Вакуумная техника и технологии

МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ
РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение
высшего профессионального образования
«ТЮМЕНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ»
Физико-технический институт
Кафедра микро- и нанотехнологий
Удовиченко С.Ю.
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА И ТЕХНОЛОГИИ
Учебно-методический комплекс. Рабочая программа
для студентов направления 16.03.01 «Техническая физика»,
форма обучения очная
Тюменский государственный университет
2015
Удовиченко Сергей Юрьевич. Вакуумная техника и технологии. Учебнометодический комплекс. Рабочая программа для студентов направления 16.03.01
«Tехническая физика»; форма обучения очная. Тюмень, 2015, 16 стр.
Рабочая программа составлена в соответствии с требованиями ФГОС ВО с учетом
рекомендаций и ПрОП ВО по направлению и профилю подготовки.
Рабочая программа дисциплины (модуля) опубликована на сайте ТюмГУ: Вакуумная
техника и технологии [электронный ресурс] / Режим доступа: http://www.umk3.utmn.ru ,
раздел «Образовательная деятельность», свободный.
Рекомендовано к изданию кафедрой микро- и нанотехнологий. Утверждено
директором Физико-технического института.
ОТВЕТСТВЕННЫЙ РЕДАКТОР: Кислицын А.А., д.ф.-м.н., профессор, зав. кафедрой
микро-и нанотехнологий.
© Тюменский государственный университет, 2015.
© Удовиченко С.Ю., 2015.
1. Пояснительная записка
1.1 Цели и задачи дисциплины (модуля)
Цель дисциплины: дать студентам достаточно глубокие знания данной технической
науки, изучающей способы создания устройств для получения и измерения вакуума,
поскольку вакуумная техника очень широко используется в различных современных
высоких и классических технологиях.
Задачи дисциплины:
 изучить свойства газов при низких давлениях и физико-химические процессы на
поверхности твердых тел, течение газов при низких давлениях;
 познакомить с методами объемной, ионной и сорбционной откачки;
 рассмотреть принципы действия и конструктивные особенности различных типов
вакуумных насосов;
 познакомить с методами измерения общих и парциальных давлений;
 познакомить с методами течеискания;
 познакомить с конструкциями элементов вакуумных систем;
 рассмотреть расчет и проектирование вакуумных систем.
1.2 Место дисциплины в структуре ООП бакалавриата
Дисциплина «Вакуумная техника и технологии» относится к дисциплинам по выбору
Блока Б1.
Для ее успешного изучения необходимы знания и умения, приобретенные в результате
освоения предшествующих дисциплин: «Общая физика», «Химия», «Математический
анализ», «Дифференциальные уравнения», «Теория функции комплексной переменной»,
«Электротехника», «Радиоэлектроника», «Физика плазмы».
Освоение дисциплины «Вакуумная техника и технологии» необходимо для подготовки
и написания выпускной квалификационной работы.
Таблица 1
№
п/
п
1.
Разделы дисциплины и междисциплинарные связи с обеспечиваемыми
(последующими) дисциплинами
Наименование
Темы дисциплины необходимые для изучения
обеспечиваемых
обеспечиваемых (последующих) дисциплин
(последующих) дисциплин
1.1
1.2
2.1
3.1
3.2
Выпускная
квалификационная работа
+
+
+
+
+
1.3 Компетенции обучающегося, формируемые в результате освоения данной
образовательной программы
В результате освоения данной дисциплины выпускник должен обладать следующими
компетенциями:
 способностью к теоретическим и экспериментальным исследованиям в избранной
области технической физики, готовностью учитывать современные тенденции
развития технической физики в своей профессиональной деятельности (ОПК-3);
 способностью самостоятельно осваивать современную физическую, аналитическую и
технологическую аппаратуру различного назначения и работать на ней (ОПК-8).
