МЕТОДЫ АНАЛИЗА ПОВЕРХНОСТИ Учебный план № 4290 ФТИ.347.68.2014 Код ООП Направление/ специальность Аналитический контроль природных и технических объектов Рабочая программа дисциплины составлена авторами: № п/п ФИО Ученая степень, Должность Кафедра ученое звание 1 Пупышев Александр Доктор химических Профессор ФХМА Алексеевич наук, профессор Программа модуля одобрена на заседании кафедры: Номер ФИО Дата Наименование кафедры протокола заведующего заседания кафедрой 1 Физико-химических методов 14.05.2014 6 Ребрин О.И. анализа 18.04.2001.68-21-2012 (240100.68-21-2012) Химическая технология Профиль/программа магистратуры/специализация Код дисциплины по учебному плану М.2.9.1 Подпись Подпись 6. УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКОЕ И ИНФОРМАЦИОННОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ ДИСЦИПЛИНЫ 7.1. Рекомендуемая литература 7.1.1. Основная литература 1. Миронов В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. Нижний Новгород: Институт физики микроструктур, 2004. 114 с. 2. Physical principles of electron microscopy. An introduction to TEM, SEM, and AEM. Springer, 2005. 211 p. 3. Суздалев И.П. Нанотехнология: физико-химия нанокластеров, наноструктур и наноматериалов. М.: Комкнига, 2006. 592 с. 4. Оура К., Лифшиц В.Г., Саранин А.А., Зотов А.В., Катаяма М. Введение в физику поверхности. Москва: Наука, 2006. 490 с. 5. Рид С. Дж. Б. Электронно-зондовый микроанализ и растровая микроскопия в геологии. М.: Техносфера, 2008. 6. Echlin P. Handbook of sample preparation for scanning electron microscopy and X-ray microanalysis. Springer, 2009. 343 p. 7. Ищенко А.А., Лукьянов А.Е., Киселев Ю.М. Методы анализа поверхности. Ч. 1. Методы локального анализа и электронная микроскопия. М.: МГА ТХТ, 2009. 52 с. 8. Беккер Ю. Спектроскопия. М.: Техносфера, 2009. 9. Hadbook of surface and interface analysis. Methods for problem-solving / ed. by J.C. Riviere, S. Myhra. CRC Press, 2009. 682 p. 10. Быков А.В., Демиденко Г.Н., Долуда В.Ю., Сульман Э.М. Физические методы исследования: учеб. пособие. Тверь: ТГТУ, 2010. 160 с. 11. Швец В.А., Спесивцев Е.В., Рыхлицкий С.В., Михайлов Н.Н. Эллипсометрия – прецизионный метод контроля тонкопленочных структур с субнанометровым разрешением // Российские нанотехнологии. 2009. Т. 4, № 3-4. С. 72-84. 12. Никитенков Н.Н. Основы анализа поверхности твердых тел методами атомной физики: учебное пособие. Томск: Изд-во ТПУ, 2012. 203 с. 7.1.2. Дополнительная литература 1. Glow discharge plasmas in analytical spectroscopy / Ed. by R.K. Marcus, J.A.C. Broekaert. Wiley, 2003. 503 p. 2. Пентин Ю.А., Вилков Л.В. Физические методы исследования в химии. М.: Мир, ООО «Издательство АСТ», 2003. 683 с. 3. Martin J.W. The local chemical analysis of material. Elsevier, 2003. 235 p. 4. Glow discharge plasmas in analytical spectroscopy / Ed. by R.K. Marcus, J.A.C. Broekaert. Wiley, 2003. 503 p. 5. Пентин Ю.А., Вилков Л.В. Физические методы исследования в химии. М.: Мир, ООО «Издательство АСТ», 2003. 683 с. 6. Martin J.W. The local chemical analysis of material. Elsevier, 2003. 235 p. 7. Методы анализа поверхности / Под ред. А. Зандерны. М.: Мир, 1979. 582 с. 8. Chung Y.-W. Surface scince and spectroscopy. Academic Press, 2001.200 p. 9. Никитенков Н.Н. Изотопный, химический и структурный анализ поверхности методами атомной физики. Томск: ТПУ, 2002. 198 с. 10. Пупышев А.А., Данилова Д.А. Атомно-эмиссионный спектральный анализ с индуктивно связанной плазмой и тлеющим разрядом по Гримму. Екатеринбург: УГТУ-УПИ, 2002. 202 с. 11. Surface and thin film analysis. Principles, Instrumentation, Applications / Ed. by H. Bubert, H. Jennet. Wiley-VCH, 2002. 352 p. 12. Ржанов А.В., Свиташев К.К., Семененко А.И., Семененко Л.В., Соколов В.К. Основы эллипсометрии. Новосибирск: Наука, 1979. 424 с. 13. Применение электронной спектроскопии для анализа поверхности. Под ред. Х. Ибаха. Рига, 1980. 14. Азам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М. : Мир, 1981. 583 с. 15. Электронная и ионная спектроскопия твердых тел / Под ред. Л. Фирмэнса и др. М.: Мир, 1981. 16. Шульман А.Р., Фридрихов С.А. Вторично-эмиссионные методы исследования твердого тела. М.: Наука, 1977. 17. Гимельфарб Ф.А.. Шварцман С.Л., Современные методы контроля композиционных материалов, М., 1979. 18. Черепин В.Т., Васильев М.А. Методы и приборы для анализа поверхностных материалов. Справочник. Киев: 1982. 19. Нефедов В.И., Черепин В.Т. Физические методы исследования поверхности твердых тел. М.: Наука, 1983. 296 с. 20. Анализ поверхности методами Оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии / Под ред. Д. Бриггса и М.П. Сиха. М.: Мир, 1984. 21. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Кн. 1 и 2 / Пер. с англ. М.: 1984. 22. Гиммельфарб Ф.А. Рентгеноспектральный микроанализ слоистых материалов. М.: Металлургия, 1986. 