ЭЛЕКТРОННАЯ СТРУКТУРА И ЛОКАЛИЗАЦИЯ ДЫРОК В МАССИВЕ ТУННЕЛЬНО-СВЯЗАННЫХ КВАНТОВЫХ ТОЧЕК Ge В Si А.В.Ненашев*, А.В.Двуреченский*, А.Ф.Зиновьева*, М.Н.Тимонова** * Институт физики полупроводников СО РАН, Новосибирск ** Новосибирский государственный университет ВВЕДЕНИЕ Квантовые точки (КТ) представляют собой твердотельные структуры, в которых движение носителей заряда ограничено в области пространства, сравнимой по размерам с дебройлевской длиной волны. Дискретный электронный спектр позволяет рассматривать квантовые точки как искусственные аналоги атомов. В настоящее время наиболее перспективный метод формирования квантовых точек основан на эффектах самоорганизации полупроводниковых гетероструктур в процессе эпитаксиального роста. Метод позволяет получить островки нанометровых размеров (квантовые точки), в которых энергия размерного квантования носителей заряда составляет десятки мэВ. Такие системы обеспечивают возможность функционирования приборов на структурах с квантовыми точками при комнатной температуре, а также реализации приборных характеристик, нечувствительных к изменению температуры в широких пределах. Среди гетеросистем с самоформирующимися массивами островков наиболее изучены системы InAs на Ge нанокластер подложке GaAs [1] и Ge на подложке Si [2]. Особый интерес к массивам нанокластеров Ge в Si (quantum dot) Si связан, во-первых, с тем, что в этой гетеросистеме 1.5 нм удаётся достичь малых размеров нанокластеров 15 нм (~10 нм) и высокой плотности массива островков ( > 1011 см–2 ). Ge островок в кремнии представляет z z y собой потенциальный барьер для электронов и глубокую потенциальную яму для дырок. Таким x плёнка Ge (0.7 нм) образом, островок может эффективно захватывать дырки из валентной зоны кремния. Рис. 1. Геометрия типичной квантовой Настоящая работа преследует следующие точки Ge/Si(100). цели: разработку качественной модели энергетического спектра дырок в КТ в системе Ge/Si; определение интегралов перекрытия между состояниями дырок на соседних КТ и радиуса локализации дырок в массиве туннельно связанных точек. Туннельная связь между квантовыми точками может быть осуществлена двумя способами: 1) вертикальное расположение двух слоев квантовых точек, разделенных туннельно прозрачным слоем кремния. Вследствие эффекта вертикального упорядочения островки в верхнем слое формируются над островками нижнего слоя, и таким образом реализуется туннельная связь в вертикальном направлении; 2) путем формирования плотного массива квантовых точек с достаточно малым средним расстоянием между островками — в этих условиях реализуется туннельная связь по горизонтали. Модельная структура представляла собой кристалл кремния, в который встроен Ge пирамидальный кластер (рис. 1). Область, занимаемая германием, состояла из 5 атомных плоскостей (001), составляющих «смачивающий слой» толщиной ≈0.7 нм, и примыкающей к этому слою квадратной пирамиды, ограниченной плоскостью (001) и четырьмя плоскостями типа {105}. Латеральный размер (длина стороны основания пирамиды) составлял 15 нм, высота пирамиды — 1.5 нм [3]. Исследование энергетического спектра дырок в системе квантовых точек с туннельной связью проводилось посредством численного моделирования, в рамках приближения сильной связи с базисом sp3, содержащим по 8 атомных орбиталей на каждом атоме [4]. Всего в расчёт было вовлечено порядка 106 орбиталей, что определяет размерность матрицы гамильтониана. В гамильтониан было включено взаимодействие между ближайшими соседями, спин-орбитальное взаимодействие и деформационные эффекты. Значения энергии вычислялись путём решения уравнения Шрёдингера. 