1.4 Перечень планируемых результатов обучения по дисциплине (модулю):
В результате освоения дисциплины обучающийся должен:
Знать:
 понятие вакуума;
 основные параметры и свойства газов при низких давлениях (плотность и давление
газа, распределение молекул газа по скоростям, среднюю длину свободного пробега
молекул, процесс взаимодействия молекул газа с поверхностью, время десорбции,
давление насыщенных паров, степень покрытия поверхности молекулами газа,
растворимость и газосодержание в твердых телах, электрические явления в газах);
 теоретические основы процесса откачки;
 методы измерения вакуума (механические, тепловые, электрические, сорбционные);
 методы получения вакуума (механические и физико-химические);
 способы конструирования вакуумных систем.
Уметь:
 решать задачи на определение основных характеристик вакуумных устройств,
применяемых при построении вакуумных систем;
 выполнять конструирование вакуумных систем, с использованием требуемых
конструкционных материалов и различных методов получения и измерения вакуума.
Владеть:
 обладать навыками эксплуатации различных вакуумных устройств (средств
вакуумной откачки, средств измерения вакуума и т.д.).
2 .Структура и трудоемкость дисциплины.
Семестр 7. Форма промежуточной аттестации – зачет. Общая трудоемкость
дисциплины составляет 2 зачетных единиц, 72 академических часа, из них 55,7 часов,
выделенных на контактную работу с преподавателем (в том числе иные виды работы
1,7 час.), 16,3 часов, выделенных на самостоятельную работу.
3. Тематический план
Таблица 2.
1
1.1
1.2
2.1
3.1.
3.2.
2
Модуль 1
Свойства газов при низких
давлениях
Теоретические основы
процесса откачки
Всего
Модуль 2
Методы измерения вакуума
Всего
Модуль 3
Методы получения вакуума
Конструирование вакуумных
систем
3
4
1-2
3-6
5
Итого
часов по
теме
Из них
в
интера
ктивн
ой
форме
Итого
количес
тво
баллов
Самостоятельн
ая работа*
занятия
Семинарские
(практические)
занятия
Лабораторные
Виды учебной работы и
самостоятельная работа,
в час.
Лекции
Тема
недели семестра
№
6
7
8
9
10
2
4
2
8
2
0-10
4
8
4
16
4
0-20
6
12
6
24
6
0-30
7-12
6
6
12
12
6
6
24
24
6
6
0-30
0-30
13-16
4
8
4
16
4
0-20
17-18
2
4
2
8
2
0-20
Всего
Итого (часов, баллов):
Из них в интерактивной
форме
18
18
6
18
12
36
6
18
24
72
6
18
0-40
0-100
18
* Самостоятельная работа (включая иные виды контактной работы)
4. Виды и формы оценочных средств в период текущего контроля
Модуль 1
1.1
1.2
Всего
Модуль 2
2.1
Всего
Модуль 3
3.1
3.2
Всего
Итого
0-2
0-2
0-2
другие формы
электронные
практикумы
эссе
реферат
тест
контрольная
работа
программы
компьютерного
тестирования
комплексные
ситуационные
задания
Технические
формы
контроля
Письменные работы
лабораторная
работа
ответ на семинаре
собеседование
коллоквиумы
Устный опрос
Информаци
онные
системы и
технологии
Итого количество баллов
Таблица 3.
№
Темы
0-7
0-14
0-21
0-3
0-6
0-9
0-10
0-20
0-30
0-21
0-21
0-9
0-9
0-30
0-30
0-14
0-11
0-25
0-67
0-6
0-7
0-13
0-31
0-20
0-20
0-40
0-100
5. Содержание дисциплины.
Модуль 1
Тема 1.1 Свойства газов при низких давлениях. Давление и плотность газа.
Средняя длина свободного пробега молекул газа. Взаимодействие молекул газа с
поверхностью. Растворение газов в твердых телах. Электрические явления в газах при
низких давлениях.
Изучаются свойства газов при низких давлениях, определяются их основные
параметры, взаимодействие молекул газа с поверхностью, время десорбции и давление
насыщенных паров, растворимость и газосодержание в твердых телах, электрические
явления в газах низкого давления.
Тема 1.2 Теоретические основы процесса откачки. Основное уравнение
вакуумной техники. Процессы изменения состояния газа в вакуумных системах.
Режимы течения газа в трубопроводах. Длительность откачки.
