502 Приложение г Приложение Г Работа выхода из металлов (эВ) Mg Al Ni Cu Ag Au Pt 3,4 4,1 4,5 4,4 4,7 5,0 5,3 Свойства диэлектриков E g, эВ εст ε∞ ρ, г∙см–3 E пр, В/см SiO2 9,0 3,82 2,13 2,33 1,2∙107 Si3N4 5,1 6,5 4,2 3,11 6,0∙106 Ta2O5 4,5 27 5,0 8,53 6,0∙106 Универсальные физические постоянные Заряд электрона q = 1,6·10 –19 Кл Масса покоя электрона m 0 = 9,1·10 –31 кг = 9,1·10 –28 г Постоянная Больцмана k = 1,38·10 –23 Дж/К Постоянная Планка h = 6,63·10 –34 Дж·с; ћ = 1,05·10 –34 Дж·с Диэлектрическая постоянная ε0 = 8,85·10 –12 Ф/м = 8,85·10 –14 Ф/см Полезные соотношения kT (при T = 300 К) = 0,0259 эВ kT (при T = 77 К) = 0,0066 эВ Потенциал в вольтах (В) численно равен энергии в электрон-вольтах (эВ). 1 эВ = 1,6·10 –19 Дж. x e x ≈ 100,43 x ≈ 10 2,3 e1 = 2,7; e 2 = 7, 4; e3 = 20; e 4 = 55; e5 = 148; e6 = 403; e7 = 1100; e8 = 3000; e9 = 8100; e10 = 22000; ln x = 2,3 ⋅ lg x. 503 Обозначение Таблица. Физические параметры важнейших полупроводников Параметр Ширина запрещенной зоны, эВ 300 К 0К Eg 77 К Эффективная * масса, m m0 77 К Ge GaAs InSb 4H-SiC GaN 1,12 0,66 1,43 0,18 3,0 3,44 1,21 0,80 1,56 0,23 1500 3900 8500 78000 μn 300 К дырок Подвижность при 300 К, см2∙В–1∙с–1 электронов 300 К Si 3,50 650 8500 105 600 1900 400 1700 μp 5000 электронов m*dn 1,08 0,56 0,068 0,013 0,60 0,19 дырок m*dp 0,56 0,35 0,45 0,6 1,0 0,60 2,8∙1019 1,04∙1019 4,7∙1017 3,7∙1016 3,6∙1018 1,4∙1019 5,8∙1016 5,1∙1015 1,02∙1019 6,11∙1018 7,0∙1018 1,16∙1019 1,4∙1018 6,9∙1018 9,8∙1017 1,5∙1018 16,0 13,2 17,7 10,2 12,2 1,1∙10-4 9,2∙10-10 Эффективная плотность состояний в зоне проводимости, см–3 T = 300 К Эффективная плотность состояний в валентной зоне, см–3 T = 300 К T = 77 К T = 77 К NC NV Диэлектрическая постоянная εs 11,8 Электронное сродство χ 4,05 Собственная концентрация носителей, см-3 T = 300 К T = 77 К 4,00 ni 4,07 4,60 1,6∙10 2,5∙10 1,1∙10 3∙10-20 1,4∙10-7 2,8∙10-33 1,2∙1010 1∙10-8 10 13 7 2,0∙1016 Время жизни носителей, с τ 2,5∙10-3 1,0∙10-3 1∙10-8 Дебаевская длина, мкм Ld 24 0,68 2250 Показатель преломления n 3,44 4,0 3,4 3,75 2,6 2,4 Температурный коэффициент α 5,8∙10 –6 5,1∙10 –6 4,0∙10 –6 5,59∙10 –6 Постоянная решетки, нм Температура плавления, °С 2,4∙10 –6 5,8∙10 –6 a, b, c 5,43 5,65 5,65 6,48 Т 1415 936 1238 525 0,308(а) 0,318 (а) 1,511(с) 0,5166(с) 2830 2530