УДК 621.318 ПОТЕРИ ЭНЕРГИИ ПОТОКА ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ НА ВОЗБУЖДЕНИЕ ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫХ КОЛЕБАНИЙ В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУРАХ Кравченко В.И., д.т.н.,проф., Яковенко И.В., д.ф.-м.н.,г.н.с., Глухов Е.В., н.с. НИПКИ "Молния" Национального технического университета "Харьковский политехнический институт" Украина, 61013, Харьков, ул. Шевченко, 47, НИПКИ "Молния" НТУ "ХПИ" тел./факс (057) 707-61-33, е-mail: nipkimolniya@ kpi.kharkov.ua Визначено вирази для енергії випромінювання електромагнітних коливань у системі напівпровідникова плазма – потік заряджених частинок при збудженні коливань у субміліметровому діапазоні. Запропонована аналітична модель механізму взаємодії електромагнітних коливань та струмів заряджених частинок, що виникає внаслідок дії імпульсного електромагнітного випромінювання у провідних елементах електрорадіовиробів, що містять напівпровідникові надграти. Определена энергия излучения электромагнитных колебаний в системе полупроводниковая плазма – поток заряженных частиц при возбуждении колебаний в субмиллиметровом диапазоне. Предложена аналитическая модель механизма взаимодействия электромагнитных колебаний и токов, возникающих вследствие воздействия электромагнитного излучения в проводящих элементах электрорадиоизделий, содержащих полупроводниковые сверхрешетки. ВВЕДЕНИЕ Расширение областей применения и возрастание быстродействия радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) приводит к необходимости все большего использования элементной базы, содержащей изделия полупроводниковой электроники [1]. Это увеличивает степень влияния внешнего электромагнитного излучения (ЭМИ) на работоспособность РЭА, к воздействию которого полупроводниковые комплектующие обладают повышенной чувствительностью. Все многообразие отказов, возникающих в РЭА как результат воздействия сторонних факторов, принято разделять на обратимые и необратимые [2]. Необратимые отказы характеризуются полной утратой работоспособности РЭА. Они наступают в случае, когда изменение внутренних параметров аппаратуры превышает допустимые пределы (при воздействии внешнего ЭМИ необратимые отказы обычно возникают вследствие теплового пробоя комплектующих). Для обратимых отказов характерна временная утрата работоспособности, приводящая к искажению выходных характеристик. Большинство имеющихся теоретических и экспериментальных результатов исследований влияния ЭМИ на радиоизделия относятся к области необратимых отказов. Моделирование механизмов взаимодействия наведенных ЭМИ токов и напряжений с процессами, характеризующими функциональное назначение изделий, обычно проводится в рамках теории цепей с распределенными параметрами. Этот подход позволяет оценить критерии работоспособности в целом (например оценить критическую энергию, характеризующую тепловой пробой), однако вопросы связанные с определением различного рода электромагнитных взаимодействий, протекающих непосредственно в комплектующих изделия при воздействии ЭМИ остаются открытыми. Настоящая работа в определенной степени компенсирует существующий пробел в этой области ис- 60 следований обратимых отказов. В ней исследуется взаимодействие потоков заряженных частиц, наведенных ЭМИ, с волновыми процессами в полупроводниковых структурах, используемых в современной СВЧ – электронике. ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ В данном параграфе показано, что использование потока заряженных частиц, модулированного на частоте поверхностной волны, позволяет существенным образом повысить уровень излучения, поскольку процесс излучения носит коллективный характер [ 3 ]. Такой способ представляется нам довольно перспективным для возбуждения поверхностных волн различного рода в миллиметровом и субмиллиметровом диапазонах. Пусть границу y = 0 раздела двух сред, направленную вдоль оси абсцисс, пересекает промодулированный на частоте ω , квазинейтральный поток заряженных частиц, движущихся вдоль оси y со скоростью v0 . Поля, создаваемые потоком в каждой среде, будем описывать следующей системой уравнений: 4π iω iω H ; rot H = − ε E + j; rot E = c c c ε div E = 4π en; j = en0 (x )v (x, y ) + e v 0 n(x, y ); (1) ( ) E = E x , E y ,0 ; H = (0,0, H z ); ε = ε ( y ); ε = ε1 , y ≤ 0; ε = ε 2 , y > 0, где e – заряд; n0 (x ) – равновесная плотность электронов; n и v – отклонения плотности и скорости электронов от равновесных значений. Величины n и v связаны между собой системой линейных гидродинамических уравнений: Електротехніка і Електромеханіка. 2006. №5 ⎛ ∂ ⎞ ⎟ n + div n0 v = 0 ⎜⎜ − iω + v0 ∂ y ⎟⎠ ⎝ (2) ⎛ ∂ ⎞ e ⎜⎜ − iω + v0 ⎟v = E . ∂ y ⎟⎠ m ⎝ Электронный пучок предполагается ограниченным в направлении x и безграничным в направлении y и z. Поскольку толщина пучка d предполагается малой по сравнению с длиной волны, будем считать, что n0 (x ) = n0 s δ(x ) , где n0 s = n0 d – поверхностная плотность электронов. Для бесконечного "тонкого" пучка полагаем n(x, y ) = ns ( y ) δ (x ) , v x = 0 . После интегрирования уравнений движения, непрерывности и Пуассона по толщине пучка, получим: ⎛ ∂ ∂ ⎞ ⎟⎟ ns ( y ) + n0 s ⎜⎜ − iω + v0 v y (0, y ) = 0, ∂y ∂y⎠ ⎝ ⎛ ∂ ⎞ e ⎜⎜ − iω + v0 ⎟⎟v y (0, y ) = E y (0, y ), (3) ∂y⎠ mE ⎝ ∂ E y (0, y ) ε (ω) d = 4π ens ( y ). ∂y Здесь мы положили ⎛d ⎞ ⎛ d⎞ E x ⎜ − ⎟ − E x ⎜ ⎟ ≅ E x (0) − E x (0 ) = 0. ⎝2⎠ ⎝ 2⎠ Подставляя в систему (3) зависимость всех пере- менных величин от y в виде e n s ( y ) = n+ e iq +y y + n− e iq y y iq −y y rot E l = 0 . Представим E l (x, y, ω) = E l (q x , y, ω) e iq x x dq x . ∫ Воспользовавшись затем уравнением Пуассона (6), где n(x, y, ω) = ns ( y, ω) δ (x ) , получим для продольных полей в каждой из сред следующие выражения: ⎞ 2eq x ⎛⎜ n + n E xl (q x , y, ω) = exp iq +y y + − exp iq −y y ⎟; ⎟ iε ⎜⎝ q +2 q −2 ⎠ + − ⎛ ⎞ qy 2e ⎜ q y ⋅ E ly (q x , y, ω) = n + exp iq +y y + n − exp iq −y y ⎟, ⎟ iε ⎜ q +2 q −2 ⎝ ⎠ ( ). q±2 = q x2 + q ±y где 2 (6) Для нахождения амплитуды поверхностной волны к продольным полям (6) необходимо добавить поперечные E t (x, y, ω) , которые представляют собой решение однородной системы (3). ( j = 0, n = 0) E xt (x, y, ω) = Be i (q x x + κy )dq x ; ∫ ∫ (4) 4π e 2 n0 s ω ωb где = ± ; ωb2 = . Амплитуды n± v0 v0 mdε (ω) медленной и быстрой волн пространственного заряда (ВПЗ) в среде "1" (вакууме) находятся из граничных условий на плоскости y = −l . В качестве таковых могут быть выбраны следующие: v y (− l ) = v1 ; n s (− l ) = 0 , где v1 – скорость электрона, возникающая под действием напряжения модуляции. В результате получим ω i ( y +l ) ω v y ( y ) = v1 cos b (l + y ) e v0 ; v0 ω v1 iq ± l n±(1) = m n0 s e y ; κ= ; ⎡ en ω j y ( y ) = 0 s v1 ⎢cos b (l + y ) − d v0 ⎣ ω ⎤ i ( y +l ) ω ω sin b (l + y )⎥ e v0 . v0 ωb ⎦ Електротехніка і Електромеханіка. 