1. МОДЕЛЬ ЭНЕРГЕТИЧЕСКОГО СПЕКТРА ДЫРОК Состояния дырок в КТ формируются из состояний трёх ветвей валентной зоны: тяжёлых дырок, лёгких дырок и спин-отщеплённой зоны. Различные подзоны, вносящие вклад в состояния дырок в квантовой точке, удобно характеризовать эффективным спином J и его проекцией J z на ось симметрии Ge пирамиды (ось z ). Состояния тяжелых дырок характеризуются значениями J z 3/ 2 , а состояния легких дырок и спин-отщепленной зоны — значениями J z 1/ 2 . Величина и соотношение вкладов состояний тяжелой и легкой дырок являются определяющими факторами для магнитных и магнито-оптических свойств носителей локализованных в КТ [5]. Наши расчеты показали, что для основного состояния дырок вклад состояний c J z 23 составляет ≈84% волновой функции (E0=420 мэВ), то есть основное состояние близко к состоянию тяжелой дырки. Для первого возбужденного состояния (E1=377 мэВ) вклад состояний с J z 23 уменьшается до ≈79%. Далее с ростом номера возбужденного состояния отслеживается тенденция к уменьшению вклада состояний с J z 23 . Для девятого возбужденного состояния (Е9=303 мэВ) вклад состояний с J z 23 составил ≈60%. Причины, определяющие соотношение между вкладами компонент с J z 23 и Jz=±1/2 Jz=±3/2 d p s ΔE3 ΔE1,2 упрощенной модели, в которой взаимодействие между энергетическими зонами считается малым. Рассмотрим по отдельности квантование энергетического спектра дырок с J z 23 и квантование ΔE0 J z 12 , можно понять из следующей d p s спектра дырок с J z 12 . В такой модели наиболее глубокие энергетические уровни будут принадлежать дыркам с J z 23 , а в Рис. 2. Схематическое изображение энергеобласти возбужденных состояний наряду с тического спектра дырок в КТ в модели ними будут расположены уровни дырок с слабо взаимодействующих подзон. J z 12 (рис. 2). В более реалистичной модели, учитывающей взаимодействие между зонами (такими моделями, в частности, являются 6или 8-зонная kp-модель, или модель сильной связи) в диапазоне энергий, где находились уровни дырок с J z 12 и дырок с J z 23 , будут находиться некоторые «перемешанные» состояния со сравнимым вкладом дырок обоих типов, а в области наиболее глубоких уровней будут находиться состояния, образованные в основном дырками с J z 23 . Такая качественная модель согласуется с нашими расчетами электронной структуры Ge квантовых точек в приближении сильной связи. Были исследованы волновые функции отдельно для компонент с J z 23 и с J z 12 . Основное состояние формируется s-образной компонентой с J z 23 и d-образной компонентой с J z 12 , которая подмешивается из-за взаимодействия между зонами [6]. В упрощённой модели в спектрах дырки с J z 23 и дырки c J z 12 будут присутствовать s-, p-, d-, ...-образные состояния (рис. 2). Причем, естественно, в обоих спектрах нижним будет s-образное состояние, затем p-, d- и так далее. Подмешивание состояния с J z 12 к состоянию с J z 23 обратно пропорционально разности энергий этих состояний, т. е. пропорционально E3/ 2 E1/ 2 . Для 1 основного состояния вклад компоненты с J z 12 определяется величиной энергетического зазора E0 E3/s 2 E1/d 2 . При формировании первого и второго возбужденного состояния взаимодействуют р-состояние из спектра дырки с J z 23 и р-состояние из спектра дырки с J z 12 . В этих случаях энергетические зазоры E1 E2 E3/p 2 E1/p 2 совпадают, потому вклады компоненты с J z 12 практически одинаковы. При формировании третьего возбужденного состояния взаимодействуют d-состояние из спектра дырки с J z 23 и sсостояние из спектра дырки с J z 12 . В этом случае вклад компоненты с J z 12 определяется величиной энергетического зазора E3 E3/d 2 E1/s 2 , т. е. расстояние между взаимодействующими энергетическими уровнями резко сокращается, и вклад компоненты с J z 12 сильно увеличивается. Таким образом, можно установить соотношение между энергетическими зазорами во всех четырёх случаях ( E0 E1 E2 E3 ) и объяснить зависимость величины вклада компоненты с J z 12 от номера состояния дискретного спектра в квантовой точке. Для последующих уровней интерпретация затруднена, поскольку волновые функции этих состояний имеют сложный вид и не могут быть классифицированы как s-, p-,...-образные. Таким образом построенная модель слабо взаимодействующих зон позволяет объяснить величины вкладов состояний J z 23 и J z 12 и может быть использована для интерпретации магнитных свойств носителей в КТ. 2. ПЕРЕКРЫТИЕ ВОЛНОВЫХ ФУНКЦИЙ Задача определения энергетического спектра туннельно связанных квантовых точек сводится к вычислению спектра изолированной квантовой точки и энергетических интегралов перекрытия между состояниями, принадлежащими соседним точкам. Так, если в квантовой точке имеется состояние дырки с энергией E, то в «искусственной молекуле», состоящей из двух одинаковых точек, ему соответствует два энергетических уровня — E+I и E–I, где I — интеграл