Изучаются
теоретические
основы
вакуумной
техники, рассматриваются
сопротивление и проводимость вакуумного трубопровода, основное уравнение вакуумной
техники, процессы изменения состояния газа в вакуумных системах, критерии определения
границ режимов течения газа в трубопроводах, методики расчета длительности откачки.
Методы измерения газовых потоков
Модуль 2
Тема 2.1 Методы измерения вакуума. Методы измерения общих и парциальных
давлений. Методы течеискания.
Изучаются методы измерения вакуума, включая механические, тепловые,
электрические и сорбционные методы, а также методы течеискания.
Модуль 3
Тема 3.1 Методы получения вакуума. Изучаются методы получения вакуума, дается
общая характеристика вакуумных насосов с объемной, молекулярной, пароструйной ионной,
хемосорбционной, криоконденсационной, криоадсорбционной и ионно-сорбционная
откачкой, рассматривается их конструкция.
Тема 3.2 Конструирование вакуумных систем. Вакуумные соединения,
трубопроводы. Конструкционные вакуумные материалы. Вакуумные вводы и затворы.
Ловушки.
Изучается конструирование вакуумных систем, рассматриваются используемые
конструкционные вакуумные материалы, неразборные и разборные вакуумные соединения,
вакуумные трубопроводы, устройства для передачи движения в вакуум, электрические
вакуумные вводы и вакуумные затворы, ловушки.
6. Планы семинарских занятий (не предусмотрены учебным планом).
7. Темы лабораторных работ (Лабораторный практикум).
Лабораторная работа № 1
Тема: Определение парциальных давлений газов в вакуумной камере.
Название опыта: определение состава и концентрации газов, составляющих вакуум с
помощью масс-спектрометра.
Объекты изучения: устройство и принцип работы масс-спектрометра.
Необходимый инструментарий: вакуумная система, масс-спектрометр.
Лабораторная работа № 2
Тема: Расчет длительности откачки вакуумной камеры из заданного объема до уровня
-3
10 мм. рт.ст. при заданных сечениях вакуумных коммуникаций.
Название опыта: изучение процессов откачки вакуумной камеры.
Объекты изучения: устройство вакуумной камеры и системы форвакуумной откачки.
Необходимый инструментарий: вакуумная камера, форвакуумные коммуникации,
форвакуумный насос НВР-16Б, вакуумметр теплоэлектрический блокировочный 13 ВТ3-003,
преобразователь манометрический ПМТ -6-3, электронные часы, вакуумный затвор с
пневмоприводом.
Лабораторная работа № 3
Тема: Методы измерения газовых потоков
Название опыта: Измерение производительности и быстроты действия вакуумных
насосов методом двух манометров.
Объекты изучения: метод измерения газовых потоков.
Необходимый инструментарий: вакуумная камера, натекатель, два вакуумметра
теплоэлектрических блокировочных 13 ВТ3-003, форвакуумный насос.
Лабораторная работа № 4
Тема: Тепловые методы измерения вакуума.
Название опыта: ознакомление с конструкцией термопарных преобразователей типа
ПМТ-2 и преобразователей сопротивления ПМТ-6-3.
Объекты изучения: принцип действия тепловых преобразователей, конструкция
тепловых термопарных преобразователей сопротивления.
Необходимый инструментарий: вакуумметр теплоэлектрический блокировочный
13 ВТ3-003, преобразователь манометрический ПМТ -6-3, вакуумная система.
Лабораторная работа № 5
Тема: Магнитные электроразрядные методы измерения высоковакуумных систем.
Название опыта: измерение высоких давлений (10-5-10-6 мм.рт.ст.) в вакуумной камере
магнитным электроразрядным датчиком с холодным катодом инверсно-магнетронного типа
ПММ-32-1 и вакуумметра магнитного блокировочного ВМБ-14.
Объекты изучения: устройство и принцип работы высоковакуумного датчика
ПММ-32-1.
Необходимый
инструментарий:
вакуумметр
ВМБ-14,
преобразователь
манометрический ПММ-32-1, вакуумная система.
Лабораторная работа № 6
Тема: Методы течеискания.
Название опыта: Определение наличия течи в вакуумной камере методом пробного
газа.
Объекты изучения: конструкция и принцип действия гелиевого течеискателя ПТИ-14.