2006. №5 ω2 c2 (7) ε − q x2 , Неизвестные величины B1 , B2 , n±(2 ) можно выра- зить через n±(1) , воспользовавшись граничными усло- виями при y = 0 . Напомним, что кроме электродинамических условий непрерывности тангенциальных составляющих электрического поля и нормальных состав4π i ляющих вектора индукции D y = ε E y + j y на граω нице должны выполнятся гидродинамические условия. Сюда относятся: непрерывность (равенство) плотности частиц и непрерывность потока частиц. Таким образом, граничные условия при y = 0 принимают вид: B1 + 2ωb v0 n0 s v1ω ω sin b (l + y ) e v0 ωb v0 полагать E l (x, y, ω) в виде: , ω i ( y +l ) v0 и q E ty (x, y, ω) = − x Be i (q x x + κy )dq x , κ q ±y −i дольными , находим: ω v ⎛ iq − y iq + y ⎞ v y ( y ) = b 0 ⎜ n− e y − n + e y ⎟ , ω nos ⎝ ⎠ ns ( y ) = −i Определим поля, создаваемые модулированным пучком. Поскольку пучок нерелятивистский, то фазовая скорость ВПЗ мала по сравнению со скоростью света, а также по сравнению с фазовой скоростью поверхностной волны. Такие поля можно считать про- (2 ) ⎞ ⎛ n+(1) n−(1) ⎞ ⎛ (2 ) ⎜ ⎟ = B2 + 2eq x ⎜ n+ + n− ⎟; + 2 ⎟ ⎜ q2 iε 2 ⎜⎝ q22+ q22− ⎟⎠ ⎝ 1+ q1− ⎠ ε1 ε B1 = 2 B2 ; κ1 κ2 ( ( 1) 1) n + n = n (2 ) + n (2 ) ; 2eq x iε1 (5) + en0 s im = ∫ en0 s im − + − ( (8) ) q x B1 dq x + ωb1 v0 n−(1) − n+(1) = κ1 ∫ ( ) q x B2 dq x + ωb2 v0 n−(2 ) − n+(2 ) . κ2 Из соотношений (8) находим: 61 B1 = E1tx (x, y, ω) = где Aα = κ 2ε 2 q x ( A2 − A1 ) , i (κ1ε 2 − κ 2 ε1 ) ε2 i ∞ ∫ −∞ (9) κ 2 q x ( A2 − A1 ) i (q x x + κy ) e dq x , κ1ε 2 − κ 2 ε1 2e ⎛⎜ n+(α ) n−(α ) ⎞⎟ + ; α = 1, 2 . ε α ⎜⎝ qα2 + qα2 − ⎟⎠ 2π ε12 ε 22 ω2 ( A2 − A1 ) c (ε1 − ε 2 ) (ε1 + ε 2 ) где q xs = 2 2 ⋅ e i (q xs x + κ s y ) , (10) q x = q xs ε1 ω ε1ε 2 ω ; κs = ; Im κ s > 0 . c ε1 + ε 2 c ε1 + ε 2 Из условия (8) находим значение A2 − A1 и при ω2 v02 >> 2 q xs имеем A2 − A1 = 2ev0 v1 (ε1 − ε 2 ) n0 s ω2 ε1ε 2 ω ⎞ (12) 2 ε2 (ε1 + ε 2 ) E1sx . ε1 ВЫВОДЫ Видно, что значение плотности потока энергии поверхностной волны осциллирует в зависимости от соотношения между периодом ленгмюровских колебаний электронов пучка и временем пролета частицей τ = l v0 пространства l , отделяющего плоскость модуляции от границы раздела сред. Это связано с тем, что ленгмюровские колебания переносятся в пространстве со скоростью v0 и длина волны оказывается равной 2 ⋅ π ⋅ v0 ωb . По условиям модуляции при 62 π (2 N + 1) на этом расстоянии укладывается целое 2 число четвертей волн. В этом случае на границе y = 0 β= достигает наибольшей величины, так как ω2 4ωb2 >> 1 . Приведем для сравнения выражение для плотности потока энергии поверхностной волны, возбуждаемой заряженной лентой. Поскольку ширина ленты L меньше длины волны, то плотность заряда можно представить в виде en(x, y, t ) = en1δ ( y − v0t ) δ (x ) , где en1 – плотность на единицу длины ленты. Легко показать, что продольное поле в каждой среде, создаваемое пространственно-временной гармоникой ω n1 i v0 y n ( x , y , ω) = e δ (x ) , запишется: L (q x , y, ω) = 2 eq x v02 n0 s i ω l v0 e ; iω 2 ε ω E ly (q x , y, ω) = E x (q x , y, ω), q x v0 (11) ⎛ ⎞ i⎜⎜ q xs x + κ s y + v0 l ⎟⎟⎠ ω × ⎜ 2 cos β − i sin β ⎟⎟ e ⎝ ; ⎜ ωb ⎠ ⎝ c 8π