Измерительные и калибровочные возможности головного
advertisement
"Измерительные и калибровочные возможности головного отделения Центра метрологического обеспечения и оценки соответствия нанотехнологий и продукции наноиндустрии" СТРУКТУРА ЦЕНТРА РОССТАНДАРТ Руководство Центра директор ВНИИОФИ ФГУП ВНИИОФИ ФГУП ВНИИМС Головное отделение Центра методическое сопровождение Региональные отделения РНЦ «Курчатовский институт» научное сопровождение Отраслевые отделения Предприятия наноиндустрии НАУЧНЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ ДЕЯТЕЛЬНОСТИ ГОЛОВНОГО ОТДЕЛЕНИЯ Лаборатория Д-4 • Метрологическое обеспечение измерений свойств наноматериалов в твердой и жидких средах НИО М-4 • Метрологическое обеспечение измерений фотометрических и радиометрических характеристик солнечных элементов и светодиодов НИО М-7 • Метрологическое обеспечение измерений параметров нанослоев с использованием спектрорадиометрии УФ излучения, в том числе синхротронного излучения НИО М-44 Лаборатория Р-3 • Метрологическое обеспечение измерений оптических постоянных нанообъектов и наноструктурированных сред • Метрологическое обеспечение измерений параметров наночастиц в жидких органических средах НАУЧНЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ ДЕЯТЕЛЬНОСТИ ГОЛОВНОГО ОТДЕЛЕНИЯ Лаборатория Ф-2 • Метрологическое обеспечение измерений параметров наногетероструктурных лазеров Лаборатория Ф-3 • Метрологическое обеспечение измерений характеристик элементов и систем нанофотоники в волоконной оптике Лаборатория Р-5 • Метрологическое обеспечение измерений параметров процессов в наносистемах с фемтосекундным разрешением Лаборатория М-1 • Метрологическое обеспечение измерений параметров нанообъектов в нанометровом диапазоне СОСТАВ МЕТРОЛОГИЧЕСКОГО КОМПЛЕКСА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЙ ХАРАКТЕРИСТИК СОЛНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ Установка МК-УСЧ для измерения абсолютной спектральной чувствительности и тока короткого замыкания эталонных солнечных элементов Технические характеристики Спектральный диапазон: 280÷2500 нм Диапазон уровня освещенности источника смещающего излучения: 5·10-8÷ 2·10-4 Точность установки длины волны спектрокомпаратора: ≤ 0,2 нм Диапазон рабочих температур термостабилизированной платформы: 20÷30 °С Диапазон измерения спектральной чувствительности: 5·10-8÷ 2·10-4 А·Вт-1·м2 Доверительные границы относительной погрешности результата измерения абсолютной спектральной чувствительности, % в диапазоне длин волн 0,28÷1,0 мкм: ±1,3 в диапазоне длин волн 1,0÷2,5 мкм: ±2,5 диапазон измерения тока короткого замыкания в стандартных условиях: 0,001÷0,2 A Установка СТ200 на основе имитатора солнечного излучения для измерения эффективности и других характеристик солнечных элементов Установка для измерения светового потока, пространственного распределения силы света, координат цветности Гониометр GMS10m производства компании «X-Rite», Германия; с диапазоном вращения в горизонтальной плоскости ±160°, и ±130° в вертикальной плоскости с точностью установки 0,01. Фотометр SMS10m производства компании «X-Rite», Германия. Диапазон измерений 1 мкд – 5000 ккд. Головное отделение Центра Возможности измерительной лаборатории Нанообъекты и изделия наноиндустрии Интегральные методы Измерение корреляций светорассеяния Zetasizer - Malvern Размеры и концентрация наночастиц, Z-потенциал Рентгеновская дифрактометрия Дифрактометр