Необходимый инструментарий: вакуумная система, баллон с гелием, течеискатель
ПТИ-14.
Лабораторная работа № 7
Тема: Принцип работы и конструкция пластинчато-роторного объемного насоса.
Название опыта: определение скорости откачки пластинчато-роторным объемным
насосом НВР-16Б в зависимости от изменения длины вакуумных коммуникаций.
Объекты изучения: форвакуумные насосы и конструкция форвакуумных
коммуникаций установки ионного легирования.
Необходимый инструментарий: форвакуумный насос НВР-16Б, вакуумметр
теплоэлектрический блокировочный 13 ВТ3-003, преобразователь манометрический ПМТ -63, установка ионного легирования.
Лабораторная работа № 8
Тема: Изучение принципа работы магнитноразрядных насосов.
Название опыта: определение скорости откачки магнитноразрядным насосом НМД016-1 вакуумных коммуникаций установки ионного форматирования.
Объекты
изучения:
принцип
работы
и
устройство
высоковакуумного
магниторазрядного насоса НМД-016-1.
Необходимый инструментарий: насос магниторазрядный НМД-016-1, насос
механический вакуумный 2-НВР-5ДМ, клапан откачки магниторазрядного насоса на низкий
вакуум, электромеханический клапан откачки вакуумной камеры на высокий вакуум, датчик
вакуумный ПМТ-6-3, вакуумметр 13 ВТ3-003, преобразователь манометрический
ПММ-32-1, вакуумметр ВМБ-14, вакуумная система.
Лабораторная работа № 9
Тема: Изучение принципов работы азотной ловушки.
Название опыта: влияние азотной ловушки на скорость качества откачки вакуумной
камеры установки УВНИПА-1-001.
Объекты изучения: азотная вакуумная ловушка
Необходимый инструментарий: азотная вакуумная ловушка с системой контроля,
преобразователь манометрический ПММ-32-1, вакуумметр ВМБ-14, паромасляный
диффузионный насос, вакуумная камера установки УВНИПА-1-001.
8. Примерная тематика курсовых работ (не предусмотрены учебным планом)
9. Учебно-методическое обеспечение и планирование самостоятельной работы
студентов.
Таблица 4 .
№
Модули и темы
Виды СРС
обязательные
Модуль 1
1.1 Свойства газов
при низких
давлениях
1.2 Теоретические
основы процесса
откачки
Всего
Модуль 2
2.1 Методы
измерения
вакуума
Всего
Модуль 3
3.1 Методы
получения
вакуума
1. Работа с учебной
литературой.
2. Выполнение
домашнего задания
3. Проработка
лекций
1. Работа с учебной
литературой.
2. Выполнение
домашнего задания
3. Проработка
лекций
1. Работа с учебной
литературой.
2. Выполнение
домашнего задания
3. Проработка
лекций
1. Работа с учебной
литературой.
2. Выполнение
домашнего задания
3. Проработка
лекций
Конструирование 1. Работа с учебной
вакуумных
литературой.
систем
2. Выполнение
домашнего задания
3. Проработка
лекций
Всего
Итого
Неделя Объем
семестра
часов*
дополнительные
Кол-во
баллов
Докладпрезентация
1-2
2
0-20
Докладпрезентация
3-6
4
0-20
6
0-40
6
0-20
6
0-20
Докладпрезентация
7-12
Докладпрезентация
13-16
4
0-20
Докладпрезентация
17-18
2
0-20
6
18
0-40
0 – 100
* Самостоятельная работа (включая иные виды контактной работы)
10. Фонд оценочных средств для проведения промежуточной аттестации по итогам
освоения дисциплины (модуля).
10.1 Перечень компетенций с указанием этапов их формирования в процессе освоения
образовательной программы (выдержка из матрицы компетенций):
Таблица 5.
