Известия ТРТУ Специальный выпуск ные методы окисления карбида кремния. Одним из таких методов является быстрый термический отжиг (БТО). Поскольку окисление карбида кремния достаточно трудоемкий и сложный процесс, то моделирование процесса окисления с использованием БТО является актуальной задачей. За основу при формировании модели окисления SiC была взята модель Дила– Гроува [2], в которой были учтены дополнительные факторы, связанные с геометрией реакционной камеры, возбуждением газовой фазы и поверхности карбида кремния, особенности кинетики окисления SiC, а также возникновение внутреннего электрического поля. Основные составляющие модели включают в себя соответствующие модули: для расчета облученности пластины с учетом геометрических размеров реактора и спектра поглощения материала, для расчета концентрации активных частиц атомарного, молекулярного кислорода, а также озона у поверхности SiC и внутренних электрических полей. БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК 1. Jorgensen P.J., Wadsworth M.E., Cutler J.B. Silicon carbide – a high temperature semiconductor. Pergamon Press. London, 1960. 241 p. 2. Колобов Н.А., Самохвалов М.М. Диффузия и окисление полупроводников. – М.: Металлургия, 1975. – 456 с. УДК 636.083.52:621.373.14 М.Д. Скубилин О ПРЕОБРАЗОВАНИИ ЭНЕРГИИ ВОЛН МОРЯ В ЭЛЕКТРИЧЕСКУЮ ЭНЕРГИЮ Энергообеспечение автономных необслуживаемых источников информации морского базирования, например буйковых автоматических метеорологических станций, предполагает использование сменных элементов электропитания, что и трудоемко, и экономически невыгодно, и экологически небезопасно. Альтернативой сменным гальваническим элементам электропитания или аккумуляторам, нуждающимся в периодической подзарядке, может стать устройство с пьезоэлектрическими преобразователями волнения поверхности моря в электрическую энергию. Известна энергетическая установка морского базирования, содержащая заякоренное плавучее средство с противовесом, расположенные в корпусе плавучего средства сквозная шахта и турбоэлектрогенератор постоянного тока. Её недостатки – значительные габаритно-весовые характеристики, сложность аппаратурной реализации, высокая себестоимость, необходимость в заякорении и ограниченная надежность в работе. Предлагается устройство преобразования энергии волн моря в электрическую энергию, содержащее плавучее, с противовесом, средство, состоящее из двух и более подвижно сопряженных элементов, способных при волнении моря совершать вращательные или возвратно-поступательные колебания друг относительно друга, в элементах плавучего средства – пьезоэлектрические преобразователи, выпрямители тока, соединенные входами с электродами одноименных пьезоэлектрических преобразователей, накопитель электрической энергии, один на всё устройство, соединенный с выходами всех выпрямителей тока, и преобразователи механических колебаний сопряженных элементов плавучего средства в дискретные 108 Секция технологии микроэлектронной и наноэлектронной аппаратуры силовые воздействия на пьезоэлектрические преобразователи, механически контактирующие с сопряженными элементами плавучего средства и одноименными пьезоэлектрическими преобразователями. В этом устройстве, при волнении поверхности моря, элементы плавучего средства совершают колебания друг относительно друга, которые преобразуются в дискретные силовые воздействия F(t) на пьезоэлектрические преобразователи, а по каждому воздействию F(t) генерируется электродвижущая сила Е(t), на выходе выпрямителя протекает ток I(t), а в накопителе накапливается электроэнергия W(t). Накопленная в накопителе электроэнергия постоянного тока приемлема для использования потребителями. Будучи установленным на объекте морского базирования, устройство, даже при коэффициенте полезного действия пьезоэлектрических преобразователей в пределах 0,10÷0,20, за счет последовательно во времени генерируемых импульсов тока накапливает электрическую энергию, достаточную для информирования потребителя, например информацией о метеорологическом состоянии района пребывания буйковой автоматической метеорологической станции, об опасности района плавания в точке установке буя или о перемещении плавучего автономного научно-исследовательского объекта (о координатах пребывания, направлении и скорости перемещения). Преимущества использования предлагаемых способа и устройства преобразования энергии волн моря в электрическую энергию состоят в том, что они работоспособны в автономном режиме неограниченно по времени суток и года, просты в применении, реализуемы на современной элементной базе в произвольных условиях их производства, надежны и долговечны в эксплуатации, не нуждаются в обслуживании до физического износа, обладают повышенной экологической чистотой, имеют пониженную себестоимость. 109