152 с. 23. Анализ поверхности методами Оже и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии / Под ред. Д. Бриггса и Д. Сиха. М.: Мир, 1987. 24. Фельдман Ф., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок, М.: Мир, 1989. 25. Вудраф Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности. М.: Мир, 1989. 26. С. Моррисон С. Химическая физика поверхности твердого тела. М.: Мир, 1989. 27. Фелдман Л., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок. М.: Мир, 1989. 341 с. 28. Растровый электронный микроскоп и рентгеновский микроанализ / Пер. с англ. В 2 кн.: Химия, 1989. 29. Зенгуил Э. Физика поверхности. М.: Мир, 1990. 536 с. 30. Черепин В.Т. Ионный микрозондовый анализ. Киев: Наукова Думка, 1992. 344 с. 2 7.1.3. Методические разработки 1. Гаршев А.В., Гаврилов А.И. Электронная микроскопия. Локальный рентгеноспектральный анализ. М.: МГУ им. М.В. Ломоносова, 2001. 29 с. 2. Мазалов Л.Н. Метод рентгеноэлектронной спектроскопии и перспективы его применения для изучения строительных материалов. Методические указания к выполнению лабораторных работ. Новосибирск: ИНХ СО РАН, 2002. 20 с. 3. Методические разработки к лабораторному практикуму «Методы исследования неорганических веществ и материалов» / Под. ред. А.М. Гаськовой. М.: МГУ им. М.В. Ломоносова, 2003. 47 с. 4. Петухов В.Ю. Гумаров Г.Г. Исследование поверхностных слоев твердых тел методом скользящего рентгеновского пучка: учебно-методическое пособие. Казань: КГУ, 2009. 16 с. 5. Исследование состава твердых тел методом вторично-ионной масс-спектрометрии: Методические указания к лабораторным работам по диагностике материалов. Санкт-Петербург: Физико-технический ин-т им. А.Ф. Иоффе РАН, 2010. 21 с. 6. Рентгеноспектральный микроанализ с использованием энергодисперсионного спектрометра. Санкт-Петербург: Физико-технический ин-т им. А.Ф. Иоффе РАН, 2010. 10 с. 7. Трофимов А.Н., Попова Т.Б. Рентгеноспектральный микроанализ на спектрометрах с волновой дисперсией. Методические указания к лабораторным работам по диагностике материалов. СанктПетербург: Физико-технический ин-т им. А.Ф. Иоффе РАН, 2011. 15 с. 8. Николичев Д.Я., Боряков А.В. Локальная диагностика состава полупроводниковых наносистем методом сканирующей Оже-спектроскопии: учебно-методическое пособие. Н. Новгород: Изд-во НГУ, 2011. 110 с. 7.2. Программное обеспечение 1. Системные программные средства: Microsoft Windows XP, Microsoft Vista. 2. Прикладные программные средства: Microsoft Office 2007 Pro. 3. Программа для обработки результатов анализа поверхности методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии «XPS Peak Fitting Program for WIN95/98 XPSPEAK Version 4.1» 4. Пакет прикладных программ для обработки результатов исследования поверхности методом электроннозондового рентгеновского микроанализа с микроанализатором «Cameca SХ-100». 5. Пакет прикладных программ для обработки результатов исследования поверхности методом растровой электронной микроскопии с прибором «JSM-6390LV» и приставкой для рентгеноспектрального энергодисперсионного анализа «INCA Energy 450 X-max 80». 7.3. Базы данных, информационно-справочные и поисковые системы 1. X-ray Photoelectron Spectroscopy Database of the National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD, USA. [Электронный ресурс]: http://srdata.nist.gov/xps/. 2. Поисковая система Scholar Google. [Электронный ресурс]: http://scholar.google.com/schhp?hl=en&sa=N&tab=ls&q= 3. Поисковая система Scirus. [Электронный ресурс]: http://www.scirus.com/ 4. Поисковая система Scopus. [Электронный ресурс]: http://www.scopus.com/scopus/search/form.url 5. Поисковая система Google. [Электронный ресурс]: http://www.google.com/ 6. Поисковая система Science direct. [Электронный ресурс]: http://www.sciencedirect.com/ 7. Интернет-сайт компании НТ-МДТ. Приборостроение для нанотехнологий: [Электронный ресурс]: http://www.ntmdt.ru/ . 8. Интернет-сайт, посвященный описанию методов диагностики поверхности и оборудованию для этих целей. [Электронный ресурс]: http://www.surfaceanalysis.ru/ . 9. Интернет-сайт, посвященный описанию оборудования для диагностики поверхности. [Электронный ресурс]: http://www.intertech-corp.ru/ . 10. Интернет-сайт, посвященный описанию оборудования для диагностики поверхности. [Электронный ресурс]: http://www.nanotech-instruments.com/. 11. Интеренет-сайт с базами данных по рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и ожеэлектронной спектроскопии. [Электронный ресурс]: http://www.lasurface.com/. 3 12. Справочные данные по химическим сдвигам некоторых элементов в различных степенях окисления. [Электронный ресурс]: http://www.chemport.ru/data/. 13. Базы данных, обучающие материалы, перечень и описание методик, список журналов и конференций, которые имеют отношение к изучению поверхности [Электронный ресурс]: http://www.uksaf.org/home. 7.4. Электронные образовательные ресурсы Не предусмотрено 4