Shimadzu Локальные методы Измерение свойств поверхности Многомодальный СЗМ Veeco Innova Измерение трехмерных распределений параметров Просвечивающий электронный микроскоп Libra 120 Оптические методы Кристаллографические параметры, параметры кластеров Нанопрофилометр ZygoNewView6200 Ближнепольный оптический микроскоп СЭМ+ФИП, РЭДС NVision 40 с РЭДС Лазерный анализатор размера частиц Zetasizer Nano фирмы Malvern Характеристическая кривая размера для раствора гексахлорбензола в четыреххлористом углероде (Dmax = 0,72 нм) Сравнение размеров СО Д 040, полученных с помощью Zetasizer Nano и СЭМ NVision 40 СЗМ Innova фирмы Veeco Внешний вид Изображение меры МШПС-2.0К. Изображение экспериментальных мер, изготовленных в МИЭТ. СЭМ-ФИП установка NVision 40 фирмы Karl Zeiss Внешний вид установки Наночастицы золота (диаметр 10 нм) Установка дает возможность получать изображения с разрешением менее 1 нм. NVision 40 фирмы Karl Zeiss с системой фокусированного ионного пучка Нановискеры под слоем аморфного серебра Изображение нановискеров на срезе, сделанном ионным пучком NVision 40 фирмы Karl Zeiss с системой фокусированного ионного пучка Срез образца титана с имплантированным дейтерием Исходный образец NVision 40 фирмы Karl Zeiss с системой фокусированного ионного пучка Экспериментальная мера 1 NVision 40 фирмы Karl Zeiss с системой фокусированного ионного пучка Экспериментальная мера 2 NVision 40 фирмы Karl Zeiss с рентгеновским энергодисперсионным спектрометром Внешний вид Изображение элемента микросхемы Рентгеновские спектры Ближнепольный микроскоп WITec Внешний вид Тестовый образец фирмы WITec Конфокальный сканирующий микроскоп Veeco Внешний вид Изображение кремниевой пластины, размеченной лазерным скрайбером Конфокальный сканирующий микроскоп Veeco Изображение нитевидных кристаллов В режиме темного поля В режиме 3-D изображения РАСШИРЕНИЕ ОБЛАСТИ АККРЕДИТАЦИИ ГОЛОВНОГО ОТДЕЛЕНИЯ Метрологические характеристики №№ п/п Наименование групп средств измерений 1 2 Диапазон измерений Класс, разряд, погрешность 3 4 СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН НАНОМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА 1 Микроскопы растровые электронные 10-9 ÷ 10-4 м ПГ=(2-5)·10-2 2 Микроскопы просвечивающие электронные 10-10 ÷ 10-4 м ПГ=(2-5)·10-2 3 Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные 0÷10-4 м ПГ=(2-5)·10-2 4 Измерители размера взвешенных частиц лазерные 0,6·10-9 ÷6·10-6м ПГ=(2-5)·10-2 5 Профилометры 10-7÷15·10-3м ПГ=(2-5)·10-2 6 Микроскопы конфокальные 10-8 ÷ 4·10-3м ПГ=(2-5)·10-2 7 Микроскопы оптические измерительные 10-5 ÷ 10-2м ПГ=(2-5)·10-2 8 Микроскопы интерференционные 10-9 ÷4·10-6м ПГ=(2-5)·10-2 РАСШИРЕНИЕ ОБЛАСТИ АККРЕДИТАЦИИ ГОЛОВНОГО ОТДЕЛЕНИЯ Метрологические характеристики №№ п/п Наименование групп средств измерений 1 2 Диапазон измерений Класс, разряд, погрешность 3 4 СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН НАНОМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА 9 Микроскопы сканирующие ближнепольные оптические апертурные 10-8 ÷ 10-4 м ПГ=(2-5) ·10-2 10 Дифрактометры рентгеновские 10-10 ÷ 10-6 м ПГ=(2-5) ·10-2 СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ ЭЛЕМЕНТНОГО СОСТАВА В НАНОМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА 11 Спектрометры рентгеновские энергодисперсионные для растровых электронных микроскопов 10-6 ÷ 10-4 м от 5В до 92U ПГ=(2-5)·10-2 ПГ=(1-5)·10-1 СПАСИБО ЗА ВНИМАНИЕ
