pад(Si)/c Pγн, pад(Si)/c Кр Dγ, pад(Si) Лит. ∆Ib 0,001 0,01 0,1 294 294 294 9,7 6,9 2,9 20 [1] ∆Ib 0,001 0,01 0,1 294 294 294 16,4 10,0 2,7 20 Вертикальный БТ(SPNP) - LM124 (ОУ) SPNP (БТ) ∆Iвх.см 0,03 (*) 0,03 (**) 30 30 5,0 10,0 100 [20] LM224 (ОУ) SPNP (БТ) ∆Iвх.см 0,03 (**) 30 1,7 40 [20] LM111 (компаратор) PNP (БТ) ∆Iвх.см 0,005 50 4,7 10 [21] [1] Продолжение таблицы Тип ИЭТ Вх. каскад Критич. парам. Pγн, pад(Si)/c Pγн, pад(Si)/c Кр Dγ, pад(Si) Лит. LM108 (компаратор) NPN (БТ) ∆Iвх.см 0,02 50 1,0 10 [21] Дискретные БТ - 0,02 50 1,0 10 LM311 (компаратор) PNP (БТ) ∆Iвх.см 5,5 0,55 0,008 28 28 28 1,4 1,7 17,0 40 [22] ОР 470 (ОУ) NPN (БТ) ∆Iвх.см 5,5 0,55 0,008 28 28 28 ~1,0 ~ 1,0 0,3 40 [22] Дискретные БТ PNP, NPN (БТ) ∆Ib/Dγ, Dγ→0 0,075 140-150 2,87,0 - ФГУП «НИИП» ∆Ib [3]