УДК 621.382(06) Микроэлектроника А.А. ЦЕЛЫКОВСКИЙ Научный руководитель – Г.И. ЗЕБРЕВ, д.т.н. Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ» ВЛИЯНИЕ УДАРНОЙ ИОНИЗАЦИИ И СОПРОТИВЛЕНИЯ СТОКА НА ВОЛЬТ-АМПЕРНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ГРАФЕНОВЫХ ПОЛЕВЫХ ТРАНЗИСТОРОВ Предложена модель вольт-амперных характеристик графенового полевого транзистора, объясняющая экспериментально наблюдаемый кинк-эффект ударной ионизацией атомов углерода. В модели учитывается сопротивление стоковой области. В работе [1] показано, что на экспериментальных выходных вольт-амперных характеристиках графенового полевого транзистора присутствует сильный кинк-эффект. Мы разработали модель ВАХ, в которой «кинк» объясняется ударной ионизацией, приводящей к размножению носителей в районе стока. Из-за отсутствия запрещенной зоны в графене этот эффект может играть более заметную роль, чем в кремнии. Образующиеся при ударной ионизации в двумерном материале графене электронно-дырочные пары увеличивают ток канала. В n-канальном транзисторе электроны движутся к положительно-смещенному стоку, дырки – к истоку. Система уравнений непрерывности тока в канале для плотностей электронной Je и дырочной Jh компонент с граничными условиями имеет вид J e ( y 0) J 0 , dJ e / dy E y J D y , (1) dJ / dy E y J y , J ( y L ) 0, h D h где J0 – плотность тока в отсутствие процессов ударной ионизации [2], E (1 / m )exp Em / E – коэффициент ударной ионизации, предполагаемый одинаковым для электронов и дырок в графене, ℓm – длина свободного пробега по энергии, Em – критическое электрическое поле ударной ионизации. Решая систему (1), получим формулу для полного тока в канале (2) I D WJ 0 / (1 m) , где безразмерный параметр m выражается интегралом, для которого получено приближенное аналитическое выражение: L E enS (3) m E dy exp m . E L Cox Em m 0 При стремлении m к 1 происходит лавинный пробой. Нас интересует случай слабого пробоя (m << 1). Параметр m главным образом определяется максимальным электрическим полем вблизи стока E(L), которое редуцируется конечным значением сопротивления стока RD. Наличие такого сопротивления приводит к снижению внутреннего значения напряжения на стоке VDeff: (VD VD eff ) / RD I D (VD ) , (4) что ведет к уменьшению электрических полей в районе стока (см. рис. 1). Рис. 1. Моделирование зависимости поля в конце канала от сопротивления стока при различных напряжениях на затворе и при VD = 1 В (максимальное поле соответствует минимальному V G) С ростом концентрации носителей ионизация начинает сказываться на токе Рис. 2. Сравнение результатов моделирования тока стока (линии) с экспериментом [1] (точки) для различных напряжений на затворе при сопротивлении стока 300 Ом заряда электрические поля в канале уменьшаются, и ударная при все больших смещениях на стоке. Таким образом, увеличение УДК 621.382(06) Микроэлектроника напряжения на затворе может приводить к исчезновению кинк-эффекта с выходных ВАХ в рабочем диапазоне напряжений на стоке (см. рис. 2), что соответствует экспериментальным данным [1]. Список литературы 1. I. Meric, M. Han et al. “Current saturation in zero-bandgap, top-gated graphene field-effect transistors”, 21 September 2008; doi:10.1038/nnano.2008.268. 2. Zebrev G.I. “Graphene Field Effect Transistors: Diffusion-Drift Theory”, to be published in “Graphene, Theory, Research and Applications”, Intech, 2010.