269 Секция 3. Модификация свойств материалов ОРИЕНТАЦИОННЫЙ ЭФФЕКТ СИНТЕЗА СПЛОШНЫХ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ СКРЫТЫХ СЛОЕВ НИТРИДА И КАРБИДА КРЕМНИЯ ПРИ ВЫСОКОИНТЕНСИВНОЙ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ С.А. Петров Научно-исследовательское учреждение “Институт прикладных физических проблем имени А.Н. Севченко” Белорусского государственного университета, Курчатова, 7, Минск, 220108, тел. 8-017-2123817, e-mail: [email protected] В работе исследовалось влияние кристаллографической ориентации кремниевой мишени на кристаллическую структуру скрытых слоев β-Si3N4 и β-SiC, формируемых методом высокоинтенсивной ионной имплантации в самоотжиговом режиме. Установлен синтез их сплошных монокристаллических слоев в кремнии (001)-ориентации. Предложен механизм образования данных сплошных монокристаллических слоев. Введение Имплантация ионов кислорода и азота остается основным промышленно освоенным методом создания структур кремний-на-изоляторе (КНИ) с захороненным изолирующим слоем, хотя выдвигаются и альтернативные варианты. Высокоомные слои получаются, например, после облучения ионами H+ или C+. Несмотря на достигнутые успехи, ионному синтезу скрытых диэлектрических слоев, как и всякому другому методу создания КНИ-структур, присущи определенные недостатки и ограничения. Прежде всего, это весьма жесткие термические и радиационные воздействия на материал. Поэтому исследования физических процессов, протекающих при ионном синтезе, продолжает привлекать внимание широких кругов специалистов. Вместе с тем, необходимо более подробно разобраться с влиянием ориентации кремниевой подложки на кристаллическую структуру слоев β-Si3N4 и β-SiС, формируемых с помощью высокоинтенсивной ионной имплантации (ВИИ). Считается, что ориентация (001) является наиболее благоприятной для легирования кристаллов Si с высокими плотностями ионного тока, так как скорость кристаллизации V<001> в направлении <001> максимальна и превышает V<111> в 20 раз при ее чисто термическом механизме [1]. Цель настоящей работы – выяснение механизма синтеза сплошных монокристаллических слоев β-Si3N4 и β-SiC в монокристаллической кремниевой мишени (001)-ориентации при ВИИ. Методика эксперимента Монокристаллические образцы (001)- и (111)-Si имплантировали ионами N2+ с энергией 140 кэВ 17 18 дозами 1⋅10 – 1⋅10 см−2 при плотностях ионного тока 100 и 250 мкА/см2 на установке “Kasper” (г. Минск, ПО “Горизонт”). Через 6 – 8 с после начала имплантации мишень разогревалась до 1073 и 1273 K. Указанные температуры оставались неизменными в процессе дальнейшего + внедрения ионов N2 в мишень. Облучение монокристаллических образцов (001)- и (111)-Si ионами C+ с энергией 40 кэВ дозами 2⋅1017 –2⋅1018 см−2 при плотностях ионного тока 120 и 300 мкА/см2 проводилось в камере ионного ускорителя “ИЛУ-3” (г. Москва, Институт Атомной энергии имени И.В. Курчатова). Режим облучения ионами C+ с энергией 40 кэВ при плотности ионного тока 2 300 мкА/см приводит к разогреву мишени до 1023 – 1123 K. К этому времени концентрация атомов углерода в области среднего проективного пробега ионов не превышает 2⋅1021см−3. Площадь контакта с держателем составляла менее 0,01 % поверхности образца. В пределах размеров мишени ионный пучок был однородным по сечению, что обеспечивало практически равномерный нагрев пластин и отсутствие в них заметных термонапряжений. Основная часть Результаты проведенных исследований показывают, что структура формируемого в процессе ВИИ как скрытого слоя β-Si3N4, так и β-SiС зависит от ориентации подложки, температуры и режима облучения. Синтезировать их сплошные монокристаллические слои удавалось только для мишени (001)-ориентации (рис. 1 а, в). При облучении образцов (111)-Si формируемый слой нитрида и карбида кремния имел следующую структуру: монокристаллическую прослойку с высокой плотностью двойников первого и второго порядков вблизи границы раздела с кристаллической матрицей кремния и поликристаллический слой, расположенный ближе к поверхности (рис. 1 б, г). Анализируя зависимость структуры синтезируемого слоя β-Si3N4 или β-SiС от кристаллографической ориентации подложки, необходимо отметить, что при эпитаксиальном росте аморфных слоев чистого Si в направлении <111> образуется большее количество протяженных дефектов. Как видно на