перекрытия. Энергетический спектр дырок в отдельно взятой квантовой точке был вычислен нами ранее [4]. Для нахождения интегралов перекрытия использовалась следующая процедура. Вычислялись энергии состояний дырок в модельных структурах, содержащих квантовую точку Ge внутри кремниевого кластера конечных размеров, имеющего форму параллелепипеда. На границах параллелепипеда вводились периодические граничные условия следующего типа: a 2 a 2 , y, z , y, z направлении x, a 2 a 2 или , y, z , y , z , где a — размер параллелепипеда в x, y, z — волновая функция, и аналогичные условия для y и z. Такие структуры аналогичны бесконечным периодическим массивам квантовых точек с периодом a. Значение интеграла перекрытия для расстояния a между центрами квантовых точек (в направлении оси x) определялось как I a 14 E E , где E– и E+ — значения энергии дырки, a 2 a 2 a 2 a 2 соответствующие граничным условиям , y, z , y , z и , y, z , y, z . Получены интегралы перекрытия для основного состояния дырки в квантовых точкахмолекулах с горизонтальной (рис. 3а) и вертикальной (рис. 3б) ориентацией связи. Зависимость интегралов перекрытия I от расстояния a между центрами кластеров Ge показана на рис. 3. Интегралы перекрытия спадают экспоненциально с ростом расстояния между островками; характерная длина убывания (радиус локализации волновой функции) составляет 0.9 нм для горизонтальной ориентации связи и 0.5 нм для вертикальной ориентации. То, что интеграл перекрытия медленнее спадает по горизонтали, чем по вертикали, связано с наличием сплошного слоя Ge в промежутках между квантовыми точками, который эффективно уменьшает высоту потенциального барьера для туннелирования дырки. В случае горизонтальной геометрии туннельной связи получены также интегралы перекрытия для восьми возбуждённых состояний дырки в квантовой точке. Зависимости интегралов перекрытия I от расстояния a можно представить в виде I (a) A exp B a , где коэффициенты Aα и Bα зависят от номера энергетического уровня α. Коэффициент Bα представляет собой величину, обратную радиусу локализации α-го состояния дырки в изолированной КТ. Величина интеграла перекрытия между квантовыми точками, расположенными в одном слое, составляет 0.01 мэВ и меньше, что мало по сравнению с характерными энергиями размерного квантования дырки (~100 мэВ), даже если Ge кластеры соприкасаются. Причиной столь малого значения интеграла перекрытия является сосредоточение волновой функции преимущественно в области размером ~3 нм внутри Ge нанокластеров. В случае связи между квантовыми точками по вертикали значения интегралов перекрытия могут достигать 10÷100 мэВ. 3. РАДИУС ЛОКАЛИЗАЦИИ ДЫРКИ Вычисление радиуса локализации дырки в массиве квантовых точек (КТ) выполнялось на основе модели Андерсона, с использованием результатов расчета энергетического спектра методом сильной связи. В модели учитывалось 9 энергетических уровней в каждой квантовой точке – основной и 8 возбуждённых. Спиновая степень свободы не включалась в рассмотрение. Гамильтониан имел следующий вид: Hˆ Ei , aˆi aˆi i , I i , j , , aˆ j aˆi , i, j, , где индекс i нумерует отдельные квантовые точки, а индекс α – состояния дырки от 0 (основное) до 8 (возбуждённые состояния); aˆi , aˆi – операторы рождения и уничтожения дырки в α-м состоянии i-й квантовой точки; Ei,α – энергия этого состояния; Ii,j,α,β – энергетический интеграл перекрытия между α-м состоянием дырки на i-й квантовой точке и β-м состоянием на j-й квантовой точке. Учитывался разброс уровней Ei,α, существующий в реальных массивах. Интегралы перекрытия Ii,j,α,β между состояниями с различными номерами α,β определялись как средние геометрические интегралов между состояниями с номером α и с номером β: B B I i , j , , I i , j , , I i , j , , A A exp aij , 2 где aij – расстояние между i-й и j-й квантовыми точками. Рассматривался массив квантовых точек в виде квадратной решётки, содержащей 15×15 узлов, с периодическими граничными условиями. В модели учитывались только перекрытия состояний, принадлежащих соседним квантовым точкам, так как с увеличением расстояния интегралы перекрытия быстро спадают. Уравнение Шрёдингера Ĥ E решалось численно с помощью пакета ARPACK в системе Matlab. Вычисления проводились с 5000 случайными