71 Эта технология представляет исключительно большой
advertisement
Рис.42. Интерпретационное решение обработки интерферограмм не может справиться с задачей восстановления поверхности с большими отклонениями от референтной сферы Рис.43. Карта оптической поверхности, сформированная при значительных отступлениях от сферичности Эта технология представляет исключительно большой интерес в применении к дифракционному интерферометру, поскольку дает возможность восстановления фазы и формы контролируемой поверхности с высокой точностью независимо от сложности интерференционной картины. Основное отличие методов, основанных на теории сигналов, заключается в возможности анализа асферических волновых фронтов высокого порядка, что дает им перспективу в использовании в качестве математического приложения к дифракционным интерферометрам. НАПРАВЛЕНИЯ РАЗРАБОТКИ МЕТОДОВ И СХЕМ КОНТРОЛЯ ПРИ СБОРКЕ И ЮСТИРОВКЕ 2-Х ЗЕРКАЛЬНОГО ПРОЕКЦИОННОГО ОБЪЕКТИВА 1) Вторичное вогнутое зеркало (с поверхностью на основе ближайшей сферы), изготовленное с необходимой точностью под контролем дифракционного интерферометра и снабженное 71 2) 3) 4) отражающим покрытием, устанавливается в схему объектива (в штатное положение). Первичное зеркало (с поверхностью на основе ближайшего выпуклого гиперболоида) устанавливается в схему объектива (в штатное положение) и контролируется на этапе доводки его поверхности до расчетной точности под контролем дифракционного интерферометра, после чего снабжается отражающим покрытием. Юстировка собранного нанообъектива выполняется под контролем дифракционного интерферометра в два этапа: Этап 3-а – используется схема согласно рис. 44. Рис. 44. Схема контроля 2-х зеркального проекционного нанообъектива 1- лазер, 2 -3 – осветительная система, 4 – наклонное зеркало с дифрагирующим микронным отверстие м 5, 6 - 8 – автоколлимационная осветительная система, 9 -10 зеркала нанообъектива, 11 – автоколлимационное технологической сферическое зеркало, 12 автоколлимационное технологической плоское зеркало С целью устранения трудностей при контроле, связанных с большими отклонениями рабочего волнового фронта от опорного и формированием интерферограммы сложной формы, предусматривается следующий порядок сборки и юстировки. Рабочая точка 5 дифракционного интерферометра совмещена с осевой точкой плоскости объекта. Осевая точка плоскости изображения совмещена с центром кривизны технологического сферического автоколлимационного зеркала 11. 72