Выдержка из матрицы компетенций
ОПК-3. Способность к теоретическим и экспериментальным исследованиям в избранной
области технической физики, готовностью учитывать современные тенденции развития
технической физики в своей профессиональной деятельности
1
Механика
1 семестр
2
Молекулярная физика
2 семестр
3
Метрология и физико-технические измерения
3 семестр
4
Электричество и магнетизм
3 семестр
5
Оптика
4 семестр
6
Экспериментальные методы исследований
4 семестр
7
Производственная практика
4 семестр
8
Физика атома. Ядра и элементарных частиц
5 семестр
9
Математическая физика и механика сплошных сред
5 семестр
10 Термодинамика
5 семестр
11 Теория и детали машин и механизмов
6 семестр
12 Теплофизика
6 семестр
13 Кинетическая теория разрушения
6 семестр
14 Физика деформируемого твердого тела
6 семестр
15 Производственная практика
6 семестр
16 Строительная теплофизика
7 семестр
17 Теплофизика
7 семестр
18 Вакуумная техника и технологии
7 семестр
19 Нанотехнологии, материалы и диагностика
7 семестр
20 Спецпрактикум
8 семестр
21 Основы радиоэлектроники
8 семестр
22 Электроника и схемотехника
8 семестр
23 Геофизика
8 семестр
24 Литология
8 семестр
25 Преддипломная практика
8 семестр
26 Выпускная квалификационная работа
8 семестр
ОПК-8.
Способность
самостоятельно
осваивать
современную
физическую,
аналитическую и технологическую аппаратуру различного назначения и работать на ней.
1
Практикум по механике
1 семестр
2
Практикум по молекулярной физике
2 семестр
3
Метрология и физико-технические измерения
3 семестр
4
Практикум по электричеству и магнетизму
3 семестр
5
Практикум по оптике
4 семестр
6
Экспериментальные методы исследований
4 семестр
7
Практикум по атомной и ядерной физике
5 семестр
8
Вакуумная техника и технологии
7 семестр
9
Основы радиоэлектроники
8 семестр
10 Электроника и схемотехника
8 семестр
ОПК-8
ОПК-3
Код
компетенции
10.2 Описание показателей и критериев оценивания компетенций на различных этапах их формирования, описание шкал оценивания:
Таблица 6.
Карта критериев оценивания компетенций
Критерии в соответствии с уровнем освоения ОП
Пороговый (удовл.)
61-75 баллов
Знает: основы
нанотехнологий и
нанодиагностики
Умеет: сформулировать
задачу для теоретических и
экспериментальных
исследований
Владеет: навыками
теоретических и
экспериментальных
исследований
Знает: условия эксплуатации
технических средств для
техпроцесса и изучения
материалов
Умеет: выбрать необходимые
технические средства для
техпроцесса и изучения
материалов
Владеет: опытом работы на
технологическом и
аналитическом оборудовании
Виды занятий (лекции,
семинарские,
практические,
лабораторные)
базовый (хор.)
76-90 баллов
Повышенный (отл.)
91-100 баллов
Знает: методы исследований
наноматериалов
Знает: методы исследования
и методики измерения
параметров наноматериалов
Умеет: теоретические знания
применить в
экспериментальных
исследованиях
лекции,
лабораторные работы
Владеет: методиками
получения наноматериалов и
их диагностики
лекции,
лабораторные работы
Знает: основные технические
средства для техпроцесса и
изучения материалов
лекции,
лабораторные работы
Умеет: использовать
основные технические
средства для техпроцесса и
изучения материалов
Владеет: навыками работы с
техническими средствами для
техпроцесса и изучения
материалов
лекции,
лабораторные работы
Умеет: поставить задачу и
анализировать результаты
теоретических и
экспериментальных
исследований
Владеет: методами
теоретических и
экспериментальных
исследований наноматериалов
Знает: основные параметры
технологических процессов
Умеет: определять основные
параметры технологических
процессов
Владеет: навыками работы с
техническими средствами для
техпроцесса
лекции,
лабораторные работы
лекции,
лабораторные работы
Оценочные средства
(тесты, творческие
работы, проекты)
доклады-презентации
и отчеты по
лабораторным работам
доклады-презентации
и отчеты по
лабораторным работам
доклады-презентации
и отчеты по
лабораторным работам
доклады-презентации
и отчеты по
лабораторным работам
доклады-презентации
и отчеты по
лабораторным работам
доклады-презентации
и отчеты по
лабораторным работам
10.3 Типовые контрольные задания или иные материалы, необходимые для оценки
знаний, умений, навыков и (или) опыта деятельности, характеризующей этапы
формирования компетенций в процессе освоения образовательной программы.