рис. 2 и 3 (пример облучения Si ионами As+ с энергией 120 кэВ 2 при плотности ионного тока 50 мкА/см ), в момент окончания кристаллизации образцы (111)Si содержат большее количество дефектов, чем (001)-Si. Показано, что средняя скорость кристаллизации в интервале времени облучения 4 – 10 с для (111)-ориентации в 3 раза меньше, чем для (001)-ориентации в диапазоне 2 – 4 с при той же рассматриваемой разнице толщин аморфного слоя. Предполагается, что при ВИИ 9-ая Международная конференция «Взаимодействие излучений с твердым телом», 20-22 сентября 2011 г., Минск, Беларусь 9th International Conference “Interaction of Radiation with Solids”, September 20-22, 2011, Minsk, Belarus 270 Секция 3. Модификация свойств материалов а б а а) в г Рис. 1. Просвечивающая электронно-дифракционная картина: а) для (001)-Si, б) (111)-Si после имплантации 17 2 ионов N2+ с энергией140 кэВ дозой 9,7⋅10 см− при 2 плотности ионного тока 100 мкА/см и в) для (001)-Si, г) (111)-Si после облучения ионами C+ с энергией 40 кэВ 17 2 2 дозой 6⋅10 см− при плотности ионного тока 300 мкА/см Рис. 3. Энергетические спектры резерфордовского обратного рассеяния ионов He+ с энергией 0,7 МэВ, рассеянных на (001)-Si. Время облучения: 1 – 2, 2 – 6, 3 – 8, 4 – 10, 5 – 40 с, 6 – случайный спектр ного образования неориентированных зародышей – включений SiO2 (α-кварца) поликристаллической структуры, которые в процессе роста и формируют поликристаллический слой нитрида или карбида кремния. Заключение Рис. 2. Энергетические спектры резерфордовского обратного рассеяния ионов He+ с энергией 1 МэВ, рассеянных на (111)-Si. 1 – случайный спектр; 2, 3 и 4 – осевые спектры для времени облучения 4, 10 и 16 с соответственно; 5 –осевой спектр исходного монокристалла кремния одним из факторов, определяющих процесс формирования β-Si3N4 или β-SiC, является соотношение скорости ее эпитаксиального роста и скорости гетерогенного зародышеобразования, которая определяется скоростью поступления ионов N2+ или C+ и температурой мишени в процессе имплантации. При плотностях ионного тока 100 – 300 мкА/см2 достаточно быстро накапливаются атомы N и C в приповерхностном слое (111)-Si, и перед фронтом монокристаллической прослойки βSi3N4 или β-SiC создаются условия для гетероген- В ходе самоотжигового режима ВИИ кремниевых образцов ориентации (111) получить сплошной монокристаллический слой не удавалось. Это объясняется, по-видимому, наличием для (111)-Si наибольшей плотности атомов на единицу его площади и значительно большей концентрации дефектов, чем в (001)-Si. Достигая критической величины концентрации остаточных нарушений в приповерхностном слое мишени, скорость кристаллизации резко замедляется и при быстром темпе накопления атомов N или С перед фронтом монокристаллической прослойки β-Si3N4 или β-SiC растет фаза α-кварца, формирующая поликристаллический нитридный или карбидный слой. Синтез этой фазы связывается как с миграцией атомов отдачи кислорода из пленки естественного окисла на поверхности кремниевой мишени, так и его частичной кристаллизацией. Установлено, что для (001)-Si зародышами монокристаллического β-Si3N4 или β-SiC являются включения монокристаллического коэсита. Список литературы 1. Александров П.А., Баранова Е.К., Демаков К.Д., Комаров Ф.Ф., Новиков А.П., Ширяев С.Ю. // Физика и техника полупроводников. - 1986. - 20. - С.149. THE ORIENTED EFFECT OF THE SYNTHESIS OF BURIED CONTINUOUS SINGLE-CRYSTAL LAYERS OF NITRIDE AND SILICON CARBIDE FOR HIGH-INTENSITY ION IMPLANTATION S.A. Petrov A.N. Sevchenko Scientific-Research Institute of Applied Physics Problems, Kurchatov str. 7, Minsk 220108, Belarus, tel. 8-017-2123817, e-mail: [email protected] In this research was estimated the influence of crystallographic orientation of the silicon target on the crystal structure of buried layers β-Si3N4 and β-SiC, generated by the high-intensity ion implantation in self-annealing regimes. The synthesis of their composition single-crystal layers in the silicon (001)-orientation is set up. The mechanism of the formation of continuous single-crystal layers is introduced. 9-ая Международная конференция «Взаимодействие излучений с твердым телом», 20-22 сентября 2011 г., Минск, Беларусь 9th International Conference “Interaction of Radiation with Solids”, September 20-22, 2011, Minsk, Belarus