реализациями массива квантовых точек. Для каждой реализации определялось б) а) 1E-5 a 0,01 I(a), эВ I(a), эВ 1E-6 1E-7 1E-8 1E-9 a 1E-3 1E-4 15 18 a, нм 21 2,5 3,0 3,5 4,0 4,5 5,0 a, нм Рис. 3. Туннельно связанные квантовые точки Ge в Si («искусственные молекулы») и зависимость интеграла перекрытия I основных состояний дырок от расстояния a между центрами Ge нанокластеров: а) для горизонтальной геометрии туннельной связи; б) для вертикальной геометрии связи. состояние, энергия которого наиболее близка к средней энергии основного или первого возбуждённого состояния в изолированной КТ, что соответствует энергии Ферми при половинном заполнении основного или первого возбуждённого уровня. В этом состоянии вычислялись вероятности pi нахождения дырки на каждой квантовой точке. Затем рассматривалось сечение массива КТ, проходящее в направлении, параллельном сторонам квадратов решётки, через точку с максимальной вероятностью нахождения дырки; в этом сечении значения вероятностей pi аппроксимировались функцией вида pi A exp(2 B ai ) , где ai –расстояние между i-й точкой и точкой с максимальной вероятностью нахождения дырки. Радиус локализации находился как величина, обратная параметру B, усреднённому по всем реализациям массива КТ. Были получены радиусы локализации для основного состояния в двумерных массивах КТ с плотностями N1=3·1011 см-2 и N2=4·1011 см-2 – ξ1=2.06 нм и ξ2=2.42 нм. Для первого возбужденного состояния радиусы локализации составили: ξ1=2.23 нм и ξ2=2.73 нм. На основании полученных результатов и экспериментальных данных по температурной зависимости проводимости [7,8] был сделан вывод, что процессы прыжкового переноса заряда в двумерных массивах КТ Ge/Si в значительной степени определяются многоэлектронными кулоновскими корреляциями [9]. ЗАКЛЮЧЕНИЕ В настоящей работе показано, что структура волновых функций дырок в Ge/Si квантовых точках может быть описана с помощью модели слабо взаимодействующих подзон лёгких и тяжёлых дырок. С помощью метода сильной связи вычислены интегралы перекрытия волновых функций дырок в квантовых точках, которые (вместе с полученными ранее энергетическими уровнями в изолированной КТ) определяют энергетический спектр в системах туннельно связанных точек. Получены радиусы локализации дырок в плотных массивах Ge квантовых точек в режиме андерсоновской локализации. Для реальных плотностей массивов КТ (~3÷4·1011 см–2) радиусы локализации составляют 2÷3 нм. Работа поддержана грантом СО РАН для поддержки молодых ученых, а также грантами РФФИ 02-02-16020, 03-02-06053, INTAS-2001-0615, программы «Университеты России» (УР.01.01.019). ЛИТЕРАТУРА 1. Леденцов Н.Н., Устинов В.М., Щукин В.А., Копьев П.С., Алферов Ж.И., Бимберг Д. Гетероструктуры с квантовыми точками: получение, свойства, лазеры // ФТП. 1998. Т. 32, N 4. С. 385–410. 2. Двуреченский А.В., Якимов А.И. Квантовые точки в системе Ge/Si // Известия ВУЗов. Материалы электронной техники. 1999. N 4. С. 4–10. 3. Yakimov A.I., Dvurechenskii A.V., Proskuryakov Yu.Yu., Nikiforov A.I., Pchelyakov O.P., Teys S.A., Gutakovskii A.K. Normal-incidence infrared photoconductivity in Si p-i-n diode with embedded Ge self-assembled quantum dots // Appl. Phys. Lett. 1999. V. 75, N 10. P. 1413–1415 4. Dvurechenskii A.V., Nenashev A.V., Yakimov A.I. Electronic structure of Ge/Si quantum dots // Nanotechnology. 2002. V. 13, N 1. P. 75-80. 5. Ненашев А.В., Двуреченский А.В., Зиновьева А.Ф. Эффект Зеемана для дырок в системе Ge/Si с квантовыми точками // ЖЭТФ. 2003. Т. 123, N 2. С. 362–372. 6. Nenashev A.V., Dvurechenskii A.V., Zinovieva A.F. Wave functions and g factor of holes in Ge/Si quantum dots // Phys. Rev. B. 2003. V. 67. 205301. 7. Yakimov A.I., Dvurechenskii A.V., Kirienko V.V. et al. Long-range Coulomb interaction in arrays of self-assembled quantum dots // Phys. Rev. B. 2000. V. 61, N 16. P. 10868–10876. 8. Якимов А.И., Двуреченский А.В., Никифоров А.И., Блошкин А.А. Бесфононная прыжковая проводимость в двумерных слоях квантовых точек // Письма в ЖЭТФ. 2003. Т. 7, N 7. С. 445–449. 9. Якимов А.И., Ненашев А.В., Двуреченский А.В., Тимонова М.Н. Многоэлектронные кулоновские корреляции в прыжковом транспорте вдоль слоев квантовых точек // Письма в ЖЭТФ. 2003. Т. 78, N 4. С. 276–280.