Примерные задания для выполнения контрольной работы №1
1. Определить степень покрытия поверхности вакуумной камеры молекулами воды при
давлении 10-6 Па при температуре 300 К (вакуумная камера сделана из нержавеющей
стали, теплота адсорбции – 80 МДж/кмоль).
2. Определить проводимость по воздуху цилиндрического трубопровода диаметра 100 мм
и длиной 0,5 м при различных режимах течения газа (T=300 К).
3. Какой поток газа будет протекать через отверстие диаметром 250 мм. Давление с одной
стороны отверстия равно 0 Па, с другой – 1 Па. Газ – воздух, Т=300 К.
Примерные задания и вопросы для выполнения контрольной работы №2
Чем определяется диапазон рабочих давлений тепловых преобразователей?
Чем определяется диапазон рабочих давлений магнитных преобразователей?
Определить пороговую чувствительность гелиевого течеискателя для проверки на
герметичность установки с рабочим давлением 10-3Па, откачиваемой с эффективной
быстротой откачки 0,15 м3/с.
Примерные задания для выполнения контрольной работы №3
Провести проектировочный расчет высоковакуумного участка вакуумной системы при
следующих данных: рабочее давление в вакуумной камере p=10-6 Па. Суммарное
газовыделение и натекание в вакуумной системе Q=10-7 м3·Па/с. Размеры вакуумной
камеры: d=250 мм, l=500 мм.
Примерные вопросы к зачету:
1. Понятие различных степеней вакуума и критерий для их определения.
2. Понятие эффективного размера вакуумной камеры.
3. Характерные режимы течения газа в вакуумных системах.
4. Понятие быстроты действия насоса.
5. Понятие проводимости трубопровода.
6. Основное уравнение вакуумной техники.
7. Различие между абсолютными и косвенными методами измерения давлений.
8. Принцип работы деформационных преобразователей.
9. Принцип работы тепловых преобразователей.
10. Принцип работы ионизационных преобразователей.
11. Основные методы для определения быстроты откачки вакуумных насосов.
12. Принцип работы объемных насосов.
13. Принцип действия турбомолекулярного насоса.
14. Принцип действия пароструйных насосов.
15. Основные требования к рабочим жидкостям вакуумных насосов.
16. Способы откачки паров рабочих жидкостей с помощью вакуумных ловушек.
17. Принцип действия ионной откачки.
18. Принцип действия сорбционной откачки
19. Требования к материалам вакуумных систем.
20. Основные типы вакуумных соединений.
21. Основные типы вакуумных затворов
10.4 Методические материалы, определяющие процедуры оценивания знаний,
умений, навыков и (или) опыта деятельности характеризующих этапы
формирования компетенций.
Текущая успеваемость оценивается в соответствии с «Положением о рейтинговой
системе оценки успеваемости студентов ФГБОУ ВПО ТюмГУ».
Во время учебного семестра для промежуточной аттестации студент представляет
отчеты по выполненным лабораторным работам и подготавливает реферат в виде докладапрезентации по одной из тем содержания дисциплины (по выбору). Студенты, набравшие
35 баллов, являются допущенными к сдаче зачета.
Зачет проводится в виде собеседования. Студенты, набравшие от 35 до 60 баллов,
получают «не зачтено». Студенты, выполнившие учебный план и набравшие от 61 до 100
баллов, получают оценку «зачтено».
11. Образовательные технологии.
В соответствии с требованиями ФГОС при реализации различных видов учебной
работы в процессе изучения дисциплины «Вакуумная техника и технологии»
предусматривается использование в учебном процессе следующих активных и
интерактивных форм проведения занятий:




лекции;
лабораторные занятия;
работа в малых группах;
мастер-классы экспертов.
12. Учебно-методическое и информационное обеспечение дисциплины (модуля).
12.1 Основная литература:
1. Хабланян М.Х. , Саксаганский Г.Л. , Бурмистров А.В. Вакуумная техника:
оборудование, проектирование, технологии, эксплуатация. Ч. 1. Инженернофизические основы. Учебное пособие. - Казань : Издательство КНИТУ, 2013. - 233 с.