на расстоянии l укладывается целое число полуволн и S x – минимально. При × ⎛ ⎞ ω ω × ⎜ 2 cos β − i sin β ⎟⎟ e ; β = b l. ⎜ ω v0 b ⎠ ⎝ Таким образом, амплитуда поверхностной волны определяется величиной потока частиц через границу y=0. Окончательные выражения для тангенциальной составляющей электрического поля поверхностной c Re E y H *z в среде волны и вектора Пойтинга S x = 8π "1" принимают вид: 4π ev0 v1n0 s ε1ε 2 E1sx (x, y, ω) = × c 2 (ε1 + ε 2 )2 Sx = (N = 1, 2, 3) E xl ω i l v0 ⎛ β = Nπ создается максимальный поток частиц и S x также Используя полюс подынтегрального выражения κ1ε 2 − κ 2 ε1 = 0 , где ε1 > 0 , ε 2 < 0 , ε1 + ε 2 < 0 , получим следующую формулу для поля поверхностной волны: E1sx = y = −l поток частиц минимален. Таким образом, при (13) n1 , ω2 >> q x2 v02 . В этом случае E1sx – компоL нента поля поверхностной волны оказывается равной: где n0 s = E1sx (x, y, ω) = 4π en0 s v02 ε1ε 2 c 2 (ε1 + ε 2 )2 e i (q xs + κ s y ) . (14) ω v1 >> b максимальv0 ω ное значение амплитуды поля, создаваемого модулированным пучком, может значительно превышать поле, возникающее в результате переходного излучения заряженной ленты. Видно, что при условии КОЛИЧЕСТВЕННЫЕ ОЦЕНКИ ПОЛУЧЕННЫХ РЕЗУЛЬТАТОВ В заключение оценим величину плотности потока энергии поверхностной волны для различных значений диэлектрических проницаемостей граничащих сред: ε1 = 1 , ε 2 = ε (ω) . В случае плазмоподобных сред (металлы, полуметаллы, полупроводники) ε (ω) имеет вид ε (ω) = ε 0 − ω02 . ω (ω + iν ) Частота поверхностной волны ω (частота модуляции) должна удовлетворять условию ω p > ω > ν , где ω p = ω0 ε 0 . Поскольку ε 0 и ω0 меняются в очень широких пределах (например, ε 0 = (1 ÷ 100 ) , Електротехніка і Електромеханіка. 2006. №5 ( ω0 = 1013 ÷ 1015 ) с ), то легко можно добиться вы-1 полнения условий ε (ω) >> 1 . В этом случае выра- жение для плотности потока энергии принимает вид: ⎞ ⎛ ω2 sin 2 β ⎟ , S x = S 0 ⎜ 4 cos 2 β + 2 ⎟ ⎜ ωb ⎠ ⎝ (15) 2 2 2 2 2 2π e v0 v1 n0 d . S0 = c 3 ε (ω) Для электронного пучка с параметрами: v0 = 3 ⋅10 9 см⋅с-1, n0 = 1010 см-3, d = 2 ⋅ 10 −2 см при v1 = 3⋅108 см⋅с-1 получим: S0 = 1 1,8 ⋅1,8 ⋅10 4 CGSE = ⋅10 −3 Вт/см2. ε ε ЛИТЕРАТУРА [1] Мырова Л.О., Чепиженко А.З. Обеспечение стойкости аппаратуры связи к ионизирующим электромагнитным излучениям. - М.: Радио и связь, 1988, – 235 с. [2] Михайлов М.И., Разумов Л.Д., Соколов С.А. Электромагнитные влияния на сооружения связи. – М.: Радио и связь. 1979. – 225 с. [3] Стил М., Вюраль Б. Взаимодействие волн в плазме твердого тела. – М.: Атомиздат, 1973. – 312 с. [4] Белецкий Н.Н., Светличный В.М., Халамейда Д.Д., Яковенко В.М. Электромагнитные явления СВЧ – диапазона в неоднородных полупроводниковых структурах. – Киев: Наукова думка. 1991. – 216 с. [5] Зи C. Физика полупроводниковых приборов. – М.: Мир. 1984. – 456 с. Поступила 24.02.2006 Положим ω = 1012 с-1. Для полупроводников типа InSb с ε 0 = 16 и эффективной массой электронов проводимости me = 10 −29 г при температуре жидкого азота ν = 1011 с-1 и концентрации электронов проводимости N 0 = 1014 см-3 ε (ω) ≅ 14 >> 1 получим в условиях резонанса β = π (N + 1) ; S xmax = 42,8 Вт/см2. Для ме2 таллов с ω02 = 3 ⋅1031 с-2, на частоте ω = 1013 с-1, S max = 20 мВт/см2.Эта величина вполне обнаружима. Електротехніка і Електромеханіка. 2006. №5 63