II-я МЕЖДУНАРОДНАЯ НАУЧНАЯ КОНФЕРЕНЦИЯ СТАНДАРТНЫЕ ОБРАЗЦЫ В ИЗМЕРЕНИЯХ И ТЕХНОЛОГИЯХ 14 –18 сентября 2015 г. Екатеринбург, Россия [email protected] ТРЕБОВАНИЯ К ОФОРМЛЕНИЮ ТЕЗИСОВ ДОКЛАДОВ УСЛОВИЯ ОПУБЛИКОВАНИЯ: Соответствовать правилам оформления. ПРАВИЛА ОФОРМЛЕНИЯ: Название файла должно содержать фамилию первого автора, например: Petrov_tez.doc Тезисы доклада (Статья) оформляются на русском и английском языках. Объем – не должен превышать 5 страниц формата А4; Нумерация страниц обязательна; Ссылки на литературу приводятся в тексте в квадратных скобках; В конце статьи помещается Список использованной литературы, оформленный в соответствии ГОСТ Р 7.0.5 2008 «Библиографическая ссылка»; (Рекомендации оформления списка литературы размещены на сайте журнала «Стандартные образцы» http: rmjournal.ru) Текст статьи должен быть тщательно вычитан и подписан автором, который несет ответственность за научно-теоретический уровень публикуемого материала; Статья представляется в оркомитет конференции в бумажном виде и на электронном носителе (по e-mail) в формате Microsoft Word. Бумажный вариант должен полностью соответствовать электронному. При наборе статьи рекомендуется учитывать следующее: Поля верхнее 2 см, левое 2,2 см, правое 1,5 см; нижнее 1,7 см, текст выровнен по ширине. Шрифт: гарнитура – «Times New Roman», кегль – 12 (в рисунках, таблицах, литературе кегль 10), цвет – черный. Иллюстрации, графики и диаграммы должны быть размещены по тексту и иметь подрисуночные подписи. Все буквенные обозначения, приведенные на рисунках, пояснять в основном или подрисуночном тексте. Абзац: первая строка – отступ 1 см, междустрочный интервал – 1,15. СОПРОВОДИТЕЛЬНЫЕ ДОКУМЕНТЫ: Экспертное заключение подписанное руководителем организации. Тезисы докладов принимаются до 15 июня 2015 г. в электронном виде по адресу [email protected] Пример ГСО УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ — СОСТОЯНИЕ И ПЕРСПЕКТИВЫ Кобелева С.П.1,Терентьев Г.И.2, Холодный Л.П.3 Национальный исследовательский технологический университет «МИСиС» 119049, Россия, г. Москва, Ленинский пр., д. 4 тел: + 7 495 638-45-60 е-mail: [email protected] 1 ФГУП УНИИМ, 109017, Россия, г. Екатеринбург, 620000, Екатеринбург, ул. Красноармейская, 4., [email protected] 2 ОАО «ГИРЕДМЕТ», 109017, Россия, г. Москва, Б. Толмачевский пер., д.5. 3 Полупроводниковые материалы, приборы и интегральные схемы на их основе без преувеличения изменили за последние 50 лет жизнь всего человечества. Современное поколение учащихся и работающих людей не представляет себе жизнь без многочисленных гаджетов, основной частью которых являются полупроводниковые микросхемы. Удельная электропроводность полупроводников () сильно зависит от температуры, а при комнатной температуре (Тк) может меняться на десятки порядков в зависимости от химического состава и кристаллического совершенства. Так, монокристаллического кремния при Тк изменяется от 250 К Ом см до 0,001 Ом см. Для разных целей требуются полупроводники с разным .Поэтому этот параметр является важнейшим и определяет марку полупроводникового материала. Так, марки основного на сегодняшний день полупроводникового материала — кремния, помимо типа электропроводности (электронный, дырочный) и типа введенной примеси содержит значение при температуре 23 C [1]. ………………………….. Таблица № 1 Обеспеченность стандартами четырехзондовых измерений СЛИТОК ПЛАСТИНА SEMI MF 43 MF 84, MF 81 РФ ГОСТ 24392-80, ГОСТ 19658-81 - СЛОЙ диффузионный, эпитаксиальный, имплантированный MF 374 MF 1527 - ………………………… ЛИТЕРАТУРА [1] ГОСТ 19658 Кремний монокристаллический в слитках. – М: Издательство стандартов, 1990, с.69 [2] ГОСТ 24392-80 Кремний и германий монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления четырех зондовым методом ИПК. – М: Издательство стандартов, 2001, 7с. [3] ASTM F-43-94. «Test Methods for Resistivity of Semiconductor Materials» Annual Book of ASTM Standard, V.10.05. 2 RESISTIVITY REFERENCE MATERIALS — STATE OF ART AND FUTURE Kobeleva S.P.1, Terentiev G.I.2, Kholodniy L.P.3 1 National University of Science and Technology «MISIS» 119049, Russian Federation, Moscow, Leninsky pr., 4 tel: + 7 495 638-45-60 е-mail: [email protected] 2 FGUP «UNIIM», 620000, Russia, Ekaterinburg, Krasnoarmeiskaya st.r., 4, [email protected] 3 JSC «Giredmet», 109017, Russia, Moscow, Bolshoy Tolmachevsky per., 5. Semiconductor materials, devices and chips change very much human life for the last 50 years. We can not imagine a life without numerous gadgets based on the semiconductor chips. Resistivity of semiconductors () dramatically depend on temperature. It can vary by tens of orders at room temperature (ТR) when both chemical composition ore crystal perfection changes. For example silicon single crystals (SSC) at ТR changes from 250000 to 0,001 Ohm cm. For different purposes requires semiconductors with different . Therefore, this parameter is the most important for qualification of semiconductor material. Certificate of SSC must include resistivity measured at 23 C [1-5]. ……………………. Table 1 - Standards for resistivity measurement by in-line four probe method SEMI INGOT WAFER MF 43 MF 84, MF 81 LAYER diffusion, epitaxy, implanted MF 374 MF 1527 Russia ГОСТ 24392-80, ГОСТ 19658-81 - - ………………. REFERENCES [1] ГОСТ 19658 Ingots of Silicon single crystals. Moscow 1990. [2] ГОСТ 24392-80 Silicon and Germanium single crystals.. Four probe measurement of resistivity. Moscow 2001. [3] ASTM F-43-94. «Test Methods for Resistivity of Semiconductor Materials.» Annual Book of ASTM Standard, V.10.05. 3