[Электронный ресурс]. - URL: http://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=258831
(дата обращения – 20.04.2015).
2. Шмидберский, П. А.. Вакуумная техника и технологии: учеб.-метод. пособие/ П. А.
Шмидберский; Тюм. гос. ун-т. - Тюмень: Изд-во ТюмГУ, 2008. - 144 с.; 20 см. Библиогр.: с. 143. - ISBN 978-5-88081-986-7
12.2 Дополнительная литература:
1. Иванов И.Г. Вакуумный практикум. Учебно-методическое пособие. – Ростов на Дону:
Издательство Южного федерального университета, 2009. - 56 с. [Электронный
ресурс]. - URL: http://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=240988 (дата обращения –
20.04.2015).
2. Вакуумная техника: Учебное пособие / А.Н. Попов. - М.: НИЦ Инфра-М; Мн.: Нов.
знание, 2012. - 167 с. ISBN 978-5-16-006031-6 [Электронный ресурс]. - URL:
http://znanium.com/catalog.php?bookinfo=317368 (дата обращения – 20.04.2015).
3. Панфилович К.Б., Бударин П.И. , А.Х. Садыков А.Х. Физические основы вакуумной
техники. Учебное пособие - Казань : Издательство КНИТУ, 2008. - 136 с.
[Электронный ресурс]. - URL: http://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=259035
(дата обращения – 20.04.2015).
4. Шешин, Е. П.. Вакуумные технологии: учеб. пособие/ Е. П. Шешин. - Долгопрудный:
Интеллект, 2009. - 504 с.; - ISBN 978-5-91559-012-9
12.3 Программное обеспечение и Интернет- ресурсы:
1. Панфилов Ю.В. , Демихов К.Е. , Никулин Н.К. Вакуумная техника. Справочник.
М.:Машиностроение, 2009. http://www.mashin.ru/files/stranicy_iz_demihov.pdf
2. Сайт библиотеки компании ООО НПП «Сплав» http://vacuumsplav.ru/literatura
3. Университетское вакуумное общество «Унивак» http://www.vacuum.ru/
4. Научная электронная библиотека www.elibrary.ru
13. Перечень информационных технологий, используемых при осуществлении
образовательного процесса по дисциплине (модулю), включая перечень
программного обеспечения и информационных справочных систем (при
необходимости).




Применение мультимедийного оборудования для проведения лекционных занятий.
Видеозаписи и презентации лекционного материала.
Работа с Интернетом.
Работа с информационным порталом ИБЦ ТюмГУ.
14. Технические средства и материально-техническое обеспечение дисциплины
(модуля).
 Лекционная аудитория с мультимедийным оборудованием,
 Лаборатория пучково-плазменных технологий.
15. Методические указания для обучающихся по освоению дисциплины (модуля).
Изучение учебных и методических материалов по курсу «Вакуумная техника и
технологии».
При подготовке к занятиям в течение семестра и зачету студент должен
использовать литературу, рекомендованную преподавателем.
Для понимания лекционного материала и качественного его усвоения студентам
необходимо вести конспекты лекций.
Использование студентами интернет-источников.
Подготовка рабочих лабораторных журналов к выполнению лабораторных работ.
Оформление отчетов по проделанным работам.
Если в процессе самостоятельной работы над изучением теоретического материала у
студента возникают вопросы, разрешить которые самостоятельно не удается, необходимо
обратиться к преподавателю для получения у него разъяснений или указаний.
Дополнения и изменения к рабочей программе на 201 / 201 учебный год
В рабочую программу вносятся следующие изменения:
_____________________________________________________________________________
_____________________________________________________________________________
_____________________________________________________________________________
_____________________________________________________________________________
_____________________________________________________________________________
_____________________________________________________________________________
_____________________________________________________________________________
_____________________________________________________________________________
_____________________________________________________________________________
_____________________________________________________________________________
______________________
Рабочая
программа
пересмотрена
и
одобрена
____________________ « »_______________201 г.
на
заседании
кафедры
Заведующий кафедрой ___________________/___________________/
Роспись
Ф.И.О.